专利名称：液体连续供应装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种液体连续供应装置。
背景技术：
在一些半导体工艺中，例如研磨液评估、工艺的开发等，需要少量的液体。如果采用大罐装的反应液体，往往因不能完全使用而造成浪费，并且运输也不方便。如果采用一小瓶的反应液体，这些研磨液评估、工艺的开发工作往往会因为瓶内的容量有限，不得不因更换瓶子而打断，严重影响了工作效率。因此，如何提供一种采用小容量的瓶装液体的液体连续供应装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种液体连续供应装置，采用小容量的溶液瓶可以实现连续的液体供应，运输方便、使用便捷。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案:一种液体连续供应装置,包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过所述控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述控制阀包括阀体、两端盖、阀芯、阀芯驱动机构以及密封圈，所述接口管和所述连接管与所述阀体对接的一端分别设有扩充管部，所述阀体的两侧分别设有与所述扩充管部的内径相匹配的凸管，藉由端盖和阀体之间的螺纹连接将所述扩充管部固定套设于对应的凸管外侧，所述阀体内部设有供所述阀芯滑动的阀芯通道，所述阀芯通道分别与所述凸管的内部连通，所述阀芯驱动机构带动所述阀芯上、下移动以启、闭两个凸管之间的通路，所述阀芯上与所述阀芯通道相接触的表面上设有所述密封圈。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述阀芯驱动机构包括旋钮以及螺杆，所述螺杆的一端与所述旋钮固定连接，所述螺杆的另一端与所述阀芯固定连接，所述阀芯通道的靠边缘部分设有与所述螺杆的外螺纹相匹配的内螺纹。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述溶液瓶两侧的所述连接管的另一端分别设有公接头和母接头。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述公接头包括锁紧器以及扩充管部，所述扩充管部与对应的连接管连接或一体成型，所述锁紧器的一端套设于对应的连接管的外侧，所述锁紧器的另一端设有内螺纹。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述母接头包括头部以及外螺纹管，所述头部经所述外螺纹管与对应的连接管连接或一体成型，所述外螺纹与所述内螺纹相匹配。[0012]优选的，在上述的液体连续供应装置中，还包括一手推车，所述手推车包括用于放置所述三个溶液供应单元的托盘、推杆以及多个轮子，所述轮子安装于所述托盘的下方，所述推杆连接于所述托盘的一侧。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述三个溶液供应单元中有一个溶液供应单元的溶液瓶外接一液体供应管路，所述液体供应管路上设有一液压泵，其他溶液供应单元的连接管分别与外接有液体供应管路的溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。本实用新型提供的液体连续供应装置，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。当一瓶溶液供应单元(即第一个溶液供应单元)中的溶液瓶内溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元中的一侧通过连接管接一个满的溶液供应单元(即第二个溶液供应单元)，当这两个溶液供应单元中的溶液瓶内的溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元中的另一侧的连接管接另外一个满的溶液供应单元(即第三个溶液供应单元)，并可根据需要拆卸下第二个溶液供应单元，以连接第四个溶液供应单元，如此根据需要可以不停地接满的溶液供应单元，从而实现液体的连续供应。此外，由于溶液瓶的体积小，使得搬运更加方便。另外，通过设置手推车，可以使得三个溶液供应单元的运输更加方便，从而，有效降低劳动强度，提高生产效率。
本实用新型的液体连续供应装置由以下的实施例及附图给出。图1是本实用新型一实施例的液体连续供应装置的结构示意图；图2是本实用新型一实施例的溶液供应单元的结构示意图；图3是本实用新型一实施例的控制阀的结构示意图；图4是本实用新型一实施例中不同连接管对接的结构示意图；图5a是本实用新型的使用方法中第一步的结构示意图；图5b是本实用新型的使用方法中第二步的结构示意图；图5c是本实用新型的使用方法中第三步的结构示意图；图中，1-溶液供应单元、Ia-第一溶液供应单元、Ib-第二溶液供应单元、Ic-第三溶液供应单元、11-溶液瓶、12-接口管、13-控制阀、131-阀体、1311-凸管、132-盖、133-阀芯、134-密封圈、135-旋钮、136-螺杆、14-连接管、141-公接头、1411-锁紧器、142-母接头、1421-头部、1422-外螺纹管、2-液体供应管路、3-液压泵、4-手推车、41-托盘、42-推杆、43-轮子。
