专利名称：工件的分离搬送收纳装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在将片状基板分割成长方形的工件、并将所分割的工件分离成单独的工件后，整列搬送并收纳于收纳工具内的工件分离搬送收纳装置。
背景技术：
图12A示出创建电子部件的片状基板，图12B示出长方形的工件W。如图12A所示，在片状基板100上形成有纵向切缝100a和横向切缝100b。在由各切缝100a、100b所围着的芯片部件100c上分别创建电子部件。如果从纵向切缝100a或者横向切缝100b分割(一次分割)上述片状基板100，则得到图12B所示的长方形工件W。
图13是特开2004—121990号公报中所示的、在逐个分离并搬送工件W后，向作为料库的工件收纳工具53收纳的工件的分离搬送收纳装置。
该工件的分离搬送收纳装置包括搬送分割成长方形工件W的一次搬送带60的转轮61a、以及分离搬送从一次搬送带60移送来的工件W的二次搬送带62的转轮61b。转轮61a、61b的轴共通，构成相互独立且旋转自如地设置的惰轮61。
紧密排列在一次搬送带60上的、向着箭头a方向搬送的工件W通过惰轮61而被移送到二次搬送带62上。因为二次搬送带62与一次搬送带60方向相同、且比一次搬送带60更高速地运行，所以工件W在二次搬送带62上作为工件W1而分离并被搬送。
在二次搬送带62的下游侧设置有间歇旋转的搬送台63。搬送台63均布设置有多个移载机构64，各移载机构64能够在工件移送位置P1逐个地吸引保持由二次搬送带62所分离搬送的工件W1，并搬送到工件收纳位置P2。
在下一道工序的工件收纳装置4的收纳台50上，均布并列有多个作为工件收纳用料库的工件收纳工具53，在工件收纳位置P2将吸引保持在移送台63的移载机构64上的工件W1依次堆积于工件收纳工具53。
但是，虽然在上述这种分离搬送收纳装置中，确实能够搬送收纳工件W、W1，但是近年来，随着二次分割工件W1所得到的芯片部件100c日渐微细化，有必要进一步高速化工件W、W1的分离搬送速度和收纳处理速度。因而，如上述那样，在工件W1的吸引保持和收纳时的释放或者搬送台63的间歇旋转等，间歇动作的处理中，在高速化上产生了极限。
本发明是着眼于上述情况而提出的，其目的在于提供一种即使超过现有处理速度，也能够可靠地进行分离收纳处理的工件的分离搬送收纳装置。
发明内容
如果使用本发明，则可以得到具有将片状基板分割成长方形的工件的分割装置，以及将从上述分割装置在大致正交于搬送方向的横向上且连接地搬出的上述工件在搬送中横向地分离后，在与搬送方向大致相同的纵向上进行排列的分离排列搬送装置，以及连接于上述分离排列搬送装置而收纳上述所排列的工件的工件收纳装置，其特征在于上述分离排列搬送装置由在工件搬送中横向分离各个工件的分离部，和使上述工件在纵向上排列的排列搬送部所组成。
如果用上述构成，则在从片状基板的分割到向工件收纳装置的工件的收纳的分离搬送收纳装置中，工件的分离或方向转换和收纳等一系列作业在直线搬送的过程中进行。因而，使得伴随芯片部件的微细化的处理速度的更加高速化要求成为可能。进而，不需要工件移送或收纳用的特别的装置，使装置总体简化并可以大幅度地降低产品成本。
图1是表示本发明的第一实施方式的工件分离搬送收纳装置的简要构成的主视图。
图2是该装置的局部俯视图。
图3是图1的局部放大主视图。
图4是工件收纳装置和送出机构的局部放大俯视图。
图5是工件收纳装置和送出机构的局部放大主视图。
图6是工件收纳装置的侧视图。
图7是工件收纳装置和送出机构的局部放大剖视图。
图8是说明工件的分离排列搬送的俯视图。
图9是表示本发明的第二实施方式的主要部分的俯视图。
图10是表示本发明的第三实施方式的主要部分的俯视图。
图11是表示本发明的第四实施方式的主要部分的主视图。
图12A是将片状基板分割而作成长方形的工件的说明图，是在由纵向切缝与横向切缝所围着的芯片部件上分别创建有电子部件的片状基板的俯视图。
图12B是表示分割片状基板(一次分割)而作成的长方形的工件的俯视图。
