专利名称：一种用于单晶炉主轴的密封装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及密封装置领域，特别涉及一种用于单晶炉主轴的密封装置。
背景技术：
单晶炉主轴的密封装置结构通常采用内外两个套，内套上端外圆和外套上端外圆均采用径向密封，这种方式由于径向已经被密封圈限制没有调整密封装置与主轴之间的同轴度和垂直度余量，故整机装配难度大、精度低，影响主轴运动的稳定性。内套内部中间位置装有星形密封圈，这种密封圈适用于静密封和端面密封，当主轴做往复直线运动时，星形密封圈对主轴产生较大的摩擦阻力，会使主轴产生爬行现象而降低运动稳定性，同时也会严重影响密封圈的密封效果和使用寿命。在内套内部上端装有导向套与主轴接触，由于旋转密封装置与主轴之间的同轴度和垂直度不好，当主轴旋转或直线运动时会产生干涉，影响主轴的圆跳动和直线度；另外主轴自身会有固定振动、其他传动机构也会产生振动从而传递给主轴，导向套对主轴的导向、支撑、增加阻尼、减振的效果并不好，影响了主轴运动稳定性。
实用新型内容本实用新型的目的是增加阻尼，降低主轴震动，提高主轴运动稳定性，减低装配难度，提高装配精度。为此，本实用新型提出了一种用于单晶炉主轴的密封装置。本实用新型提供的技术方案为一种用于单晶炉主轴的密封装置，包括内套，其套设于主轴的外侧，与所述主轴之间为密封连接，且不影响所述主轴相对所述内套进行轴向移动，所述内套与所述主轴之间使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转，驱动机构旋转时，带动所述主轴和内套同步旋转；外套，其套设于所述内套的外侧，固定于所述单晶炉主体，所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接，且所述内套与所述外套之间为密封连接，且安装有轴承，内套旋转时，外套不旋转，所述外套与所述单晶炉主体之间通过一弹性密封构件实现密封连接。优选的是，所述的用于单晶炉主轴的密封装置中，所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接，是通过以下方式实现的，所述内套和所述外套之间设置有一对角接触轴承和一个深沟球轴承。优选的是，所述的用于单晶炉主轴的密封装置中，所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接。优选的是，所述的用于单晶炉主轴的密封装置中，所述内套与所述外套之间通过一对骨架密封件实现密封连接。优选的是，所述的用于单晶炉主轴的密封装置，所述外套与所述单晶炉主体之间通过一 0型密封件实现密封连接。[0012]优选的是，所述的用于单晶炉主轴的密封装置，所述内套的内侧还具有两个导向套，分别位于所述内套的两端，均套设于主轴上。优选的是，所述的用于单晶炉主轴的密封装置，所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接，是通过以下方式实现的，所述内套上设置有四个第一环形沟槽，所述每一个第一环形沟槽与所述主轴均形成一向所述唇形密封件施加预紧力的容置空间，所述四个唇形密封件分别位于所述四个容置空间内。本实用新型的用于单晶炉主轴的密封装置中，外套并不直接通过螺栓固定于单晶炉的主体上，在外套与单晶炉的主体之间还设置有一弹性密封构件，在密封装置向单晶炉上的装配过程中，就可以通过调整外套与单晶炉的主体之间的相对位置，实现对主轴与单晶炉的主体的同轴度以及垂直度的调整，本实用新型降低了单晶炉的装配难度，提高了装配的精度。本实用新型中内套与主轴之间始终处于同步转动的状态，也就是说二者处于相对静止的状态，在内套与主轴之间仅需要设置适用于直线运动密封的密封件就可以满足密封要求。本实用新型采用唇形密封件，该唇形密封件的使用改善了密封效果，降低了摩擦阻力，提高了主轴运动的稳定性，从而单晶生长的稳定性也得到增强，有利于生产效率和成品率的提高；并且也有助于延长密封件的使用寿命。
图1为本实用新型所述的用于单晶炉主轴的密封装置的结构示意图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单的介绍。本实用新型提供了一种用于单晶炉主轴的密封装置，包括内套，其套设于主轴的外侧，与所述主轴之间为密封连接，且不影响所述主轴相对所述内套进行轴向移动，所述内套与所述主轴之间使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转，驱动机构旋转时，带动所述主轴和内套同步旋转；外套，其套设于所述内套的外侧，固定于所述单晶炉主体，所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接，且所述内套与所述外套之间为密封连接，且安装有轴承，内套旋转时，外套不旋转，所述外套与所述单晶炉主体之间通过一弹性密封构件实现密封连接。所述的用于单晶炉主轴的密封装置中，所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接，是通过以下方式实现的，所述内套和所述外套之间设置有一对角接触轴承和一个深沟球轴承。所述的用于单晶炉主轴的密封装置中，所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接。所述的用于单晶炉主轴的密封装置中，所述内套与所述外套之间通过一对骨架密封件实现密封连接。所述的用于单晶炉主轴的密封装置，所述外套与所述单晶炉主体之间通过一 0型密封件实现密封连接。所述的用于单晶炉主轴的密封装置，所述内套的内侧还具有两个导向套，分别位于所述内套的两端，均套设于主轴上。所述的用于单晶炉主轴的密封装置，所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接，是通过以下方式实现的，所述内套上设置有四个第一环形沟槽，所述每一个第一环形沟槽与所述主轴均形成一向所述唇形密封件施加预紧力的容置空间，所述四个唇形密封件分别位于所述四个容置空间内。