一种调节装置及调节组件的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种设备设施的改进，特别是涉及一种调节装置及调节组件的改进。
【背景技术】
[0002]在半导体技术领域中，利用半导体制程工艺制造半导体器件时，基本处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗之后，接着进行氧化及沉积，最后进行微影、刻蚀及离子植入等反复步骤，以完成电路的加工与制作。
[0003]刻蚀技术是将材料使用化学反应物理撞击作用而移除的技术，可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀。常见的湿法刻蚀技术是化学气相沉积，利用热能、电浆放电或紫外光照射等化学反应的方式，在反应器内将反应物(通常为气体)生成固态的生成物，并在晶片表面沉积形成稳定固态薄膜的一种沉积技术，CVD技术是半导体IC制程中运用极为广泛的薄膜形成方法。
[0004]在半导体生产工艺车间内，由于CVD制程需调节机台加热器(heater)的高度，但现有技术中，出于原始设备制造商(OEM)机台的制造设计，采用的方法是使用双螺母调节装置对机台加热器(heater)的高度进行调节。然而，使用上述双螺母调节装置调节加热器(heater)高度的过程中存在许多问题:1.工程师需根据经验使用扳手调节双螺母从而调节加热器(heater)的高度，既调节粗糙又无法精确读值;2.只能凭工程师的经验盲调多次才能调节成功;3.不方便工程师调节，耗费工程师的时间和精力;4.降低了量产成功率。
[0005]鉴于此，有必要设计一种新的调节装置用以解决上述技术问题。
【实用新型内容】
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种调节装置及调节组件，用于解决现有技术中工程师需根据经验使用扳手调节双螺母，既调节粗糙又无法精确读值，盲调多次耗时耗力的问题，提供了方便工程师调节又可记录调节读数，可提高量产成功率及节省时间，且可与联机示意图(inline map)对比调整工具刻度值，直接调节加热器(heater)高度的调节装置及调节组件。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种调节装置及调节组件，所述调节装置包括:设有水平滑槽和垂直滑槽的组装框架;收容在所述组装框架内、通过水平滑动凸台与所述水平滑槽配合的水平滑块，所述水平滑块设有螺纹配合孔以及水平滑动面；用于贯穿所述组装框架以及螺纹配合孔的调节杆，所述调节杆上设有与螺纹配合孔配合的外螺纹;所述水平滑块的水平滑动面上放置有与之配合的垂直滑块，所述垂直滑块上设有与所述水平滑动面接触的垂直滑动面以及与所述垂直滑槽配合的垂直滑动凸台。
[0008]作为本实用新型的调节装置的一种优选方案，所述组装框架包括设有水平滑槽的底面，自所述底面两端弯折延伸的侧壁，所述侧壁上分别设有垂直滑槽;所述侧壁上分别设有与所述螺纹配合孔配合的轴承配合孔。
[0009]作为本实用新型的调节装置的一种优选方案，所述调节杆包括设置于外螺纹一端的手柄。
[0010]作为本实用新型的调节装置的一种优选方案，所述水平滑动面为一表面光滑的斜面。
[0011]作为本实用新型的调节装置的一种优选方案，所述垂直滑动面为一表面光滑的斜面。
[0012]作为本实用新型的调节装置的一种优选方案，所述垂直滑块上设有高度调节柱。
[0013]作为本实用新型的调节装置的一种优选方案，所述调节装置还包括与所述组装框架配合的安装上盖，所述安装上盖上设有高度调节柱孔，所述高度调节柱插入所述高度调节柱孔。
[0014]作为本实用新型的调节装置的一种优选方案，所述组装框架的侧壁上设有刻度标示，用于实现垂直滑块升降的标记记录值。
[0015]作为本实用新型的调节装置组件，该组件包括两个所述的调节装置，其中第一调节装置和第二调节装置通过连接板连接固定。