图13是现有分离搬送收纳装置的局部俯视图。
具体实施例方式
以下，基于
本发明的实施方式。
图1所示的工件分割搬送收纳装置1包括一次分割装置2，分割图12A所示片状基板100而制成图12B所示长方形工件W；分离排列搬送装置3，将从该一次分割装置2在大致垂直于搬送方向的横向上且连接搬出的工件W逐个分离排列并搬送；以及工件收纳装置4，将工件W堆积收纳于下一道工序用的工件收纳用料库(以下称为工件收纳工具)53。
分离排列搬送装置3，如图2所示，由在搬送过程中在横向上分离各工件W的分离部、以及在纵向上排列的排列搬送部组成。该分离排列搬送装置3的分离部由在横向上连接地搬送工件W的一次分割装置2的搬送带6，以及由等速的两条带7a、7b组成的一次分离带7所构成。分离带7的搬送面与搬送带6大致相同，具有在上游端部近接夹持搬送带6的下游端部的夹持部6a。此外，在与搬送带6实质相同高度的搬送面上、并在相同方向上搬送。其中，搬送带6是平带，而由两条带7a、7b组成的分离带7是圆带。
如图1所示，分离带7卷绕于旋转自如地设置在基板5上的驱动滑轮10、惰轮12、从动滑轮11、以及惰轮9上。此外，作为由平带组成的二次分离带的分离排列带8卷绕于旋转自如地设置在基板5上的驱动滑轮14、辅助滑轮15、惰轮12、从动滑轮13以及张紧滑轮16上。从而，由所述搬送带6、分离带7以及分离排列带8构成工件搬送路径。
上述驱动滑轮10、14和搬送带6的驱动滑轮9b(参照图3)分别贯通基板5并由位于里侧的图未示出的驱动机构所驱动。将搬送带6和分离带7以及分离排列带8的搬送速度设定为使下述关系成立，即，分离排列带8＞分离带7＞搬送带6，而且其速度差分别为几倍以上。
在分离排列带8的下游端设置有送出机构35，相对该送出机构35而设置有工件收纳装置4。在工件收纳装置4的间歇旋转的收纳台50上，如图2所示那样均布地排列设置有多个工件收纳工具53。在工件收纳位置P，由送出机构35送出的工件W依次层叠地收纳于工件收纳工具53。
在图2中，通过从基板5设置成直角的基板17而分别设置有引导分离排列带8上的工件W的方向转换导向器18、辅助导向器19、以及整姿导向器20。方向转换导向器18是从惰轮12附近到分离排列带8的下游端附近形成为曲面或者光滑的多边形的导向器。导向器对着基板17配置，在形成工件的通路的辅助导向器19和整姿导向器20之间开设有开口作为工件排出口25。
如图2所示，在工件排出口25配置有检测工件W内外的内外检测传感器21、检测多个工件W连接有分割不良工件W的分割传感器22、通过空气喷射来排出内外不良的工件W的空气喷嘴23、以及排出分割不良的工件W的空气喷嘴24。
接下来，通过图3来说明分离带7附近的构成。惰轮9由驱动图1所示一次分割装置2的搬送带6的驱动滑轮9b、以及与该驱动滑轮9b同轴且独立于驱动滑轮9b而旋转自如地夹着驱动滑轮9b所设置的一对惰轮9a构成。
惰轮12构成为分离排列带8用的搬送惰轮12c、夹着该搬送惰轮12c的小直径惰轮12a与大直径惰轮12b分别同轴且独立地自由旋转。在惰轮9的轴心上且与驱动滑轮9b一起夹持搬送带6而设置有推压辊30。
此外，分离带7由夹着搬送带6和分离排列带8所设置的一对环形带7a、7b所构成。从驱动滑轮10开始，一方的分离带7a(以下称为小直径侧带7a)经由小直径惰轮12a，另一方的分离带7b(以下称为大直径侧带7b)经由大直径惰轮12b而分别卷绕于惰轮9a和从动滑轮11上。
如图4～图7中所示，工件送出机构35由送出导向块26和送出导向器27所构成。在送出导向块26上设置有对应于工件W的宽度Wd(参照图12B)和厚度尺寸的、底面以及一方的侧面开口的送出导向槽34。而且，通过送出导向器27覆盖送出导向槽34的开口的侧面而形成仅底面开口的送出导向槽34。
在上述送出导向块26上，喷嘴32的喷射口侧在分离排列带8的下游端侧与送出导向槽34连通。喷嘴32相对于分离排列带8的搬送面8a并向着搬送的下游侧例如以15°的倾角而开设有开孔。喷嘴32的空气供给侧连通于连接孔33。而且，喷嘴32经由螺合于连通孔33的节流接头31而与图未示出的压缩空气供给源连接，以便能够调整喷射压力。
