专利名称：具有带弹簧悬架的介电载体栅格的翘翘板式互连组件的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于在相对的触点阵列之间重复建立导电接触的互连组件。本发明尤其涉及具有多个成阵列的互连级的互连组件，所述成阵列的互连级包括嵌入在提供弹簧力的介电载体结构中的翘翘板式(see-saw)互连。
背景技术：
对不断降低芯片制造成本的需求迫使行业开发关于廉价且可靠的芯片测试设备的新的解决方案。一种用于重复接触被测电路芯片的触点阵列的常见部件是与测试装置触点阵列相邻地放置的互连组件，其中所述触点阵列的触点间距对应于所述被测芯片的载体(封装)触点间距。在被封装芯片测试期间，封装通过其触点阵列与互连组件相接触，从而在每个封装触点与测试装配上的对应触点之间建立起独立的导电接触。
互连阵列必须在期望的大偏转范围内提供高度一致的接触阻抗以降低尺寸上的测试接触变化对测量的不利影响。随着封装芯片触点间距的减小和测试触点数的增加，设计出制造成本较低同时能在每个互连级可用的占用面积(footprint)不断减小的情况下满足对最大偏转的需求的互连阵列也越来越难。本发明将解决这一难题。
此外，互连阵列的期望特性是互连阵列内的最小路径长度和独立导电路径复杂性，从而改善电气性能并能将跨所述互连阵列可靠地建立所要求的全部导电路径所必需的总接触力降到最低。这些特性随着单个互连阵列内测试频率和导电路径数目的增加变得愈发重要。本发明将满足这些需求。
每个独立互连必须在通常由触点间距限定的给定占用面积内提供最大偏转。与此同时，每个互连必须提供足够的结构硬度，以确保互连接触尖端与封装接触各自的触点之间的界面内的充分雕合(scribing)。在现有技术中，制造了带有变化形状的平面成阵列互连，它们通常充分嵌入在刚性介电载体结构或载体框架内。例如，已制造出如集成有有助于增加互连的总偏转的扭转梁或扭转桥的翘翘板式结构的互连。由此互连就被嵌入在载体结构中，以使载体结构保持其在结构上基本不受互连偏转的影响。弹簧的受载偏转和耐磨接触特征由同一单片结构提供。由于材料对接触特征的刚性和弹簧特征的弹性要求相反，这对最大化偏转范围施加了显著的限制。本发明解决了这一问题。
对于互连组件的节省成本且可靠的制造，需要一种要求最少个数的所涉及制造步骤和独立部件的互连结构。制造步骤优选地沿着单条轴执行。较佳地避免了装配操作。本发明将满足这一需求。
发明概述一种互连组件包括多个导电且相对较硬的互连结构，其中该互连结构组合在具有相对弹性部分的较佳地为平面的介电载体栅格内。该弹性部分担当在互连位移时弹性形变的弹簧件，其中互连位移在被封装的芯片与所述互连组件接触时发生。
制造每个互连结构并将其与载体栅格相组合以实现围绕旋转轴的翘翘板式旋转运动，其中所述旋转轴与作为弹性部分一部分的扭转部件的对称面重合。所述扭转部件朝向翘翘板式互连的中央部分横向伸出并附着其上，以使所述互连的角运动的弹性与扭转部件和弹性部分的剩余部分相反。所述弹性部分和互连可被独立地优化以向互连提供最大的偏转硬度、耐磨性和导电性。
测试装置的触点与测试触点之间存在一偏移量。每个翘翘板式互连相对于其各自旋转轴基本上成旋转对称的构造主要导致了需要各自弹性部分反抗的扭矩。弹性部分的对称构造导致平衡的反向扭矩，以使在互连位移器件所述互连的整体位置保持高度不受影响。
每个翘翘板式互连的特征是每个互连反向端上的至少一个接触尖端。所述互连可被构造成用于多径电流传输。
尖端的初始接触压力可以通过调整翘翘板式互连相对于测试触点趋近方向的角度来调节。这可用于改善测试焊盘上的尖端雕合。
附图简述
图1是根据本发明的第一实施例的互连组件的立体俯视图。
图2示出了图1的组件的仰视图。
图3描述了图1的组件沿着图2所示的剖面线A-A所取的切面图。
图4A、4B和4C是图2的详图，它们示出了翘翘板式互连结构的各种示例性构造。
图5A、5B和5C是图2的详图，它们示出了互连结构和扭转部件之间的界面的示例性构造。
图6是图2的详图，其中心位于绘出轮廓的示例性弹性部分上。
图7示出了对图6的弹性部分的示例性压力分析。
图8示出了对图6的弹性部分的示例性位移分析。
图9是对根据图1至图3、图4B和图5A的示例性互连级的偏转与负载的关系的曲线图。
图10是对根据图1至图3、图4B和图5A的示例性互连级的电阻与电流的关系的曲线图。
图11是制作图1至图3的互连组件时所涉及的示例性制造步骤的框图。
