1，所述刻度标示121位于未与水平短臂连接的垂直长臂的表面，用于实现垂直滑块14升降的标记值的记录。
[0056]请参阅图4所示，所述水平滑块13为一立方体，该立方体的下表面从左至右设有一水平滑动凸台132，所述水平滑动凸台132与组装框架12的水平滑槽123配合，所述立方体还包括一螺纹配合孔131，所述螺纹配合孔131贯穿于该立方体的左右两侧面，并在螺纹配合孔131内设有螺纹，所述螺纹配合孔131内的螺纹与调节杆11的调节螺纹112进行螺纹配合运动，所述立方体的上表面为一表面光滑的斜面。
[0057]请参阅图5所示，所述垂直滑块14为一立方体，所述立方体的下表面为一垂直滑动面143，上表面设有一高度调节柱141，所述立方体的左右两侧面从上至下分别设有垂直滑动凸台142，所述垂直滑动凸台142与组装框架12的垂直滑槽122配合。
[0058]请参阅图6所示，所述安装上盖15包括一高度调节孔152，该高度调节孔152贯穿于所述安装上盖15的上下表面，与垂直滑块14的高度调节柱141配合;在所述安装上盖15的两侧设有滑动凸台151，所述滑动凸台151与所述垂直滑槽122配合;所述安装上盖15还包括四个安装孔，分别位于安装上盖15两侧面的四角，该安装孔与组装框架12的上盖安装孔配合，通过安装螺丝，将安装上盖15固定在组装框架12内。
[0059]下面对本实用新型的一种调节装置及调节组件的安装过程及其操作情况参照图1至图6进行说明。
[0060]如图1至图6所示，将水平滑块13置于组装框架12内，并将水平滑动凸台132置于水平滑槽123内，两者进行配合，使得水平滑块13可以在水平滑槽123内水平滑动;分别在组装框架12两侧的轴承配合孔127处放置轴承113和轴承114，用调节杆11将水平滑块13安装在组装框架12内，通过旋转调节手柄111，使调节螺纹112和螺纹配合孔131内的螺纹进行螺纹配合运动，实现水平滑块13在组装框架12内的水平直线运动。
[0061 ] 垂直滑块14放置在水平滑块13上，水平滑块13的水平滑动面133与垂直滑块14的垂直滑动面143接触，并将垂直滑动凸台142置于垂直滑槽122内，两者进行配合，使得垂直滑块14可以在垂直滑槽122内上下滑动，通过水平滑块13的水平直线运动，引起垂直滑块14的垂直直线运动，实现水平滑块13的水平直线运动转换为垂直滑块14的垂直直线运动。
[0062]需要说明的是，所述水平滑动面133为一表面光滑的斜面，斜面的坡度依据于所要调节的最大高度;所述垂直滑动面143为一表面光滑的滑动面，其可以为斜面、平面或其他形状的滑动面，只需实现垂直滑动面143和水平滑动面133的接触，如线接触、面接触或其他接触方式，优选地，本实施例中，所述垂直滑动面143为一表面光滑的斜面。表面光滑的斜面摩擦小，而且能够增加可调节的高度。
[0063]所述调节装置还包括与所述组装框架12配合的安装上盖15，所述安装上盖15上设有高度调节柱孔152，所述高度调节柱141插入所述高度调节柱孔152，用以支撑加热器(heater)调节面，通过高度调节柱141的垂直移动，实现调节加热器(heater)调节面的高度;安装上盖15的滑动凸台151置于垂直滑槽122内，并用安装螺丝将安装上盖15固定在组装框架12上。
[0064]需要说明的是，垂直滑块14上的高度调节柱141增加了本实用新型可调节的高度，在本实施例中，可以不设置高度调节柱141和安装上盖15，通过垂直滑块14上表面的垂直移动实现支撑加热器(heater)调节面及高度的调节。实现高度的调节通过增加水平滑块13的坡度、水平滑块13的高度、垂直滑块14的坡度、垂直滑块14的高度或四者的任意组合实现调节的高度。
[0065]所述组装框架12的侧壁上设有刻度标示121，用于实现垂直滑块14升降的标记记录，使用刻度标示121对调节高度进行显示，使得高度调节的精准度更高，避免了工程师凭经验的多次盲调，方便工程记录和位置校正。
[0066]如图7所示，此调节组件由至少两个上述调节装置构成，其中第一调节装置和第二调节装置通过连接板连接固定。