本实用新型的用于单晶炉主轴的密封装置，增加了阻尼，降低了主轴震动，提高了主轴运动稳定性，同时提高了密封圈的密封效果和延长了使用寿命，减低了装配难度，提高了装配精度，进一步提闻了单晶的生广效率和成品率。本实用新型采用内套2和外套4，内套旋转外套固定。内套套设于主轴18的外侧，二者之间通过四个唇形密封件12和唇形密封件13实现密封连接，所述唇形密封件之间安装有密封件支撑套14，内套受驱动机构的驱动而旋转，外套通过螺栓固定于单晶炉的主体20上。内套与外套之间设置有多对轴承，在本实用新型中，上述多对轴承分别为一对角接触轴承5和一个深沟球轴承7，其中，角接触轴承位于相对靠上的位置，深沟球轴承位于相对靠下的位置，在一对角接触轴承与一个深沟球轴承之间设置有环形的外支撑件6和内支撑件11，该支撑件用于为角接触轴承和深沟球轴承提供支撑，以保证内套旋转的精度和稳定性。轴承下端安装有压环10，用螺钉21与其固定。本实用新型中，内套2与外套4之间为密封连接，即内套与外套之间也设置有密封构件，且密封件上端设置有密封件压盖3。在外套的端部上开设有一第二环形沟槽，第二环形沟槽内部中间位置和外侧均设置有第一环形挡板15，两个第一环形挡板将第二环形沟槽分割为两个环形的空间，一对骨架密封件16就分别位于上述两个环形的空间内。本实用新型中，外套4与单晶炉的主体20之间设置有一弹性密封构件，上述弹性密封构件为一 0型密封件19。如图1所示，在单晶炉的主体上开设一第三环形沟槽，外套的上端突出形成一第二环形挡板，则外套的侧壁、第二环形挡板以及第三环形沟槽构成了容纳0型密封件的空间。在内套2两端装有两个导向套，即上导向套17和下导向套9，分别套设于主轴18上下端，其中，上导向套的上端设置有压盖I起固定作用，导向套加强了对主轴的导向和支撑作用，增加了阻尼，降低了主轴振动，从而提高了主轴运动的稳定性。本实用新型中所述的驱动机构包括电机,另有同步带轮8连接主轴，电机旋转带动同步带轮旋转，从而带动主轴和内套旋转。当主轴在驱动作用下旋转时，内套与主轴同步转动，其内部的密封件相对旋转主轴是静止的，降低了主轴的震动，从而提高了主轴运动的稳定性，单晶生长的稳定性也得到增强，有利于生产效率和成品率的提高。尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
权利要求1.一种用于单晶炉主轴的密封装置，其特征在于，包括 内套，其套设于主轴的外侧，与所述主轴之间为密封连接，且不影响所述主轴相对所述内套进行轴向移动，所述内套与所述主轴之间使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转，驱动机构旋转时，带动所述主轴和内套同步旋转； 外套，其套设于所述内套的外侧，固定于所述单晶炉主体，所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接，且所述内套与所述外套之间为密封连接，且安装有轴承，内套旋转时，外套不旋转，所述外套与所述单晶炉主体之间通过一弹性密封构件实现密封连接。
2.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置，其特征在于，所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接，是通过以下方式实现的，所述内套和所述外套之间设置有一对角接触轴承和一个深沟球轴承。
3.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置，其特征在于，所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接。
4.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置，其特征在于，所述内套与所述外套之间通过一对骨架密封件实现密封连接。·
5.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置，其特征在于，所述外套与所述单晶炉主体之间通过一 O型密封件实现密封连接。
6.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置，其特征在于，所述内套的内侧还具有两个导向套，分别位于所述内套的两端，均套设于主轴上。
7.如权利要求3所述的的用于单晶炉主轴的密封装置，其特征在于，所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接，是通过以下方式实现的，所述内套上设置有四个第一环形沟槽，所述每一个第一环形沟槽与所述主轴均形成一向所述唇形密封件施加预紧力的容置空间，所述四个唇形密封件分别位于所述四个容置空间内。
专利摘要本实用新型涉及密封装置，特别涉及一种用于单晶炉主轴的密封装置，其特征在于，包括内套，其套设于主轴的外侧，与所述主轴之间为密封连接，且不影响主轴相对内套进行轴向移动，所述内套与主轴使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转，在驱动机构旋转驱动下，主轴和内套同步旋转；外套，其套设于所述内套的外侧，固定于所述单晶炉主体，内套以可相对外套旋转的方式与外套连接，且内套与外套之间为密封连接，安装有轴承，内套旋转时，外套不旋转，所述外套与所述单晶炉主体之间通过一弹性密封构件实现密封连接。本实用新型用驱动机构驱动主轴和内套旋转，外套与单晶炉的主体密封连接，内套与主轴同步转动，降低了主轴的震动，提高了主轴运动的稳定性。
文档编号F16J15/18GK202884024SQ201220466649
公开日2013年4月17日 申请日期2012年9月13日 优先权日2012年9月13日
发明者周鹏, 张继宏, 徐振斌, 袁静 申请人:北京京运通科技股份有限公司