控制装置及控制装置的动作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在网络中作为主控装置发挥功能并经由该网络对I个或多个从属装置进行控制的控制装置及其动作方法。
【背景技术】
[0002]许多生产现场所使用的机械或设备典型地由包含可编程控制器(P1grammableLogic Controller ;以下也称为“PLC”。)等控制装置的控制系统进行控制。在这样的控制系统中，PLC经由称为现场总线等的网络与I个或多个从属装置(典型地，远程1dnput/Output ;输入/输出)装置、伺服电动机驱动器等)进行连接。
[0003]在这样的控制系统中，多搭载有用于备份/恢复参数等各种数据的功能。例如，JP特开2011 - 215814号公报(引用文献I)公开能对通信设备的对象参数的设定值进行备份或恢复的可编程控制器。该可编程控制器具有备份过程信息以及恢复过程信息，并在进行备份/恢复时基于该过程信息来进行备份/恢复。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1: JP特开2011 - 215814号公报
【发明内容】
[0007]发明要解决的课题
[0008]在一般的控制系统中，能任意地变更设备构成。故而，在备份时与恢复时两者之间，存在设备构成不同的情况。在上述的JP特开2011 — 215814号公报(引用文献I)所公开的构成中，预先准备有过程信息，因此在备份时与恢复时两者之间设备构成不同那样的情况下，存在不能适当地进行恢复这样的课题。
[0009]本发明鉴于上述那样的点而提出，其目的在于，即使在从数据的创建时起变更了经由网络与控制装置进行连接的从属装置的情况下，也能在可能的范围内进行针对从属装置的恢复处理的控制装置及其动作方法。
[0010]用于解决课题的手段
[0011 ] 遵照本发明的一局面，提供一种控制装置，在网络中作为主控装置发挥功能，并经由该网络对I个或多个从属装置进行控制。控制装置具备:存储部，其保存设备构成信息和设定信息，该设备构成信息包含针对被注册为网络的成员的从属装置的每一个的网络连接有效或者无效的信息，该设定信息包含为了控制被注册的该从属装置所需的参数；以及处理部，其能使用包含设定信息的数据来执行恢复处理。处理部在执行恢复处理时，读出设备构成信息，并在包含于数据中的对象的从属装置当中，确定已读出的设备构成信息之中的网络连接变为有效的从属装置或者存在于网络上的从属装置，并恢复与所确定的从属装置对应的设定信息。
[0012]优选地，恢复处理包括从控制装置向恢复对象的从属装置发送需要的数据的处理。
[0013]优选地，在任一从属装置的网络连接变为有效的情况下或任一从属装置变为存在于网络上的情况下，处理部恢复包含在数据中的对应的设定信息。
[0014]优选地，数据是从支持装置提供的。
[0015]优选地，处理部构成为还能执行备份处理，该备份处理用于使用来自存储部以及从属装置的数据来生成数据。
[0016]遵照本发明的另一局面，提供一种控制装置的动作方法，该控制装置在网络中作为主控装置发挥功能，并经由该网络对I个或多个从属装置进行控制。动作方法包含如下步骤:保存设备构成信息和设定信息的步骤，设备构成信息包含针对被注册为网络的成员的从属装置的每一个的网络连接有效或者无效的信息，设定信息包含为了控制被注册的该从属装置所需的参数；以及使用包含设定信息的数据来执行恢复处理的步骤。执行恢复处理的步骤包含如下步骤，即，读出设备构成信息，并在包含于数据中的对象的从属装置当中，确定已读出的设备构成信息之中的网络连接变为有效的从属装置或者存在于网络上的从属装置，并恢复与所确定的从属装置对应的设定信息的步骤。
[0017]发明效果
[0018]根据本发明，即使在从数据的创建时起变更了经由网络与控制装置进行连接的从属装置的情况下，也能在可能的范围进行针对从属装置的恢复处理。
【附图说明】
[0019]图1是用于说明使用本实施方式所涉及的控制系统进行控制的设备构成的一例的图。
[0020]图2是表示本实施方式所涉及的控制系统的构成例的示意图。
[0021]图3是表示本实施方式所涉及的PLC的CPU单元的硬件构成的示意图。
[0022]图4是表示本实施方式所涉及的PLC的CPU单元的软件构成的示意图。
[0023]图5是表示本实施方式所涉及的伺服电动机驱动器的硬件构成的示意图。
[0024]图6是表示与本实施方式所涉及的PLC连接的支持装置的硬件构成的示意图。
[0025]图7是表示与本实施方式所涉及的PLC连接的支持装置的软件构成的示意图。
[0026]图8是用于说明本实施方式所涉及的控制系统的构筑过程的示意图。
[0027]图9是表示本实施方式所涉及的设备构成信息的数据结构的一例的示意图。
[0028]图10是表示图8所示的设备构成I的一例的图。
[0029]图11是表示图8所示的设备构成2以及3的一例的图。
[0030]图12是表示图9所示的设备构成信息的变更内容的一例的图。
[0031]图13是用于说明本实施方式所涉及的PLC中安装的备份处理/恢复处理的概要的示意图。
[0032]图14是用于说明与本实施方式关联的备份处理/恢复处理的示意图。
[0033]图15是用于说明实施方式I所涉及的备份处理/恢复处理的示意图。
