专利名称：陶瓷基板用微孔检测机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种检测设备，尤其涉及一种用于对陶瓷基板上微孔进行是否堵塞的检测机。
背景技术：
随着社会的发展，陶瓷基板已经成为了大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝或氮化铝陶瓷基板表面(单面或双面)上的特殊工艺板。陶瓷基板在应用在不同场合时需要在表面进行打孔，而孔距及孔径都需要满足一定的要求。由于孔径细小，一般的通过人工检测孔是否堵塞费时费力，而且很难保证检查全面，很难满足生产工业化及高效率的需求。
实用新型内容本实用新型的目的在于解决上述的技术问题，提出一种陶瓷基板用微孔检测机。本实用新型的目的，将通过以下技术方案得以实现一种陶瓷基板用微孔检测机，包括一底座，所述底座内固定有一底部光源，所述底座上设有一中心带有玻璃板、且可X、Y轴向移动的移动平台，所述移动平台上方固定有一摄像头，所述摄像头设置在所述底部光源的正上方，所述检测机还包括一设置在摄像头侧向的光纤上光源、用于信息处理的计算机及通过数据线与计算机连接的显示屏，所述摄像头与所述计算机通过数据线连接。优选地，所述摄像头下方固定有一光学显微镜，所述摄像头通过支架固定于底座上，所述检测机还包括一用于调节摄像头焦距的焦距调节机构。优选地，所述摄像头为CXD摄像头。本实用新型的有益效果主要体现在陶瓷基板微孔为锥形，上底面孔径稍大于下底面孔径，因此光纤上光源适合检测基板微孔的上底面微孔，底光源适合检测微孔的下底面微孔。同时，通过显微镜及摄像头结合，检测方便快速，效率得到了大大的提高。
图1是本实用新型的结构示意图。图2是图1的侧面示意图。
具体实施方式
本实用新型提供了一种陶瓷基板用微孔检测机，如图1、图2所示，包括一底座1， 所述底座1内固定有一底部光源23，所述底座1上设有一中心带有玻璃板3、且可X、Y轴向移动的移动平台11。当陶瓷基板放置早移动平台上时，只需要将移动平台在Χ、Υ轴向上移动便可以对陶瓷基板上不同位置的微孔进行观察。所述移动平台11上方固定有一摄像头5，所述摄像头为CXD摄像头。所述摄像头
35设置在所述底部光源23的正上方。所述检测机还包括一设置在摄像头5侧向的光纤上光源21、用于信息处理的计算机(图中未示意)及通过数据线与计算机连接的显示屏6，所述摄像头5与所述计算机通过数据线连接。由于陶瓷基板上的微孔为锥形，上底面孔径稍大于下底面孔径，因此光纤上光源 21适合检测基板微孔的上底面微孔，底光源23适合检测微孔的下底面微孔。所述摄像头5下方固定有一光学显微镜4，所述摄像头5通过支架固定于底座1 上，为了更好的进行拍摄清晰的画面，所述检测机还包括一用于调节摄像头焦距的焦距调节机构51。下面阐述下本实用新型的检测方法。步骤一、启动准备，启动微孔检测机，将陶瓷基板放置在可移动平台11的玻璃板3 上，根据测量需求，调节光纤上光源21或底光源23。步骤二、预设标准数据，首次测量时使用标准块替代陶瓷基板，输入标准块上圆的标准直径，使用检测软件测量后计算实际放大倍数并保存，以作为计算尺寸数据。步骤三、检查拍摄，打开光学显微镜4，(XD摄像头5，如有需要，可以调整焦距使图像最清晰，此时基板图像的放大倍率=光学放大倍数X电子放大倍率=光学放大倍数X (显示器对角尺寸/C⑶靶面对角尺寸)。拍摄下图像后，通过数据线传递给计算机，再将其图像在显示屏6上显示。步骤四、测量完毕，更换陶瓷基板，进入下一个测量循环。以上步骤三的检测过程为分为手动和自动两种模式，手动模式为图像显示模块进入计算模块计算检测最后通过图像输出数据显示。具体的是通过手动鼠标取点，在孔边上取三点，线上取两点进入计算模块。而自动的是通过图像黑白化，孔内为黑色，以此在显示屏上观测是否有微孔堵塞。本实用新型是观察图像检测基板微孔加工状态，检测软件具备测量，拍照功能。本实用新型尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种陶瓷基板用微孔检测机，其特征在于包括一底座，所述底座内固定有一底部光源，所述底座上设有一中心带有玻璃板、且可X、Y轴向移动的移动平台，所述移动平台上方固定有一摄像头，所述摄像头设置在所述底部光源的正上方，所述检测机还包括一设置在摄像头侧向的光纤上光源、用于信息处理的计算机及通过数据线与计算机连接的显示屏，所述摄像头与所述计算机通过数据线连接。
2.根据权利要求1所述的陶瓷基板用微孔检测机，其特征在于所述摄像头下方固定有一光学显微镜，所述摄像头通过支架固定于底座上，所述检测机还包括一用于调节摄像头焦距的焦距调节机构。
3.根据权利要求2所述的陶瓷基板用微孔检测机，其特征在于所述摄像头为CCD摄像头。
专利摘要本实用新型揭示了一种陶瓷基板用微孔检测机，包括一底座，所述底座内固定有一底部光源，底座上设有一中心带有玻璃板、且可X、Y轴向移动的移动平台，移动平台上方固定有一摄像头，摄像头设置在所述底部光源的正上方，所述检测机还包括一设置在摄像头侧向的光纤上光源、用于信息处理的计算机及通过数据线与计算机连接的显示屏，所述摄像头与所述计算机通过数据线连接。陶瓷基板微孔为锥形，上底面孔径稍大于下底面孔径，因此光纤上光源适合检测基板微孔的上底面微孔，底光源适合检测微孔的下底面微孔。本实用新型通过显微镜及摄像头结合，检测方便快速，效率得到了大大的提高。
文档编号G01N21/88GK202256172SQ20112040990
公开日2012年5月30日 申请日期2011年10月25日 优先权日2011年10月25日
发明者周惠泉, 安旭舫, 李江锋, 潘丹丹, 秦乐宁, 谢怀婷, 邓磊, 陆晓金, 黄明臻 申请人:苏州赛琅泰克高技术陶瓷有限公司