对于上述送出机构35和连接于搬送的下游侧而设置的工件收纳装置4来说，在固定设置于基板5的板40上，如图6所示那样固定设置有定位块41的一端。在定位块41上固定设置有固定收纳导向器42的一端，而且，摆动自如地轴支承着可动收纳导向器43的一端。
在定位块41的另一端上，夹板41a形成为使相对于工件收纳工具53的一侧开口的“コ”字形，其中，所述夹板41a用于在能够收纳工件的位置上定位收纳台50上的工件收纳工具53。
与上述送出机构35的送出导向槽34相对而在夹板41a上如图7所示那样开设插过导向槽41b的开口，使得从送出导向槽34送出的工件W能够从插过导向槽41b插过。
此外，固定收纳导向器42的一端被固定设置在定位块41上。在固定收纳导向器42的另一端上与插过导向槽41b连通设置有下面和一方的侧面开口的收纳导向槽42a。而且，可动收纳导向器43的一端摆动自如地设置在定位块41上。可动收纳导向器43的另一端覆盖固定收纳导向器42的收纳导向槽42a的开口的侧面一侧而形成下面开口的“コ”字形的收纳导向器。
在图5、图6中，在收纳台50的下面一侧且在工件收纳位置P上，在收纳台50上呈放射状并列设置有多个工件收纳工具53。此外，贯通对应于多个工件收纳工具53而设在收纳台50上的长孔51，并分别上下运动自如地设置有滑块支持板49和定位杆48。工件收纳工具53通过定位杆48而压接定位在夹板41a上，然后，使得能够通过滑块支持板49来升降工件收纳工具53的底板52。
在从上述板40上呈L字形设置的缸承装台44上固定有缸45。缸45的活塞杆45a滑动移动自如地贯通缸承装台44，在其前端安装有支撑体46。该支撑体46是以与工件收纳位置P的工件收纳工具53平行的方向为长度方向的块体，在其两端附近下垂地设置着推出杆47的一端。推出杆47的另一端滑动移动自如地插入设置在定位块41的夹板41a上的贯通孔。
接下来就作用进行说明。在图8中，由一次分割装置2所分割并由搬送带6连接搬送的工件W，在从搬送带6移送到分离带7之际，通过驱动滑轮9b(参照图3)和推压辊30而与搬送带6一起被夹持，限制搬送带6的搬送速度。
另一方面，通过推压辊30而被释放的先头工件W1通过分离带7而被高速搬送。因为搬送带6(速度V6)与分离带7(速度V7)的速度差，所以工件之间的间隔d(参照图8)，在以搬送带6的速度通过工件W的宽度Wd(参照图11)的时间内，分离带7前进距离成为工件W的搬送间距p(p＝Wd·V7/V6)。因此，工件间的间隔d等于从搬送间距p减去Wd。也就是说，隔开d＝Wd(V7-V6)/V6的间隔来搬送并向分离排列带8移载。
由图3来说明向分离排列带8的移送部的作用。因为分离排列带8的工件搬送面8a与小直径侧带7a的外周交叉的位置，与工件搬送面8a与大直径侧带7b的外周交叉的位置相比存在直径差，所以变得靠近惰轮12的轴心。将该位置之差s除以分离带7的速度V7的值成为图8中的工件W2分别离开图3的小直径侧带7a与大直径侧带7b而放置于工件搬送面8a的时间差t(t＝s/V7)。因而，由于工件W如W3那样小直径侧带7a侧先被放置于分离排列带8的工件搬送面8a，所以对于行进方向如图8那样倾斜。如果对时间t乘以分离排列带8的速度V8，则等于工件W的小直径侧带7a侧比大直径侧带7b侧先行的距离S(S＝s·V8/V7)。
然后，如果工件W3的追随侧的另一端(大直径侧带7b侧)碰到方向转换导向器18，则进一步对分离排列带8的行进方向的移动进行限制，方向顺着形成为多边形的多边导向面18a而如图8的W4那样被转换。到达方向转换导向器18的多边导向面18a的工件W5，先行的一端侧被辅助导向器19导向修正而使方向沿着倾斜导向面18b。
方向转换导向器18的倾斜导向面18b相对分离排列带8的行进方向稍微倾斜地设置，直到工件W5、W6、W7到达分离排列带8的下游端附近期间，始终以被压接于倾斜导向面18b上的状态稳定地被搬送。