[0034]图16是表示实施方式I所涉及的备份处理的过程的流程图。
[0035]图17是表示实施方式I所涉及的恢复处理的过程的流程图。
[0036]图18是用于说明实施方式2所涉及的恢复处理的示意图。
[0037]图19是表示实施方式2所涉及的恢复处理(其I)的过程的流程图。
[0038]图20是表示实施方式2所涉及的恢复处理(其I)中的恢复处理的完成的记录所涉及的信息的一例的示意图。
[0039]图21是表示实施方式2所涉及的追加性的恢复处理(其I)的过程的流程图。
[0040]图22是表示实施方式2所涉及的追加性的恢复处理(其2)的过程的流程图。
[0041]图23是用于说明实施方式3所涉及的备份处理/恢复处理的概要的示意图。
【具体实施方式】
[0042]参照附图来详细说明本发明的实施方式。此外，针对图中的相同或相当部分，赋予同一附图标记并省略其说明。
[0043]< A.控制系统的应用例>
[0044]首先，针对使用本实施方式所涉及的控制系统进行控制的设备构成的一例来进行说明。图1是用于说明使用本实施方式所涉及的控制系统进行控制的设备构成的一例的图。图1示出多舱(multichamber)式的半导体制造装置的构成例。具体而言，图1 (a)所示的半导体制造装置I呈以输送舱10为中心而设置有多个制程舱20、22、24、26的构成。在各制程舱中，执行针对基板的真空处理。制程舱20、22、24、26与输送舱10之间，分别设置有闸阀21、23、25、27，切换与输送舱10之间的连通状态/遮断状态。在输送舱10中，设置有输送机器人12。输送机器人12将处理前的基板插入制程舱20、22、24、26的任一者中，或者从制程舱20、22、24、26取出处理后的基板。
[0045]在输送舱10中设置有加载互锁真空(load lock)室30以及34。加载互锁真空室30以及34不仅进行处理对象的基板的存取，还将输送舱10以及制程舱20、22、24、26的内部维持为真空。更具体而言，加载互锁真空室30经由连通部33与输送舱10连接，在输送舱10的入侧以及出侧，设置有闸阀31以及32。同样，加载互锁真空室34经由连通部37与输送舱10连接，在输送舱10的入侧以及出侧，设置有闸阀35以及36。在处理对象的基板的存取中，交替使用加载互锁真空室30以及34。
[0046]将图1 (a)所示的半导体制造装置I设为基本构成，作为变形例，存在图1 (b)所示的半导体制造装置2以及图1 (c)所示的半导体制造装置3。更具体而言，图1 (b)所示的半导体制造装置2与图1(a)所示的半导体制造装置I比较，相当于将第一制程舱20以及闸阀21排除后的部分，图1 (c)所示的半导体制造装置3与图1 (a)所示的半导体制造装置I比较，相当于将第四制程舱26以及闸阀27排除后的部分。
[0047]在构筑这样的变形例的半导体制造装置2以及3所涉及的控制系统时，存在想要最大限度利用半导体制造装置I所涉及的控制系统的资产这样的需求。更具体而言，存在想要使用为了构筑面向某装置的控制系统所需的程序以及设定信息(以下，将这些构筑所需的数据群总称为“项目”(project)。)，来构筑面向具有不同构成的装置的控制系统这样的需求。
[0048]例如，存在想要使用I个项目来管理图1 (a)?(C)所示的半导体制造装置I?3这样的需求。或者，存在想要以I个项目来管理能将某制程舱物理性地去除而安装别的制程舱的半导体制造装置这样的需求。
[0049]对于这样的需求，采取如下方法:创建I个项目，并适当地修改该创建的项目，从而构筑类似的控制系统。
[0050]本实施方式典型地，提供对于使用这样部分公共的项目而构筑的控制系统、或适用于根据状况而变更构成的装置的控制系统，能灵活地进行备份处理或恢复处理的构成。
[0051]< B.控制系统的整体构成例>
[0052]在说明本实施方式所涉及的备份处理以及恢复处理的细节之前，说明本实施方式所涉及的控制系统的整体构成例。图2是表示本实施方式所涉及的控制系统的构成例的示意图。图2所示的控制系统面向图1(a)所示的半导体制造装置I。
[0053]参照图2，控制系统SYS包含:PLC100和经由网络与PLC100连接的伺服电动机驱动器210及远程1终端200。在本实施方式中，采用了现场网络108作为网络。PLC100在现场网络108中作为管理通信处理的“主控装置”发挥功能。该主控装置有时也称为“母站”或“管理站”。基于与作为主控装置的PLC100进行对比的含义，将经由现场网络108与PLC100连接的伺服电动机驱动器210或远程1终端200称为“从属装置”或“设备”。现场网络108上的各从属装置基于节点编号而被识别。如此，作为主控装置的PLC100在网络中作为主控装置发挥功能，而且经由该网络对I个或多个从属装置进行控制。
[0054]作为这样的现场网络108，能使用各种产业用的以太网(Ethernet ;注册商标)。作为产业用的以太网(注册商标)，例如有EtherCAT (注册商标)、PR0FINET (注册商标)、MECHATR0LINK (注册商标)一 II1、Powerlink、SERCOS (注册商标)一 II1、CIPMot1n 等。进而，还可以使用产业用的以太网(注册商标)以外的现场网络。例如还可以使用DeviceNet