[0016]如上所述，本实用新型的调节装置及调节组件，具有以下有益效果:所述调节装置及调节组件通过把水平滑块在组装框架内的的水平直线运动转换为垂直滑块的垂直直线运动，以此来调节加热器(heater)的高度，可以实现简单地通过旋转调节杆完成加热器(heater)的高度调节，有效地避免了调节双螺母所带来的耗时耗力;使用刻度标示对调节高度进行显示，使得高度调节的精准度更高，避免了工程师凭经验的盲调，方便工程记录和位置校正。
【附图说明】
[0017]图1显示为本实用新型调节装置的结构示意图。
[0018]图2显示为本实用新型调节装置调节杆的示意图。
[0019]图3显示为本实用新型调节装置组装框架的示意图。
[0020]图4显示为本实用新型调节装置水平滑块的示意图。
[0021 ]图5显示为本实用新型调节装置垂直滑块的示意图。
[0022]图6显示为本实用新型调节装置安装上盖的示意图。
[0023]图7显示为本实用新型调节组件调节加热器(heater)高度的示意图。
[0024]元件标号说明
[0025]I调节装置
[0026]11调节杆
[0027]111调节手柄
[0028]112调节螺纹
[0029]113轴承
[0030]114轴承
[0031]12组装框架
[0032]121刻度标示
[0033]122垂直滑槽
[0034]123水平滑槽
[0035]124安装配合口
[0036]125机台安装孔
[0037]126上盖安装孔
[0038]127轴承配合孔
[0039]13水平滑块
[0040]131螺纹配合孔[0041 ]132水平滑动凸台
[0042]133水平滑动面
[0043]14垂直滑块
[0044]141高度调节柱
[0045]142垂直滑动凸台
[0046]143垂直滑动面
[0047]15安装上盖
[0048]151滑动凸台
[0049]152高度调节孔
【具体实施方式】
[0050]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0051]请参阅图1至图7。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0052]请参阅图1，图1为所述调节装置的结构示意图，如图1所示，所述调节装置I包括设有水平滑槽123和垂直滑槽122的组装框架12;收容在所述组装框架12内、通过水平滑动凸台132与所述水平滑槽123配合的水平滑块13，所述水平滑块13设有螺纹配合孔131以及水平滑动面133;用于贯穿所述组装框架12以及螺纹配合孔131的调节杆11，所述调节杆11上设有与螺纹配合孔131配合的调节螺纹112;所述水平滑块13的水平滑动面133上放置有与之配合的垂直滑块14，所述垂直滑块14上设有与所述水平滑动面133接触的垂直滑动面143以及与所述垂直滑槽122配合的垂直滑动凸台142。
[0053]具体的，请参阅图2至图6，图2为所述调节装置调节杆的示意图，图3为所述调节装置组装框架的示意图，图4为所述调节装置水平滑块的示意图，图5为所述调节装置垂直滑块的示意图，图6为所述调节装置安装上盖的示意图。
[0054]请参阅图2所示，所述调节杆11包括调节手柄111，与调节手柄111连接的螺杆，螺杆上配有调节螺纹112，以及起紧固作用的轴承113和轴承114。
[0055]请参阅图3所示，所述组装框架12包括一底面，该底面的上表面设有一水平滑槽123，所述水平滑槽123从左至右横跨所述底面的上表面，还包括自所述底面两端弯折延伸的侧壁，所述侧壁为一 F形结构，所述F形结构的侧壁包括两个水平短臂和一垂直长臂，在所述垂直长臂内侧分别设有一从上至下的垂直滑槽122，以及连接所述垂直滑槽122与水平滑槽123的轴承配合孔127，所述轴承配合孔127贯穿于所述垂直长臂，通过所述轴承配合孔127，调节杆11将水平滑块13安装在组装框架12内；所述F形结构的上水平短臂的两侧面设有上盖安装孔126，用于安装所述安装上盖15，所述上水平短臂的上表面还设有机台安装孔125，用于安装机台，在所述上下水平短臂之间设有安装配合孔124，用于放置连接板，固定调节装置I;所述组装框架12还设有刻度标示12