优选倾斜导向面18b的倾斜角θ为0.5°～15°，以便工件相对分离排列带8的行进方向被压接(小直径侧带7a侧)。其中，优选上述倾斜角是分离排列带8的速度越快则越小，这样阻力小。
到达上述工件排出口25的缺口部的工件W6，内外由内外检测传感器21检测。若通过内外检测传感器21判定为不良则高压空气从喷嘴23喷射而排出到排出接受箱29内。由内外检测传感器21判定为并非不良的工件W6通过分割传感器22检查是否被正常分割(多个工件W不连接吗)。若通过分割传感器22判定为不良则高压空气从喷嘴24喷射而排出到排出接受箱29内。
内外检测传感器21、分割传感器22都判定成良品而被搬送到分离排列带8的下游端附近的工件W7，被送出机构35的送出导向槽34所导向而被搬送到分离排列带8的下游端。进而，如图7所示，在送出导向槽34中工件W靠从喷嘴32向前方喷射的压缩空气而压接于分离排列带8的搬送面8a上。
此外，在相对送出机构35的工件收纳装置4和分离排列带8的搬送面8a的下游端之间至少形成相当于从动滑轮13的半径的间隙，工件W的前端向下倾斜地接触于工件收纳装置4的插过导向槽41b而存在着产生工件卡住的危险。但是，通过压缩空气向前方的喷射而使工件W以压接的状态加速地向前送出，从而可以防止工件W的前端侧向下倾斜。因而，可以消除工件卡住，并且工件W通过送出而可靠地从插过导向槽41b插过工件收纳装置4内，被收纳导向槽42a导向而依次叠层收纳于工件收纳工具53。
其中，为了使此时的工件收纳工具53能够收纳，对将空的工件收纳工具53定位于工件W的收纳位置P的方法进行说明。
在图5中，在收纳台50旋转期间，对于为了不成为其旋转的障碍而退避到收纳台50下方的定位杆48和滑块支持板49来说，收纳台50间歇性地旋转，空的工件收纳工具53定位停止于工件收纳位置P。如果空的工件收纳工具53定位停止于工件收纳位置P，则通过图未示出的致动器驱动而分别上升，从收纳台50的长孔51插入。然后，定位杆48从下面侧推压工件收纳工具53，将工件收纳工具53的上面推靠于夹板41a而定位。
另一方面，滑块支持板49从工件收纳工具53下部的插入孔插入工件收纳工具53内，将支撑收纳于工件收纳工具53的工件W的底板52上推到上升极限位置而停止。在该状态下，如果工件W被收纳，则针对每个所收纳的工件使滑块支持板49按其厚度尺寸下降而使底板52下降，始终将工件W的上面位置保持恒定。
如果滑块支持板49到达下降极限，则工件W的供给暂时停止，滑块支持板49和定位杆48下降到收纳台50的下部退避位置。此外，缸45工作而使活塞杆45a下降，下推该杆前端的支撑体46和支撑体两端的推出杆47。推出杆47的前端在夹板41a的贯通孔中滑动下降，推压碰到夹板41a的工件收纳工具53的上面而从夹板41a脱出。
然后，如果将工件收纳工具53定位于收纳台50上，则推出杆47恢复到上升位置，收纳台50间歇旋转一个间距，从工件W所收纳的收纳位置P搬出收纳有工件W的工件收纳工具53。使下一个空的工件收纳工具53定位于收纳位置P并再次重复收纳动作。
其中，可动收纳导向器43可以上下摆动来开闭收纳导向槽42a的一部分，在收纳导向槽42a部分中能够对应发生工件卡住等情况。
图9示出第二实施方式。虽然在第一实施方式中将方向转换导向器18设置为多边形，但是如图9所示，也可以是具有曲面导向面28a和倾斜导向面28b的方向转换导向器28(在图9中，除了方向转换导向器28以外，其余均与图8相同)。当然，倾斜导向面28a的倾斜角θ1不用说与图8的上述倾斜角θ是相同的。
图10示出第三实施方式。虽然在第一实施方式中将收纳台50设置成旋转台，但是也可以使用图10所示的线性台55的方法。此时，除了台是直进的以外，其余均与第一实施方式相同。
其中，收纳台50无论是上述那种旋转台还是线性台55，工件收纳工具53的收纳方向优选是与相对工件W的分离排列带8的行进方向以倾斜角θ设置的倾斜导向面18b或28b平行且从分离排列带8向着工件W的送出而设置。
