专利名称：用于生产半导体装置和平板显示器的设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及生产半导体装置和平板显示器的设备，并且特别涉及制造小规模和小批量产品组的半导体装置和平板显示器的设备。
背景技术：
最近，半导体装置和平板显示器已经占据了大部分的工业领域，由此，人们越来越关注这样的半导体装置和平板显示器。因此，在大规模工厂中，用于批量生产这样产品的新设备的投资快速增长。
然而，因为大规模工厂需要大规模的场地和大规模的生产线，由此，实体分配过程需要过度投资，生产商不能适当地满足客户关于小批量产品组的各种需要。由于这个原因，最近，提出了用于小批量和小规模产品组的各种类型的生产设备。
半导体装置和平板显示器的传统生产线的特点是，在典型的水平式管理下，由功能执行过程，其中对各设备组的控制沿着产品流过程进行。
作为这样的水平式管理的代表，现在将以薄膜晶体管液晶显示装置说明。
图1是方块图，显示了薄膜晶体管液晶显示装置的传统生产设备中的阵列处理过程。如图1所示，薄膜晶体管LCD的生产以清洁-沉积-清洁-光刻-蚀刻-剥离的过程进行，并且构成生产线，使这样的过程重复循环。
上述生产线大致的结构将参考图2解释。首先，在产品轨道车(未示出)上待加工的产品1(玻璃或晶片)，通过中央运输路径10被传输，并且由第一步骤生产线的装料机20a接收。由装料机20接收的产品通过部件运输路径30a传输，并且由第一步骤生产线的装载/卸载机40a传输到第一步骤，例如清洁步骤。在第一步骤完成后，在第一步骤处理的产品通过装载/卸载机40a从第一步骤生产线释放，并且通过部件运输路径30a和中央运输路径10，由第二步骤生产线的装料机20b接收。在第一步骤处理并由装料机20b接收的产品，当在第二步骤已经输入的产品完成处理之后，通过部件运输路径30b传输，并且由第二步骤生产线的装载/卸载机40b输入到第二步骤。然后，连续生产线上的各自装料机20c、20d、…、部件运输路径30c、30d、…、和装载/卸载机40c、40d、…上产品的运动和处理，与第一步骤生产线和第二步骤生产线的那些相似，这些过程重复并循环。
然而有这样的问题，即借助功能的传统水平式生产线结构，在步骤之间需要较多的时间准备，这样造成生产时间较长。
同样，在功能上，除了用于提高附加值的处理空间以外，存在不必要的间接元件，如用于装载/卸载、运输、定位的元件等等。由此，投资成本和工厂面积增加，这样导致产品成本增加。
同样，如上所述，从批量生产的观点来看，传统的生产线非常有利，但不适于小规模和小批量的产品组。
发明内容
本发明旨在解决上面的问题，本发明的目的是提供一种生产半导体装置和平板显示器的设备，适于小规模和小批量的产品组。
本发明的另一个目的是在用所述的生产设备生产半导体装置和平板显示器的过程中，通过排除不必要的间接元件来提高其工作的效率。
为了实现上面的目的，根据本发明的除灰装置结合/连接具有不同处理功能的模块，在相同类型的实体分布(physical distribution)设备中形成半导体装置和平板显示器，即处理功能如清洁-沉积-扩散-离子掺杂-再耦合-抛光-光刻-蚀刻-除灰-剥离-检查-退火，由此防止由于实体分布的重复而导致的产量损失。
通过使一个系统中的层单元最小化构成如上的设备，能够批处理从一或多层输入到完成步骤流程，从而减小在各步骤和装料机之间移动所需的执行单元。
本发明的实施例将参考附图解释，其中图1是方块图，示出了薄膜晶体管液晶显示设备的传统生产设备的阵列处理过程；
图2大致示出了大规模半导体装置和平板显示器的传统生产设备结构；并且图3大致示出了根据本发明的半导体装置和平板显示器的生产设备的结构。
具体实施例方式
现在将参考附图具体解释本发明的优选实施例。
图3大致示出了根据本发明的半导体装置和平板显示器的生产设备的结构。
