专利名称：用于排出线的加热管及半导体工程的排出线结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于排出线的加热管及半导体工程的排出线的结构，更具体地说是 有关使管子的温度维持在一定温度(150 190°C)下，预防在排气管的曲折部位形成粉末 沉积的技术。
背景技术：
一般，半导体制造工程是在工程室中，使用工程气体和反应气体来进行，工程 结束后，少量的残留气体及反应物，比如说粉末等，会通过排气管排出去。图1所示的是一般的半导体制造工程中排气管的构造。
一般，在化学气相沉积设备中，化学气相沉积工程结束后，从工程室(100)排 除的气体通过排气管(400)排到气体清洁器(200)时，排气管的内部会有微细的尘装粉 末，这种粉末的形成原因取决于排气管的温度，压力，排气的成分。微细的尘装粉末集聚在排气管的内壁，导致排气压的下降，因此引起的设备损 坏及因排气管的堵塞形成的排气逆流现象，因而导致工程不良和因排气管的堵塞引起的 真空泵的性能降低现象。为了解决这样的问题，国内公共专利10-2005-0117331号及10-2007-0054984号
提示了在排气管上安装加热夹克的技术。但是，上述的加热夹克的附着性很差，所以在排气管和其中间产生空气层，导 致热传递的效能降低，不但如此，以往的排气管为平滑管，所以在安装时，需要曲折， 因此流体会以管壁形成冲突，使其压力上升，在管的连接部位的弯管生成粉末。在韩国专利10-0860593号中，为了解决加热夹克的问题，提示了另一种管子结 构。如图2所示，把置于半导体设备的气体排气管上的排气管制造成双重波纹管的形 状，双重波纹管的内部装上热线，通过波纹管的灵活的特性，可以使流体的冲突度变为 最小。但是，上述的专利需要报波纹管制造成双重波纹管的形态，这样的制造过程不 仅很难，而且，双重的波纹管互相结合时，会导致工作效率的降低。不但如此，在2个波纹管之间介入热线会妨碍波纹管的灵活性，使某些部位形 成曲折，在这曲折的部分会生成粉末。而且，为了把波纹管连接到排气管上，需要其他的装置，因热的流出量比较 高，所以很难维持适当的温度(150 190°C )。
发明内容
本发明是为了解决以上的问题而言就出来的，其目的是要提供在维持适当的高 温下，能够防止排气管中粉末沉积的现象的加热管。为达到上述的目的，本发明提供有关于用于排出线的加热管，其特征包括两 端上有形成凸缘部的金属材料的波纹管，上述波纹管的外周面有以螺旋形状卷上的热线部，上述热线部的外侧有耐热绝缘材料，上述耐热绝缘层的外侧有保温材料，还包括压 入在上述波纹管的两端的保温材料外侧的环状压入帽。在这里，上述 热线部的最适当的结构为；内部形成收容空间，收容空间的中间 部位有隔壁形成的带状箱子，由上述隔壁隔开的一侧空间部有(+)极热线，另一侧为(_) 极热线。还有，上述热线部的特征应该为从气体进入的一端到气体排出的一端，卷在管 上的热线部之间的间距越来越小。而且，上述的耐热绝缘材料应该是由磁带形态的石棉卷在上面形成的。还有，上述保温材料应该包括第一保温层和第二保温层；第一保温层是由石棉 材料包裹耐热绝缘材料的表面形成的，第二保温层是利用其一面的附着剂附着在第一保 温层的外面。为了达到此目的，根据本发明，排出线包含连接半导体工程的工程室和清洁器 的多个加热管，还有介入在上述加热管的曲折连接部位的弯管零件。对于此排出线，其 构造特征为；上述的加热管两端上有由形成凸缘部的金属材料管，上述波纹管的外周面 有以螺旋形状卷上的热线部，上述热线部的外侧有耐热绝缘材料，上述耐热绝缘层的外 侧有保温材料，还包括压入在上述波纹管的两端的保温材料外侧的环状压入帽，上述弯 管零件的外周面是由加热夹克包裹形成的。根据此发明，在维持适当的高温下，能够防止排气管中粉末沉积的现象。
图1是显示一般的半导体工程的排气管构造的概图。图2是显示使用波纹管的半导体工程的排气管构造的概图。图3是根据例1显示本发明中加热管构造的切开斜视图。图4是根据例1显示本发明中加热管的构造。图5是根据例1显示本发明中热线部的卷取构造。图6是根据例2显示本发明中半导体工程的排气管构造。标号说明10:加热管11 波纹管12 热线部 12a 箱子12b (+)极热线 12c 隔壁12d (“)极热线 13 耐热绝缘材料14 第1保温层 15 第2保温层16 凸缘部17 压入帽18 连接器100 工程室200 气体清洁器 300 弯管零件400 加热夹克
具体实施例方式本发明的进行例子可参照
。