详细描述在下文中，结合附图使用术语“水平、垂直、向上、向下、底部、顶部、X向、Y向”。如本领域普通技术人员所清楚的，这些术语可以仅用于方便理解的目的，并且用于描述元件彼此的空间关系。
图1、2示出了包括经由栅格凸缘22在四周粘附于支撑框架4的水平介电薄膜2的互连组件1。载体栅格21在成形于介电薄膜2中，所述载体栅格21可具有与栅格节点213相连的X向栅格构件212和Y向栅格构件211。Y向栅格构件211的中央位置粘附有导电的翘翘板式结构3。每个翘翘板式结构3较佳地都具有与栅格构件211的界面部分214重叠的平面中央部分32。翘翘板式结构3经由界面部分214与载体栅格21相连。互连组件1可具有对准部件11，该部件公知可用于在诸如在图3中部分可见的已知探测装置100等较大装置中精确定位互连组件1。
每个导电的翘翘板式结构3都较佳地关于一对称面SP基本对称，该对称面SP在垂直方向上，且在两个X向栅格构件212之间的中部。第一外围臂31沿着对称面SP从平面中心部分32横向向下延伸并在第一接触尖端35处终止。第二外围臂33也沿着对称面SP以与第一外围臂31相反的方向从平面中心部分32横向向下延伸。第二外围臂33在第二接触尖端36处终止。优选地，翘翘板式结构3是较佳地由公知的电镀技术结合3D成形操作制成的类似于金属片的结构。
优选地，翘翘板式结构3在互连组件1内成两维阵列，以使第一尖端35符合由第一X间距PX1和第一Y间距PY1限定的第一接触模式。因此，第二尖端36也符合由第二X间距PX2和第二Y间距PY2限定的第二接触模式。在该较佳实施例中，所有的翘翘板式结构3都被平行排列，并具有基本相同的形状和比例，以使第一接触模式与第二接触模式虽有O1的尖端偏移量但仍基本上相等。尖端偏移量O1由接触尖端35和36之间沿着公共的翘翘板式结构32的对称面SP的水平距离所限定。
本发明可包括其中翘翘板式结构3被成形、定位和/或定向以限定彼此不同的第一和第二接触模式的各实施例。这在互连组件1是图3所示探测装置100的模块化部分的情况下尤为有利。在这一探测装置100中，装置触点102由带有固定的第一接触模式的接触基座101提供。可以交替地利用多个互连组件1来适应具有测试触点TC的不同的第二接触模式的被测器件TD。
载体栅格21提供诸如扭转部件215和可任选的挠曲部件216(参见图6)等弹性部件，所述弹性部件在与测试触点TC和装置触点102的操作性接触中弹性形变并阻抗翘翘板式结构3的位移。在第一种负载情况中，翘翘板式结构3的位移基本上就是围绕旋转轴RA的转动角位移，其中所述旋转轴RA较佳地与对称面SP正交。当装置触点102和/或测试触点TC的组以平衡的方式被压到其相对应的接触尖端35和36上，导致在翘翘板式结构3上由于接触尖端35和36相对于旋转轴RA的水平距离DH1、DH2而引入扭矩时，发生转动角位移。
在第二种负载情况下，即在装置触点102或测试触点TC中只有一组被压在其相对应的尖端35或36上或者在相对应的接触尖端35和36所受的反向力尚未被完全平衡的情况下，所述弹性部件也弹性反抗翘翘板式结构3的基本垂直的位移。
在一个示例性应用中，可在探测器装置100内装配互连组件1，以使接触尖端35与其各自的装置触点102形成永久压力接触。在不将被测器件TD压到接触尖端36的测试周期之间的时间，互连组件1经历所述第二种负载情况。在将被测器件TD放置在相对于探测装置100的测试位置中时，互连组件1经历所述第一种负载情况。
接触尖端35和36所受的接触压力主要由弹性部件的弹性性质结合接触尖端35和36沿其各自的装置接触轴CA和测试接触轴TA的位移引起。尖端35和36的位移由相应的触点102、TC引入。翘翘板式结构3较佳地被构造为相对于弹性部件基本刚性的元件，即使翘翘板式结构3中也会发生某些弹性形变。
每个翘翘板式结构3及其相应的弹性部件215和216限定了互连级，该互连级较佳地被构造成平衡由两接触尖端35和36所引入的基本相等位移而产生的反向接触压力。优选的互连级构造包括翘翘板式结构3相对于旋转轴RA的旋转对称构造。优选的互连级构造还包括弹性部件215和216相对于旋转轴RA的旋转对称构造。
本领域普通技术人员都可以理解，弹性部件215和216的旋转对称构造包括弹性部件215和216相对于旋转轴RA的基本旋转对称的形状以及弹性部件215和216的基本旋转对称的边界条件。
翘翘板式结构3的旋转对称构造包括围绕对称面SP和旋转轴RA之间交点水平地平坦延伸的平面中央部分32，以及接触尖端35和36相对于旋转轴RA的基本相等的水平距离DH1和DH2及垂直距离CT和CB。