如图3所示，生产半导体装置和平板显示器的生产设备包括多个装载/卸载机100a、…、100d；第一机器人120，用于从多个装载/卸载机100a、…、100d接收待加工的产品110，如玻璃基底或晶片，来传输产品；第一运输路径130，它是第一机器人移动的区域；多个第二机器人140a、140b、140c，用于从第一机器人120取产品，并传输产品来处理，如清洁、沉积、扩散、离子掺杂、再耦合、抛光、光刻、蚀刻、除灰、剥离、检查、退火等等；第二运输路径150，它是多个第二机器人140a、140b、140c移动的区域；和缓冲器160a、160b，安排在对应的第二机器人之间，用于防止所述机器人之间发生干扰。
下面将特别解释根据本发明具有上面结构的生产半导体装置和平板显示器的设备的操作。待加工的产品110，如玻璃基底或晶片通过装载/卸载机100a传输到第一机器人120。第一机器人120在第一运输路径130上连续移动，而将产品110传输到第二机器人140a，并且第二机器人140a将产品110输入到清洁步骤，这是第一步骤。在执行这样的程序的过程中，第一机器人120从装载/卸载机100b接收另一个产品110a，而将产品110a传输到第二机器人140a。这时，输入到清洁步骤的产品100，在该步骤完成后，通过第二机器人140b输入到下一步，而该第二机器人140b与从第一机器人120接收产品110a无关。
然后，产品110、110a、110b、110c通过第一运输路径130上的第一机器人120，传输到第二机器人140a，通过第二运输路径150上的第二机器人140b和140c移动，并且输入到各个步骤，并在每个步骤中循环处理。通过编程的机器人连续操作，执行这样的生产线，来减少每步骤的不必要的时间。
根据本发明，用于生产半导体装置和平板显示器的设备的最大特点是，可以检测到产品的缺少，且产品的传输、产品输入到各个步骤和产品的处理可以重复循环，由此连续地输出完成的产品。
在上面的循环中，经过所有步骤的产品不能像现有技术一样同时大量地输出。然而，可以避免传输技术的缺点，即当一个单元步骤停止时，必须停下所有的步骤来解决问题。
根据本发明的生产半导体装置和平板显示器的设备，通过在相同实体分布系统中从一或多层输入到完成的批处理，可以减少实体分布的重复。并且由于这种实体分布的减少，可以得到提高的生产率和降低投资成本。
同样，因为由于减小了实体分布减少了所需工作空间，所以可以减小整个工厂面积。
权利要求
1.一种用于生产半导体装置和平板显示器的设备，包括多个装载/卸载机；第一机器人，用于从所述多个装载/卸载机接收待加工的产品，如玻璃基底或晶片，来传输所述产品；第一运输路径，所述第一机器人在其上移动；多个第二机器人，用于从所述第一机器人接收所述产品，并且将所述产品传输到相应的处理步骤；第二运输路径，所述多个第二机器人在其上移动；和缓冲器，安排在所述第二机器人之间，用于防止所述机器人之间产生干扰，其中产品的缺少被读出，并且产品的传输、产品输入到每个处理步骤和产品的处理重复循环。
2.根据权利要求1的用于生产半导体装置和平板显示器的设备，其特征在于，所述处理步骤是清洁步骤、沉积步骤、扩散步骤、离子掺杂步骤、再耦合步骤、抛光步骤、光刻步骤、蚀刻步骤、除灰步骤、剥离步骤、检查步骤、退火步骤。
全文摘要
根据本发明,生产半导体装置和平板显示设备的设备结合/连接具有处理功能的模块,用于在相同类型的实体分布设备中形成半导体装置和平板显示器,处理功能如清洁－沉积－扩散－离子掺杂－再耦合－抛光－光刻－蚀刻－除灰－剥离－检查－退火,由此防止由于实体分布的重复导致生产率损失。
文档编号H01L21/677GK1342998SQ0112480
公开日2002年4月3日 申请日期2001年6月29日 优先权日2000年6月29日
发明者韩占烈 申请人:株式会社D.M.S