具体实施方式
以下将对本实用新型的液体连续供应装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图1至图4，其中，图1是本实用新型一实施例的液体连续供应装置的结构示意图；图2是本实用新型一实施例的溶液供应单元的结构示意图；图3是本实用新型一实施例的控制阀的结构示意图；图4是本实用新型一实施例中不同连接管对接的结构示意图。这种液体连续供应装置,包括至少三个溶液供应单元1，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶11、两根接口管12、两个控制阀13以及两根连接管14，所述溶液瓶11的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管12的一端，所述接口管12的另一端分别通过控制阀13与所述连接管14的一端密封连接，不同溶液供应单元I的连接管14可拆卸式连接。当一瓶溶液供应单元(例如第一个溶液供应单元Ia)中的溶液瓶11内溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元Ia中的一侧通过连接管14接一个满的溶液供应单元(例如第二个溶液供应单元lb)，当这两个溶液供应单元la、lb中的溶液瓶11内的溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元Ia的另一侧的连接管14接另外一个满的溶液供应单元(例如第三个溶液供应单元lc)，并可根据需要拆卸下第二个溶液供应单元lb，以连接第四个溶液供应单元(未图示)，如此根据需要可以不停地接满的溶液供应单元1，从而实现液体的连续供应。并且，由于溶液瓶11的体积小，使得搬运更加方便。较佳的，请重点参阅图3，并请结合图1、图2和图4，在上述的液体连续供应装置中，所述控制阀13包括阀体131、两端盖132、阀芯133、阀芯驱动机构以及密封圈134，所述接口管12和所述连接管14与所述阀体131对接的一端分别设有扩充管部，所述阀体的两侧分别设有与所述扩充管部的内径相匹配的凸管1311，藉由端盖132和阀体131之间的螺纹连接将所述扩充管部固定套设于对应的凸管1311外侧，所述端盖132和阀体131之间的螺纹连接采用紧固螺钉，所述阀体131内部设有供所述阀芯133滑动的阀芯通道，所述阀芯通道分别与所述凸管1311的内部连通，所述阀芯驱动机构带动所述阀芯133上、下移动以启、闭两个凸管1311之间的通路，所述阀芯133上与所述阀芯通道相接触的表面上设有所述密封圈134。通过设置控制阀13，可以方便地实现接口管12和连接管14之间的通与断。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述阀芯驱动机构包括旋钮135以及螺杆136，所述螺杆136的一端与所述旋钮135固定连接，所述螺杆136的另一端与所述阀芯133固定连接，所述阀芯通道的靠边缘部分设有与所述螺杆136的外螺纹相匹配的内螺纹。上述结构的阀芯驱动机构，不但结构简单，而且可以实现阀芯133的稳定工作。较佳的，请重点参阅图4，并请结合图1至图3，所述溶液瓶11两侧的所述连接管14的另一端分别设有公接头141和母接头142。所述公接头141包括锁紧器1411以及扩充管部，所述扩充管部与对应的连接管14连接或一体成型，所述锁紧器1411的一端套设于对应的连接管14的外侧，所述锁紧器1411的另一端设有内螺纹。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述母接头142包括头部1421以及外螺纹管1422，所述头部1421经所述外螺纹管1422与对应的连接管14连接或一体成型，所述外螺纹与所述内螺纹相匹配。采用上述结构的公接头141和母接头142，结构简单，连接和拆卸非常便捷。请继续参阅图1至图4，本实施例中，所述接口管12和连接管14的材料可以是聚丙烯、可溶性聚四氟乙烯等。其中，聚丙烯(PP)是大众通用性树脂，密度小、无毒、耐水、耐化学品性、加工性优良、成本低；可溶性聚四氟乙烯(PFA)是聚四氟乙烯与全氟丙基乙烯基醚共聚物，完全保持了聚四氟乙烯的优良性能。本实施例中，接口管2和连接管14的直径优选为5_20mm。优选的，在上述的液体连续供应装置中，还包括一手推车4，所述手推车包括用于放置所述三个溶液供应单元的托盘41、推杆42以及多个轮子43，所述轮子43安装于所述托盘41的下方，所述推杆42连接于所述托盘41的一侧。另外，通过设置手推车4，可以使得三个溶液供应单元I的运输更加方便，从而，有效降低劳动强度，提高生产效率。优选的,在上述的液体连续供应装置中,所述三个溶液供应单元I中，其中一个溶液供应单元I的溶液瓶10外接一液体供应管路2,所述液体供应管路2上设有一液压泵3,其他溶液供应单元I的连接管14分别与外接有液体供应管路2的溶液供应单元I的连接管14可拆卸式连接。请参阅图5a至图5c,并请结合图1至图4,本实用新型的使用方法如下:第一步，请重点参阅图5a，将第一个溶液供应单元Ia中的对外进行液体供应，此时第一个溶液供应单元Ia中的控制阀13均关闭。