对于给定尺寸的中央部分32，接触尖端35和36相对于旋转轴和介电薄膜2的位置主要由外围臂31、35的长度以及其各自的弯曲角BA1、BA2所限定。可选择垂直距离CT和CB，以使在操作条件下触点TC、102与互连组件1的元件之间有充足的间隙。本领域普通技术人员都可以理解，可调整距离DH1和CT之间的第一比例以及距离DH2和CB之间的第二比例以改变接触尖端35和36在其对应触点TC、102上的雕合运动。
因为互连级的弹簧悬架由弹性部件215和216提供，所以就可以构造并优化翘翘板式结构3，主要用于以测试触点TC和对应的探测装置触点102之间的最小电阻来传输电流和/或电压。图4A至4C描述了示例性地构造的翘翘板式结构3A至3C。
在图4A中，示例性翘翘板式结构3A在接触尖端35和36之间提供了单一的导电路径。在图4B中，示例性翘翘板式结构3B以槽38为特征，该槽从接触尖端部分351、352、361、362延伸至翘翘板结构3B的中心，从而分隔臂部分311、312、331、332以及可任选地分隔某些中央部分32。增加臂部分311、312、331、332的数目以及接触尖端部分351、352、361、362的数目为翘翘板式结构3B提供了一定程度上的灵活性以补偿触点TC、102最终的形状不规则性以及相邻接触尖端部分351、352和361、362之间最终的杠杆接触电阻差异。
在图4C中，示例性翘翘板式结构3C的特征在于由相对的尖端部分351、352和361、362之间连续延伸的槽38导电分隔的两个机构301和302。翘翘板式结构3C提供了单组相应触点TC和102之间的双路径连接。如本领域普通技术人员都理解的，可以利用一个以上槽以在相对的触点TC和102之间提供数目多于两个的部分或完整的多径连接。
翘翘板式结构3、3A、3B、3C和载体栅格21之间的机械界面对通过翘翘板式结构3、3A、3B、3C的电流限制有着显著的影响。这是因为由电流产生的温度升高往往会劣化翘翘板式结构3、3A、3B、3C和界面部分214之间的机械连接。在平面中央部分32和接口部分214之间的粘合连接的示例性情况下，粘合强度会随着温度的升高而下降。另一方面，在翘翘板式结构3、3A、3B、3C已经与载体栅格21结合的最终制造阶段中，翘翘板式结构3、3A、3B、3C的3D成形可能需要紧接弯曲边缘34和37的平坦中央部分32两侧的间隙区域CL。间隙区域CL为外围臂31、35和/或臂部分311、312、351、352的3D成形期间固定地夹持平面中央部分32最终所必须的夹紧工具提供了直接通路。这一情况在图5A中描述，其中界面部分214具有对应于平面中央部分32的宽度的界面长度2141以及对应于扭转部件的宽度2152的界面宽度2142。在此情况下，Y向栅格构件211在栅格节点213之间具有连续宽度。
在图5A所述的实施例中，切变最大点203位于Y向栅格构件的边界和平面中央部分32之间的交点处。在图5A的实施例中，如本领域普通技术人员都理解的，切变最大点203和分层原点204重合。分层原点204是界面部分214的平面中央部分32之间发生分层可能性较高的那些点。
在图5B中示出的替换实施例中，界面部分214具有基本上大于扭转部件宽度2152的经修改的界面宽度2142B。作为有利的结果，分层原点204与旋转轴RA的距离也基本上大于切变最大点203与旋转轴RA的距离。在此实施例中，并且对于切变最大点203中给定的最大切变应力，可使粘合强度低于实施例5A中的强度水平。因此，翘翘板式结构3、3A、3B、3C可在电流增大期间升高的温度下工作。
在图5C中所示的又一个实施例中，可将界面部分214夹在平面中央部分32和加强结构401之间。加强结构401可与四周的支撑框架4共面，并且可以是互连组件1的制造期间成形并释放载体栅格22之后的剩余物，而这一情况将在下文中详述。加强结构401有助于提高翘翘板式结构3、3A、3B、3C的总硬度，特别是在利用多个导电分隔的机构301和302来进行多径电流传输的情况下。
在图6的放大详图中，在其包络2X、2Y内示出了扭转部件215和挠曲部件216。包络的Y向延伸被限定为相邻翘翘板式结构3、3A、3B、3C之间的横向距离。包络的X向延伸2X则在相邻的挠曲部件216A和216B的零扭矩边界之间延伸。如本领域普通技术人员都理解的，零扭矩边界是相邻挠曲部件216A和216B的反向扭矩沿其彼此平衡的线。
