专利名称：测距器及化学气相沉积设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种测距器及化学气相沉积设备。
背景技术：
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)是利用化学反应的方式，反应气体通过气管，从带有多孔的喷淋头(Shower Head)上喷射出来,反应气体在喷淋头和加热器(Heater)之间的空间中被电解离成气浆。气浆中的离子会在置于加热器上的晶圆表面聚合形成固态生成物，从而在晶圆表面的形成一种薄膜沉积技术。反应气体经过数十年的发展，化学气相沉积已经成为目前半导体工艺中，最基本也是最重要的形成薄膜技术之一。由于喷淋头和加热器之间距离(Spacer)很小，而且距离过大或过小都将影响CVD工艺沉积的薄膜的质量，所以在安装好装置之后，如何精确测量喷淋头和加热器之间距离的大小是个需要解决技术问题。在现有技术中，在安装设备的过程中，使用揉成团的锡箔纸放在加热器上，然后安装上喷淋头，并盖上反应腔室，此时锡箔纸的厚度将被加热器和喷淋头相互挤压而产生变化，打开反应腔室，取出锡箔纸，用千分尺测量锡箔纸被挤压后的厚度，以此得出喷淋头和加热器之间的距离。由于锡箔纸容易产生形变，使用该方法不仅浪费材料，而且测量得到的结果不够精确，误差较大。
实用新型内容本实用新型的目的在于提出一种测距器，能够提高例如化学气相沉积设备中喷淋头和加热器之间的距离的测量精度。为了实现上述目的，本实用新型提出一种测距器，包括一外体，所述外体带有一空腔，内壁上设有卡位部件；一内体，外表面设有与所述外体卡位部件的相匹配的卡位部件，所述内体下端通过外表面的卡位部件卡接所述外体卡位部件固定在所述空腔的内部。进一步地，所述空腔为圆柱形。进一步地,所述空腔深度为lcnT2cm,直径为2. 5cnT3. 5cm。进一步地，所述内体包括两个相同的圆柱半体和一位于两个圆柱半体之间并连接两个圆柱半体的固定弹簧。进一步地,所述圆柱半体的直径为2. 5cnT3. 5cm,高度为lcnT3cm。进一步地,所述内体外表面上带有精度为O.1mnTlum的刻度。进一步地，所述外体的卡位部件包括相向设置于所述空腔内壁上的一对带有锯齿的卡条。进一步地，所述内体的卡位部件包括固定在所述内体的外侧壁表面与所述卡条位置上的一对带有锯齿的卡带。进一步地，所述外体上表面和/或顶端边缘上设有标记。[0017]进一步地，还包括一复位弹簧，所述复位弹簧分别与所述内体的底部和所述空腔的内底部固定连接。进一步地，所述外体和内体的材质均为陶瓷。本实用新型还提供一种化学气相沉积设备，包括上述的测距器。进一步地，所述化学气相沉积设备，还包括反应腔室；基座，底部固定在所述反应腔室内的底部；加热器，固定在所述基座上；喷淋头，顶部固定在所述反应腔室内的顶部，底部表面与加热器上表面平行并保持一定的距离；其中，所述测距器，置于所述喷淋头和所述加热器之间，并且所述测距器上表面与所述喷淋头底部表面接触，下表面与所述加热器上表面接触。进一步地，所述基座通过一体成型的方式与反应腔室固定。进一步地，所述加热器通过一卡盘和若干螺丝固定在所述基座上端。进一步地，所喷淋头通过一卡盘和若干螺丝固定在所述反应腔室内顶部。与现有技术相比，本实用新型提出的测距器及化学气相沉积设备，其有益效果主要体现在测距器内体和外体顶端间的高度差可以通过内体和外体的卡位部件相互配合，被很好地维持住，从而能够提高测距器测得的两物体之间的距离精度，如化学气相沉积设备中喷淋头和加热器之间的距离精度，减少测量误差；并且内体与外体之间的复位弹簧可以使得测距器复位，方便多次测量。
图1为本实用新型实施例一中测距器的结构示意图；图2为本实用新型实施例一测距器所在化学气相沉积设备的结构示意图；图3为本实用新型实施例二中测距器的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解，下面结合实施例一、二和附图对本实用新型作进一步的描述。实施例一请参考图1，本实施例提供一种测距器500，包括外体510，内体520，卡条530，标记540，卡带550，刻度560。在本实施例中，外体510为圆柱体，体内带有一空腔，空腔内壁上相向设置有一对卡条530 ;内体520包括两个相同的圆柱半体521和一位于两个圆柱半体521之间并连接两个圆柱半体521的固定弹簧522 ;两个圆柱半体521外表面设有与所述外体卡条530的相匹配的卡带550,所述内体520下端通过外表面的卡带550卡接所述外体510的卡条530固定在所述空腔的内部。其中，在外体510空腔内侧壁固定两条卡条530，它们分别在外体510横截面圆的直径上两端，卡条530为锯齿形状；在外体510外侧表面和上端横截面交界处涂覆一标记540，用于指示刻度值；内体520的两个圆柱半体521通过固定弹簧522固定连接在一起；在两个圆柱半体521外侧壁分别固定一卡带550，卡带550同样带有锯齿，齿型和卡条530的齿型相匹配，位置一致；圆柱半体521侧壁表面带有一精度为O.1mm的刻度560,通过外体510上设置的标记来显示距离值。在本实施例中，外体510横截面圆的直径范围为3. 5cnT4. 5cm，例如是3. 3cm，3. 7cm或4. 3cm,高度范围为lcnT2cm，例如是1. 3cm或1. 7cm,其空腔的直径范围为
