技术特征：
技术总结
本发明提供一种表面构造测量装置，该表面构造测量装置包括：使具有内壁的可测物体沿XY平面位移的X轴位移机构和Y轴位移机构；以非接触方式测量内壁的表面构造的测量传感器；使测量传感器沿与XY平面正交的Z轴方向位移并使测量传感器面向内壁的Z轴位移机构；使面向内壁的测量传感器沿内壁的法向位移的W轴位移机构；以及使面向内壁的测量传感器沿内壁位移的θ轴位移机构。
技术研发人员：松宫贞行;上山修一;浅野秀光;酒井裕志;真家洋武;高桥芳彦;新井雅典;本桥研
受保护的技术使用者：株式会社三丰
技术研发日：2017.02.24
技术公布日：2017.09.01