在该较佳实施例中，且如图1-3所示，如本领域普通技术人员都理解的，有了均匀的载体栅格21以及对称地构造的弹性部件215、216的均匀阵列，零扭矩边界同时可以是零位移边界。作为有利的结果，每个互连级的弹性部件215和216中的应变和位移高度一致，从而实现了互连组件1的全部互连级的一致的接触性质，同时还保持载体栅格21不含任何被插入的刚性结构。这又为每个翘翘板式结构3、3A、3B、3C提供了最大的可用占用面积，并且还提供了互连组件1的高度有效、坚固和耐磨的操作。
图7和图8的示例性应力和位移分析示出了在包括2X、2Y内关于弹性部件213和216的最大应力和位移。应力和位移的分布对应于包括图中的彩色阵列，其中用深蓝色描绘最小值，并用红色描绘最大值。
图9中的曲线图示出了对根据图1-3、4B、5A的具有约1.22mm的间距PX1、PX2以及约1.27mm的间距PY1、PY2的示例性互连级，偏转和负载的关系。偏移量O1约为1.04mm。翘翘板式结构3的材料是具有厚度较佳地约在0.02-0.03mm之间电镀的NiMn合金。薄膜2由厚度约为0.04mm的聚酰亚胺制成。栅格构件211、212的宽度约为0.2mm。
图10中的曲线图示出了对根据图1至图3、图4B、图5A的示例性互连级，传输电阻与电流的关系的两条试验曲线。如可从扭转试验1的曲线所见的，传输电阻基本上在约1.5A的电流和约0.04mOhm处增加。这指示了温度上升至粘合剂的粘结强度降至低于分层原点204中的切向应力的水平。从而，分层开始出现，并导致弹性部件215、216位移的减少以及由弹性部件215、216提供的反向弹簧力的相应减少。而这又降低了接触尖端部分311、312、331、332及其对应的触点TC、102之间的接触压力和公知的雕合，以使接触尖端部分311、312、331、332及其对应的触点TC、102之间的界面内的接触电阻逐渐增加。
互连组件1的制造包括在图10中概括的公知的制造步骤。框1001表示在对应于翘翘板式结构3、3A、3B、3C在互连组件1内的最终排列的导电组合排列中所述翘翘板式结构3、3A、3B、3C的制造。所涉及的步骤可以包括优选地在牺牲不锈钢衬底顶部对翘翘板式结构3、3A、3B、3C的平面布局进行公知的图案化和电镀。
框1002表示载体栅格21连同四周的支撑框架4和最终的加强结构401的制造。对沉积在衬底上的介电薄膜2形成图案并成形。介电薄膜2优选地由诸如聚酰亚胺等聚合物制成。如本领域普通技术人员所理解的，衬底可以是不锈钢或任何其他合适的材料。载体栅格21优选地是被层叠到导电层上并通过去除除其厚度可通过单独的材料去除工艺改变的最终的加强结构401之外的下层衬底而被连续释放的介电叠层。
根据框1003，通过使用粘合剂接合或用于将金属结构与聚合物结合的其他公知的技术，将预先制造并导电连接的翘翘板式结构3、3A、3B、3C与先前制造的载体栅格结合。在由框1004、1005和1006描述的后续步骤中，可通过公知的技术对翘翘板式结构3、3A、3B、3C进行激光照射并电镀、3D成形并从其导电连接中释放。如本领域普通技术人员公知的，在与介电载体栅格21结合利用电沉积工艺以在单个电连接内包括全部翘翘板式结构3、3A、3B、3C供有效的同时电镀的情况下，导电连接尤为必要。
只要能保证上述功能，本发明的范围就不限于翘翘板式结构3、3A、3B、3C的特定外部轮廓。同样地，如本领域普通技术人员可理解的，本发明的范围不限于在互连组件内排列的互连级的特定方式。
因此，以上说明书中所描述的本发明范围就由所附权利要求书及其法律上的等效技术方案阐明。
权利要求
1.一种互连级，包括a.垂直对称面；b.与所述对称面基本上正交的旋转轴；c.导电的翘翘板式结构，包括i.围绕所述对称面和所述旋转轴的交点水平延伸的基本平面的中央部分；ii.从所述中央部分沿所述对称面横向延伸并在外围终止于第一接触尖端的第一外围臂，所述第一臂以相对于所述平面中央部分的第一角度指向下方；iii.从所述中央部分沿所述对称面横向延伸并在外围终止于第二接触尖端的第二外围臂，所述第二臂在与所述第一臂相反的位置和方向上延伸，并且所述第二臂以相对于所述平面中央部分的第二角度指向上方；d.介电弹性装置，包括i.与所述中央部分组合的界面部分；ii.从所述界面部分的相反端沿所述旋转轴横向延伸的两个扭转部件；并且其中所述弹性装置被构造成外围固定，并且被构造成使引入所述第一接触尖端和所述第二接触尖端中的至少一个上的力导致所述翘翘板式结构围绕所述旋转轴的转动角位移，所述转动角位移受所述扭转部件的弹性扭转形变的阻抗。