2.5cm^3. 5cm,例如是2. 6cm或3. 4cm ;内体520横截面圆的直径范围为2. 5cm^3. 5cm,例如是2. 6cm或3. 4cm,内体的高度范围为lcnT2cm，例如是1. 2cm或1. 4cm。在本实施例中，测距器500的材质为陶瓷。请参考图2，本实施例还提供一种应用上述测距器500的化学气相沉积设备，包括反应腔室100，基座200，加热器300，喷淋头400和测距器500。在本实施例中，基座200的底端通过一体成型固定在反应腔室100的内底部；加热器300通过螺丝和卡槽固定在基座200的上端表面；喷淋头400上端通过卡槽和螺丝固定·在反应腔室100的内顶部，下端表面与加热器300上表面平行并保持一定的距离；测距器500放置于喷淋头400和加热器300之间。在使用过程中，上述部件安装和放置完毕之后，记录下测距器500的初始读值，然后盖上反应腔室100 ;此时喷淋头400与加热器300之间的距离变小，从而挤压测距器500，导致测距器500的内体520更加深入地进入外体510 ;由于内体520和外体510被卡条530和卡带550的锯齿卡住，在取出测距器500的时候，其读值是固定不变的；从而读取出压缩后的读值，进而计算出喷淋头400和加热器300之间的距离值；再次使用的时候用手先挤压内体520的两个圆柱半体521，使卡条530和卡带550分离，手拉内体520，使之更多的伸出外体510的体外，从而为下次测量做准备。在本实施例中，外体510横截面圆的直径范围为3. 5cnT4. 5cm，例如是3. 3cm，
3.7cm或4. 3cm,高度范围为lcnT2cm，例如是1. 3cm或1. 7cm,其空腔的直径范围为
2.5cm^3. 5cm,例如是2. 6cm或3. 4cm ;内体520横截面圆的直径范围为2. 5cm^3. 5cm,例如是2. 6cm或3. 4cm,内体的高度范围为lcnT2cm，例如是1. 2cm或1. 4cm。实施例二由于实施例一中的测距器500每次测量之后需要用手拉动内体520使之复位，很繁琐。故本实施例针对测距器500进行小幅度的改进。请参考图3，本实施例提供一种测距器500，包括外体510，内体520，卡条530，标记540，卡带550，刻度560，复位弹簧570。在本实施例中，外体510为圆柱体，体内带有一空腔，空腔内壁上相向设置有一对卡条530 ;内体520包括两个相同的圆柱半体521和一位于两个圆柱半体521之间并连接两个圆柱半体521的固定弹簧522 ;两个圆柱半体521外表面设有与所述外体卡条530的相匹配的卡带550,所述内体520下端通过外表面的卡带550卡接所述外体510的卡条530固定在所述空腔的内部；复位弹簧570固定连接空腔内底部和内体520底端。其中，在外体510空腔内侧壁固定两条卡条530，它们分别在外体510横截面圆的直径上两端，卡条530为锯齿形状；在外体510外侧表面和上端横截面交界处涂覆一标记540，用于指示刻度值；内体520的两个圆柱半体521通过固定弹簧522固定连接在一起；在两个圆柱半体521外侧壁分别固定一卡带550，卡带550同样带有锯齿，齿型和卡条530的齿型相匹配，位置一致；圆柱半体521侧壁表面带有一精度为Ium的刻度560，过外体510上设置的标记来显示距离值；内体520的底部固定一复位弹簧570，复位弹簧570底部与外体510的空腔内底部相接触。在本实施例中，外体510横截面圆的直径范围为3. 5cnT4. 5cm,例如是3. 4cm，