第二步，请重点参阅图5b，在第二个溶液供应单元Ib的控制阀13关闭的状态下，将第二个溶液供应单元Ib与第一个溶液供应单元Ia的一侧连接，当第一个溶液供应单元Ia中溶液快用完时，将第一个溶液供应单元Ia中的溶液瓶11与第二个溶液供应单元中的Ib中的溶液瓶11之间的两个控制阀13打开，使得第一个溶液供应单元Ia中的溶液瓶11与第二个溶液供应单元Ib中的溶液瓶11相连通。第三步，请重点参阅图5c，在第三个溶液供应单元Ic的控制阀13关闭的状态下，将第三个溶液供应单元Ic与第一个溶液供应单元Ia的另一侧连接，当第一个溶液供应单元Ia和第二个溶液供应单元Ib中溶液快用完时,先将第一溶液供应单元Ia的溶液瓶11和第二溶液供应单元Ib的溶液瓶11之间的控制阀13关闭，再打开第一个溶液供应单元Ia中的溶液瓶与第三个溶液供应单元Ic之间的两个控制阀13，使得第一个溶液供应单元Ia中的溶液瓶与第三个溶液供应单元Ic中的溶液瓶相连通。第四步，拆卸第二溶液供应单元lb，使之循环再利用以重新灌装溶液，并且根据需要再将另一溶液供应单元I与第一溶液供应单元Ia连接，以此类推，即可以实现液体的连续供应。综上所述，本实用新型提供的液体连续供应装置，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。当一瓶溶液供应单元(即第一个溶液供应单元)中的溶液瓶内溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元中的一侧接通过连接管接一个满的溶液供应单元(即第二个溶液供应单元)，当这两个溶液供应单元中的溶液瓶内的溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元中的另一侧的连接管接另外一个满的溶液供应单元(即第三个溶液供应单元)，并可根据需要拆卸下第二个溶液供应单元，以连接第四个溶液供应单元，如此根据需要可以不停地接满的溶液供应单元，从而实现液体的连续供应。此外，由于溶液瓶的体积小，使得搬运更加方便。另外，通过设置手推车，可以使得三个溶液供应单元的运输更加方便，从而，有效降低劳动强度，提高生产效率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种液体连续供应装置，其特征在于，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过所述控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。
2.根据权利要求1所述的液体连续供应装置，其特征在于，所述控制阀包括阀体、两端盖、阀芯、阀芯驱动机构以及密封圈，所述接口管和所述连接管与所述阀体对接的一端分别设有扩充管部，所述阀体的两侧分别设有与所述扩充管部的内径相匹配的凸管，藉由端盖和阀体之间的螺纹连接将所述扩充管部固定套设于对应的凸管外侧，所述阀体内部设有供所述阀芯滑动的阀芯通道，所述阀芯通道分别与所述凸管的内部连通，所述阀芯驱动机构带动所述阀芯上、下移动以启、闭两个凸管之间的通路，所述阀芯上与所述阀芯通道相接触的表面上设有所述密封圈。
3.根据权利要求2所述的液体连续供应装置，其特征在于，所述阀芯驱动机构包括旋钮以及螺杆，所述螺杆的一端与所述旋钮固定连接，所述螺杆的另一端与所述阀芯固定连接，所述阀芯通道的靠边缘部分设有与所述螺杆的外螺纹相匹配的内螺纹。
4.根据权利要求1所述的液体连续供应装置，其特征在于，所述溶液瓶两侧的所述连接管的另一端分别设有公接头和母接头。
5.根据权利要求4所述的液体连续供应装置，其特征在于，所述公接头包括锁紧器以及扩充管部，所述扩充管部与对应的连接管连接或一体成型，所述锁紧器的一端套设于对应的连接管的外侧，所述锁紧器的另一端设有内螺纹。
6.根据权利要求5所述的液体连续供应装置，其特征在于，所述母接头包括头部以及外螺纹管，所述头部经所述外螺纹管与对应的连接管连接或一体成型，所述外螺纹与所述内螺纹相匹配。
7.根据权利要求1所述的液体连续供应装置，其特征在于，还包括一手推车，所述手推车包括用于放置所述三个溶液供应单元的托盘、推杆以及多个轮子，所述轮子安装于所述托盘的下方，所述推杆连接于所述托盘的一侧。
8.根据权利要求广7中任意一项所述的液体连续供应装置，其特征在于，所述三个溶液供应单元中有一个溶液供应单元的溶液瓶外接一液体供应管路，所述液体供应管路上设有一液压泵，其他溶液供应单元的连接管分别与外接有液体供应管路的溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。
专利摘要本实用新型提供的液体连续供应装置，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。本实用新型根据需要实现液体的连续供应。此外，由于溶液瓶的体积小，使得搬运更加方便。另外，通过设置手推车，可以使得三个溶液供应单元的运输更加方便，从而，有效降低劳动强度，提高生产效率。
文档编号F17D1/14GK203010206SQ20122074881
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年12月31日
发明者陈枫, 熊世伟 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司