2.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述翘翘板式结构关于所述对称面基本对称。
3.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述弹性装置关于所述对称面基本对称。
4.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述翘翘板式结构关于所述旋转轴基本对称。
5.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述弹性装置关于所述旋转轴基本对称。
6.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述弹性装置具有恒定的厚度。
7.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述翘翘板式结构具有恒定的厚度。
8.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述翘翘板式结构的特征还有从所述第一接触尖端和所述第二接触尖端中的至少一个沿所述对称面朝向所述旋转轴延伸的槽，其中所述槽至少部分地导电分隔所述第一外围臂、所述第二外围臂和所述中央部分中的至少一个。
9.如权利要求8所述的互连级，其特征在于，所述槽在所述第一接触尖端和所述第二接触尖端之间延伸，从而把所述翘翘板式结构分隔成至少两个被导电分隔的机构。
10.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述界面部分占据所述平面中央部分的一部分，以使在所述外围臂附近能够直接到达所述中央部分的顶部和底部。
11.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述界面部分具有基本大于所述扭转部件第二宽度的第一宽度，以使所述中央部分和所述界面部分之间的分层原点到所述旋转轴的距离大于所述介电弹性装置的最大切向点到所述旋转轴的距离。
12.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，所述弹性装置还包括挠曲部件，所述挠曲部件从所述扭转部分中的至少一个沿着与所述对称面基本平行的方向延伸，并与所述翘翘板式结构间存在一偏移量，以使所述转动角位移还受所述挠曲部件的弹性挠曲形变的阻抗。
13.如权利要求1所述的互连级，其特征在于，还包括在所述平面中央部分的相对侧上与所述界面部分相组合的加强结构。
14.一种互连组件，包括a.载体框架，包括i.四周的支撑框架；ii.与所述四周的支撑框架相组合的介电载体栅格；b.多个二维阵列的互连级，所述互连级中的至少一个包括i.垂直对称面；ii.与所述对称面基本正交的旋转轴；iii.导电的翘翘板式结构，包括1.围绕所述对称面和所述旋转轴的交点而水平延伸的基本平面的中央部分；2.从所述中央部分沿所述对称面横向延伸并在外围终止于第一接触尖端的第一外围臂，所述第一臂以相对于所述平面中央部分的第一角度指向下方；3.从所述中央部分沿所述对称面横向延伸并在外围终止于第二接触尖端的第二外围臂，所述第二臂在与所述第一臂相反的位置和方向上延伸，并且所述第二臂以相对于所述平面中央部分的第二角度指向上方；iv.与所述载体栅格相组合的介电弹性装置，所述介电弹性装置包括1.与所述中央部分相组合的界面部分；2.从所述界面部分的相反端沿所述旋转轴横向延伸的两个扭转部件；并且其中所述弹性装置被构造成使引入到所述第一接触尖端和所述第二接触尖端中的至少一个上的力导致所述翘翘板式结构围绕所述旋转轴的转动角位移，所述转动角位移受所述扭转部件的弹性扭转形变的阻抗。
15.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述翘翘板式结构关于所述对称面基本对称。
16.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述弹性装置关于所述对称面基本对称。
17.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述翘翘板式结构关于所述旋转轴基本对称。
18.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述弹性装置关于所述旋转轴基本对称。
