技术特征：
技术总结
一种光阻管路的气泡检测装置和检测方法，其中，所述检测装置包括：光阻管路待检测区域，位于光阻管路中需要检测有无气泡的区域；光源模块，用于提供入射至待检测区域的检测光线；成像模块，用于采集透过待检测区域的透射光线，获得与待检测区域内光阻分布对应的检测光强；数据处理模块，用于将检测光强与本征光强进行对比，判定光阻管路中有无气泡，其中，本征光强与光阻管路中无气泡时待检测区域内的光阻分布相对应。本发明实施例的光阻管路的气泡检测装置，能够在线实时地检测光阻管路中的气泡类缺陷，有利于提醒工程人员及时对机台和机台上的产品进行处理，提高光刻工艺的良率；同时所述检测装置具有微米级的气泡分辨率，提高了检测精度。
技术研发人员：何伟明;伍强;胡华勇
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
技术研发日：2016.03.30
技术公布日：2017.10.24