3.8cm或4. 4cm,高度范围为lcnT2cm，例如是1. 4cm或1. 8cm,其空腔的直径范围为2. 5cm^3. 5cm,例如是2. 7cm或3. 3cm ；内体520横截面圆的直径范围为2. 5cm^3. 5cm,例如是2. 7cm或3. 3cm,内体的高度范围为lcnT2cm,例如是1. 3cm或1. 6cm。由于应用测距器500的化学气相沉积设备的使用过程都是一样的，在此就不再赘述。特别需要指出的是，当使用完测距器500需要复位的同时，只需用手挤压内体520的两个圆柱半体521,使卡条530和卡带550分离即可,这样复位弹簧570便能使内体自动复位。本实施例与实施例一相比，由于测距器增加了一个复位弹簧，能很好的解决内体复位的问题，使其使用起来更加快捷和方便。 在本实用新型的其他实施例中，测距器的内体和外体也可以是其他形状，但是内体必须能够在外体的空腔中上下移动；内体外表面也可以没有刻度，内体顶端和外体顶端间的高度差通过另外的测量工具测得；内体和外体的卡位部件也可以是凸起和凹槽的配合(例如螺纹方式)，比如内体外表面上设有一系列等间隔的凸起而外体内壁上设有与凸起匹配的凹槽，或者外体内壁上设有一系列等间隔的凸起而内体外表面上设有与凸起匹配的凹槽，只要能够实现内体在外体的空腔中上下移动并能在某些相对位置上固定即可。综上所述，本实用新型提出的测距器及化学气相沉积设备，其有益效果主要体现在测距器内体和外体顶端间的高度差可以通过内体和外体的卡位部件相互配合,被很好地维持住，从而能够提高测距器测得的两物体之间的距离精度，如化学气相沉积设备中喷淋头和加热器，减少测量误差；并且内与外体之间的复位弹簧可以使得测距器复位，方便多次测量。综上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种测距器，其特征在于，包括 一外体，所述外体带有一空腔，内壁上设有卡位部件； 一内体，外表面设有与所述外体卡位部件的相匹配的卡位部件，所述内体下端通过外表面的卡位部件卡接所述外体卡位部件固定在所述空腔的内部。
2.如权利要求1所述的测距器，其特征在于，所述空腔为圆柱形。
3.如权利要求2所述的测距器，其特征在于，所述空腔深度为lcmlcm，直径为2. 5cm 3. 5cm。
4.如权利要求1所述的测距器，其特征在于，所述内体包括两个相同的圆柱半体和一位于两个圆柱半体之间并连接两个圆柱半体的固定弹簧。
5.如权利要求4所述的测距器，其特征在于，所述圆柱半体的直径为2.5cnT3. 5cm,高度为 lcnT"3cm。
6.如权利要求4所述的测距器，其特征在于，所述内体外表面上带有精度为O.1mnTlum的刻度。
7.如权利要求1所述的测距器，其特征在于，所述外体的卡位部件包括相向设置于所述空腔内壁上的一对带有锯齿的卡条。
8.如权利要求7所述的测距器，其特征在于，所述内体的卡位部件包括固定在所述内体的外侧壁表面与所述卡条位置上的一对带有锯齿的卡带。
9.如权利要求8所述的测距器，其特征在于，所述外体上表面和/或顶端边缘上设有标记。
10.如权利要求1所述的测距器，其特征在于，还包括一复位弹簧，所述复位弹簧分别与所述内体的底部和所述空腔的内底部固定连接。
11.如权利要求1至10中任一项所述的测距器，其特征在于，所述外体和内体的材质均为陶瓷。
12.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1至11中任一项所述的测距器。
13.如权利要求12所述的化学气相沉积设备，其特征在于，还包括 反应腔室； 基座，底部固定在所述反应腔室内的底部； 加热器，固定在所述基座上； 喷淋头，顶部固定在所述反应腔室内的顶部，底部表面与加热器上表面平行并保持一定的距离； 其中，所述测距器，置于所述喷淋头和所述加热器之间，并且所述测距器上表面与所述喷淋头底部表面接触，下表面与所述加热器上表面接触。
14.如权利要求13所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述基座通过一体成型的方式与反应腔室固定。
15.如权利要求13所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述加热器通过一卡盘和若干螺丝固定在所述基座上端。
16.如权利要求13所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所喷淋头通过一卡盘和若干螺丝固定在所述反应腔室内顶部。
专利摘要本实用新型提出一种测距器及化学气相沉积设备，其有益效果主要体现在测距器内体和外体顶端间的高度差可以通过内体和外体的卡位部件相互配合，被很好地维持住，从而能够提高测距器测得的两物体之间的距离精度，如化学气相沉积设备中喷淋头和加热器，减少测量误差；并且内与外体之间的复位弹簧可以使得测距器复位，方便多次测量。
文档编号G01B1/00GK202836460SQ20122052065
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者李建华, 刘祥杰 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司