19.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述弹性装置具有恒定的厚度。
20.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述翘翘板式结构具有恒定的厚度。
21.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述翘翘板式结构的特征还有从所述第一接触尖端和所述第二接触尖端中的至少一个沿所述对称面朝向所述旋转轴延伸的槽，其中所述槽至少部分地导电分隔所述第一外围臂、所述第二外围臂和所述中央部分中的至少一个。
22.如权利要求21所述的互连组件，其特征在于，所述槽在所述第一接触尖端和所述第二接触尖端之间延伸，从而把所述翘翘板式结构分隔成至少两个被导电分隔的机构。
23.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述界面部分占据了所述平面中央部分的一部分，以使在所述外围臂附近能够直接到达所述中央部分的顶部和底部。
24.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述界面部分具有基本大于所述扭转部件的第二宽度的第一宽度，以使所述中央部分和所述界面部分之间的分层原点到所述旋转轴的距离大于所述介电弹性装置的最大切向点到所述旋转轴的距离。
25.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述多个互连级中每一互连级的所述扭转部件都被固定在所述载体栅格的x向栅格构件上并从其突出。
26.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述多个互连级中每一互连级的所述扭转部件和所述界面部件限定了所述载体栅格的y向栅格构件。
27.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述弹性装置还包括挠曲部件，所述挠曲部件从所述扭转部分中的至少一个沿与所述对称面基本平行的方向延伸，并与所述翘翘板式结构间存在一偏移量，以使所述转动角位移还受所述挠曲部件的弹性挠曲形变的阻抗。
28.如权利要求27所述的互连组件，其特征在于，所述挠曲部件是所述载体栅格的x向栅格构件的一部分。
29.如权利要求27所述的互连组件，其特征在于，所述载体栅格的x向栅格构件由所述多个互连级的每一个的多个所述挠曲部件所限定。
30.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，还包括在所述平面中央部分的相对侧上与所述界面部分相组合的加强结构。
31.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述互连组件是用于重复接收并测试电路芯片的测试装置的一部分，其中所述多个互连级中的至少一个的所述第一第二接触尖端接触所述测试装置的第一触点，而所述多个互连级中的至少一个的所述第二接触尖端接触所述电路芯片的第二触点。
32.如权利要求14所述的互连组件，其特征在于，所述互连组件是由包括以下步骤的方法制造的a.对多个所述翘翘板式结构进行导电组合的平面成形；b.制造所述载体框架；c.将所述多个经导电组合并平面成形的翘翘板式结构与所述载体框架相组合；d.电镀所述多个经导电组合并平面成形的翘翘板式结构，并且连续释放所述多个平面成形的翘翘板式结构；以及e.对所述多个被释放的平面成形的翘翘板式结构进行3D成形。
全文摘要
互连组件(1)包括在优选地为平面的介电载体框架(4)内组合的多个互连，这些互连具有连同其各自的互连在操作接触期间的转动角位移起到弹簧构件作用的弹性部分。每一互连被制造为绕旋转轴(RA)转动的跷跷板式结构(3)，该旋转轴基本上与由弹性部分提供的扭转部件(215)的对称面(SP)重合。扭转部件朝向跷跷板式互连的中央部分(32)伸出并附着于其上，以使互连的角运动的弹性与扭转部件和弹性部分相反。扭转部件和互连可被独立地优化以向互连同时提供最大的硬度和最大的偏转。
文档编号G01R1/067GK1926438SQ200480042418
公开日2007年3月7日 申请日期2004年8月30日 优先权日2004年1月16日
发明者J·雅凯特, G·托卡克斯, J·基斯特 申请人:K&S互连股份有限公司