图3是根据本发明中的例一，显示加热管构造的部分的切开斜视图，图4是根据 本发明中的例一，显示加热管构造的断面图。 如图所示，根据本发明，加热管(10)的组成包含波纹管(11)，热线部(12)，耐 热绝缘材料(13)，保温材料(14，15)。波纹管(11)是金属材料制造成的圆筒形管子，有很多波纹，两端部由工程室 (100)及连接气体清洁器(200)的凸缘部(16)连为一体。波纹管(11)的材料是厚度为 0.3mm的不锈钢，此外还可以是镀锌或耐热性的合成树脂。热线部(12)以螺旋形卷在波纹管(11)的外周面，进行加热，使波纹管(11)的 内部温度维持在适当的温度(50 190°C)。如图4所示，热线部的内部有收容空间， 空间的中央有隔壁(12c)形成的带状箱子(12a)，隔壁(12c)隔开的一侧空间部有(+)极 热线(12b)，另一侧为(_)极热线(12d)。隔壁(12c)是为防止两个热线间的短路而设置 的，一个热线部(12)内同时设有两条热线，具有通过一个连接器(18)连接与电源部(未 图示)的优点。耐热绝缘材料(13)位于热线部的外侧，最好是由磁带形象的石棉卷在上面形成 的。石棉是含镁较多的汗水硅酸盐矿物质的纤维相，具有不易燃，断热性，耐久 性，耐火性，绝缘性等优点，可以提供电绝缘，也可以承受波纹管(11)的高温。保温材料(14，15)位于耐热绝缘层的外侧，防止热线部(12)的热量流到外部， 是由石棉材料组成，包括包在耐热绝缘材料(13)的表面的第一保温层(14)以及一面图有 附着剂，这一面附着在第一保温层(14)的外面的第二保温层(15)。而且，在波纹管(11)的两端侧的第二保温层(15)的外侧有环状压入帽(17)压 入，从而使凸缘部变得坚固。图6显示本发明中热线部的卷取构造。如图所示，在本发明中，热线部(12)不是按一定的间隔卷在波纹管(11)的外周 面，而是从左侧的气体流入一侧到右侧的气体流出的一侧，其间距越来越窄。为防止排气中粉末的生成，排出线的加热管(10)的内部温度维持在一定的高度 是非常重要的，为此，需要热线之间紧密的卷取，但是，如果这样，会影响波纹管灵活 的特性，也会导致成本变高，而且，难以达到高温。热线载入高压时，生成的电力消耗 高，就是载入高压，由于热线的热容量，也只能达到一定的温度。通常，从工程室(100)排除的气体是高温气体，通过排出线排出的过程中，温 度下降，所以以低温的状态冲突在内壁上，生成粉末。考虑到这样的特性，本发明使从 工程室(100)流入到管内的气体通过管道时，能够保持一定的温度。这是通过调整热线 部(12)的间隔完成的，内部气体的温度较高的前方部位，使热线部(12)的间隔较大，越 往后，热线部的间隔就越小。特别是在温度下降最显著的排出口一侧要把热线部(12)卷取的更严密，从而防 止粉末的生成。图6是本根据发明中的例2，显示半导体工程的排出线的构造。如图6所示，本发明的例2是加热管(10)制造成直线管的形态，加热管(10)之 间用弯管零件(300)连接，不是具有灵活性的波纹管形态。如例1，加热管(10)利用耐热绝缘材料(13)和保温材料(14，15)，防止在热线部(12)产生的热量流出，从而维持加 热管(10)的内部温度。弯管零件(300)是通常使用的弯管零件(300)，外周面用加热夹 克(400)包着，加热夹克(400)内设有热线。以往，加热夹克只设置在直线管上，不在弯管上，所以难以维持弯管内的温 度，不但如此，在较长的直线管中，也很难维持充分的温度，导致管的曲折部位生成粉 末。但依据本发明的例2，不 但可以使加热管(10)维持高温，还可以通过弯管零件(300) 外周面的加热夹克(400)使管内部的温度维持在高温当中，这样明显降低的粉末的生 成。虽然，通过一定的例子对于本发明进行了说明，但是可以在没有跃出发明的要 点和范围的情况下，进行修改或变形。所以，本发明的保护范围包括这样的修改或变 形。
权利要求
1.一种用于排出线的加热管，其特征在于， 两端的由凸缘部形成的金属材料管； 上述管的外周面上以螺旋状卷上的热线部； 位于上述热线部外侧的耐热绝缘材料； 位于上述耐热绝缘材料外侧的保温材料；压入在上述管的两端的保温材料外侧的环状压入帽；上述热线部的内部形成收容空间，收容空间的中间部位有隔壁形成的带状箱子，由 上述隔壁隔开的一侧空间部有(+)极热线，另一侧为(-)极热线。
2.如权利要求1所述的用于排出线的加热管，其中，上述管是以波纹管或直线管中的一个。
3.如权利要求1所述的用于排出线的加热管，其中，上述热线部的特征为从气体进入 的一端到气体排出的一端，卷在管上的热线部间的间距越来越小。
4.如权利要求1所述的用于排出线的加热管，其中，上述耐热绝缘材料的特征是以向 磁带形状的石棉卷在上面形成的。
5.如权利要求1所述的用于排出线的加热管，其中，上述保温材料包括第一保温层和 第二保温层；第一保温层是由石棉材料包裹耐热绝缘材料的表面形成的，第二保温层是 利用其一面的附着剂附着在第一保温层的外面。
全文摘要
本发明中提供一种用于排出线的加热管及半导体工程的排出线结构，其特征为两端上有形成凸缘部的金属材料的波纹管，上述波纹管的外周面有以螺旋形状卷上的热线部，上述热线部的外侧有耐热绝缘材料，上述耐热绝缘层的外侧有保温材料，还包括压入在上述波纹管的两端的保温材料外侧的环状压入帽。根据本发明，在维持排气管要求的高温下，可以预防在排气管中形成粉末而沉积的现象。
文档编号F16L53/00GK102022601SQ20101026245
公开日2011年4月20日 申请日期2010年8月25日 优先权日2009年9月15日
发明者朴英洙 申请人:朴英洙