[0067]需要说明的是，连接板的结构可以是起固定连接作用的任一结构的一种，如长方体、梯形结构或其他可以起固定连接作用的结构，优选地，本实施例中，所述连接板为一长方体结构;组装框架12的结构可以是能够固定连接板的任一结构的一种，如F形结构、E形结构或其他可以固定连接板的任一结构的一种，优选地，本实施例中，所述组装框架12为一F形结构的安装主体;在本实施例中，通过将长方体结构的连接板安装在F形结构组装框架的安装配合口处来固定两个调节装置。F形结构的组装框架结构简单，使用长方体结构的连接板固定连接两调节装置，使连接固定牢靠，容易实现两个调节装置的调节高度一致，增加了稳定性和一致性。
[0068]综上所述，本实用新型提供一种调节装置及调节组件，所述调节装置通过水平滑块13在组装框架12的水平滑槽123内的水平直线运动转换为垂直滑块14在组装框架12的垂直滑槽122内的垂直直线运动，实现高度的调节;使用刻度标示，记录垂直滑块14升降的高度值记录，使得高度调节的精准度更高，避免了工程师凭经验的盲调，方便工程记录和位置校正；同时，由此调节装置构成的调节组件，可以实现简单地通过旋转调节杆完成加热器(heater)的高度调节，有效地避免了调节双螺母所带来的耗时耗力、既调节粗糙又无法精确读值、盲调多次的缺陷，并且操作简单、保证调节成功率以及节省量产时间。
[0069]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种调节装置，其特征在于:所述调节装置(I)包括: 设有水平滑槽(123)和垂直滑槽(122)的组装框架(12); 收容在所述组装框架(12)内、通过水平滑动凸台(132)与所述水平滑槽(123)配合的水平滑块(13)，所述水平滑块(13)设有螺纹配合孔(131)以及水平滑动面(133); 用于贯穿所述组装框架(12)以及螺纹配合孔(131)的调节杆(11)，所述调节杆(11)上设有与螺纹配合孔(131)配合的调节螺纹(112); 所述水平滑块(13)的水平滑动面(133)上放置有与之配合的垂直滑块(14)，所述垂直滑块(14)上设有与所述水平滑动面(133)接触的垂直滑动面(143)以及与所述垂直滑槽(122)配合的垂直滑动凸台(142)。2.根据权利要求1所述的一种调节装置，其特征在于:所述组装框架(12)包括设有水平滑槽(123)的底面，自所述底面两端弯折延伸的侧壁，所述侧壁上分别设有垂直滑槽(122);所述侧壁上分别设有与所述螺纹配合孔(131)配合的轴承配合孔(127)。3.根据权利要求1所述的一种调节装置，其特征在于:所述调节杆(11)包括设置于外螺纹一的手柄(111)。4.根据权利要求1所述的一种调节装置，其特征在于:所述水平滑动面(133)为一表面光滑的斜面。5.根据权利要求1所述的一种调节装置，其特征在于:所述垂直滑动面(143)为一表面光滑的斜面。6.根据权利要求1所述的一种调节装置，其特征在于:所述垂直滑块(14)上设有高度调节柱(141)。7.根据权利要求6所述的一种调节装置，其特征在于:所述调节装置还包括与所述组装框架(12)配合的安装上盖(15)，所述安装上盖(15)上设有高度调节柱孔(152)，所述高度调节柱(141)插入所述高度调节柱孔(152)。8.根据权利要求1或3所述的一种调节装置，其特征在于:所述组装框架(12)的侧壁上设有刻度标示(121)，用于实现垂直滑块(14)升降的标记记录值。9.一种调节组件，其特征在于:该组件包括至少两个权利要求1至8任意一项所述的调节装置，其中第一调节装置和第二调节装置通过连接板连接固定。
【专利摘要】本实用新型提供一种调节装置及调节组件，包括设有水平滑槽和垂直滑槽的组装框架；收容在所述组装框架内、通过水平滑动凸台与所述水平滑槽配合的水平滑块，所述水平滑块设有螺纹配合孔以及水平滑动面；用于贯穿所述组装框架以及螺纹配合孔的调节杆，所述调节杆上设有与螺纹配合孔配合的调节螺纹；所述水平滑块的水平滑动面上放置有与之配合的垂直滑块，所述垂直滑块上设有与所述水平滑动面接触的垂直滑动面以及与所述垂直滑槽配合的垂直滑动凸台。通过采用本实用新型的调节装置及调节组件，提供一种更适用于机台结构且容易安装、可视方便、精确调节的工具，工程师容易操作，保证调节成功率且节省量产时间。
【IPC分类】F16M11/18, F16M11/04
【公开号】CN205331723
【申请号】CN201521089867
【发明人】沈祥江
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司, 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2015年12月24日