图11示出第四实施方式。本实施方式是防止以片状基板100为主要原因而产生的工件不稳定的收纳情况。也就是说，图12A所示的片状基板100在制作该基板100时会产生厚度斑。例如在图12B所示的片状基板100的情况下，厚度尺寸在长度方向的上部厚，具有随着向下而变薄的倾向。
如果用具有这种倾向的片状基板100，则由于叠层于收纳工具53内的工件W在前后方向上产生厚度的偏差，所以以倾斜的状态来收纳。如果进行这种收纳，则存在着例如在电极作成等以后的工序中，发生蒸汽沉积金属的蔓延等现象的危险。
本实施方式是消除该问题，在向一次分割装置2供给片状基板100时，使片状基板100逐张前后翻转180°来供给。
具体地说，在一次分割装置2的交接侧，作为供给片状基板100的供给装置，设置有具有翻转功能的翻转搬送装置70。在该翻转搬送装置70上，例如，使用下述结构在从片状基板100重叠地收纳的片状基板料库75内，取出片状基板100，放置到固定于一次分割装置2的交接地点，例如一次分割装置2的正前的搬送带6上的放置点A的搬送机71上，设置翻转功能。详细地说，该搬送机71是从片状基板料库75的上方移动到一次分割装置2的放置点A的上方的移动机构，例如具有在片状基板料库75至放置点A之间的上侧将横跨两者之间而配置的轨道71a和沿着该轨道71a移动的移动体74a组合而构成的轨道式的移动机构74。而且，搬送机71构成为在该移动机构74的移动体74a的下部，经由赋予上下方向以及翻转方向动作的支持杆72(相当于翻转部)，设置吸附部、例如靠所赋予的真空吸引力能够吸附片状基板100的吸附头73。
作为该翻转搬送装置70的作用，在片状基板料库75所处的地点，首先，使支持杆72下降并使吸附头73紧密接触。接着，向吸附头73赋予真空吸附力来吸附片状基板100。然后，通过支持杆72的升降而回到上方的搬送位置后，通过移动体74a的移动而将片状基板100向一次分割装置2的放置点A搬送。在该搬送的中途，使支持杆72旋转，使吸附头73的方向翻转，使片状基板100的方向翻转180°。然后，将结束翻转的片状基板100放在放置点A上，使用支持杆72的下降、吸附头73的脱离而放置在搬送带6上。
这样一来，通过每隔一张使片状基板100翻转，放置于搬送带6上的放置点A，在工件收纳工具53内，由一张片状基板100组成的长方形的工件W同方向地重叠。由于由下一张片状基板100组成的长方形的工件W与其反方向地重叠(每一张片状基板100翻转重叠)，所以在片状基板100产生厚度斑时，工件W的前后方向的厚度偏差被纠正，可以良好地进行工件W的收纳。此时的工件收纳工具53内的工件W的收纳量按片状基板100的换算最好是偶数张。当然，片状基板100的搬送中用的吸附并不限于真空吸附，也可以是其他手段，例如也可以是静电吸附片状基板100的结构。
其中，本发明并不局限于上述实施方式，在实施阶段在不脱离其精神的范围内可以变形构成要素而具体化。此外，通过上述实施方式中所公开的多个构成要素的适当的组合可以形成各种发明。例如，也可以从实施方式中所示的所有构成要素中消除几个构成要素。进而，也可以把跨越不同实施方式的构成要素组合起来。
权利要求
1.一种工件的分离搬送收纳装置，其特征在于包括将片状基板分割成长方形工件的分割装置；分离排列搬送装置，将从所述分割装置在与搬送方向实质上正交的横向上且连接地搬出的所述工件在搬送中横向地分离后，在与搬送方向大致相同的纵向上进行排列；以及工件收纳装置，连接于所述分离排列搬送装置来收纳所述排列的工件，其中，所述分离排列搬送装置由在工件搬送中横向分离各工件的分离部、以及使所述工件在纵向上排列的排列搬送部组成。
2.如权利要求1所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述分离部由在横向上且连接地搬送所述工件的搬送带、以及由等速的两条带组成的分离带所构成，该分离带的搬送面具有与所述搬送带实质上相同设置并在所述分离带的上游端部接近地夹持所述搬送带的下游端部的夹持部，所述分离带以与所述搬送带实质上相同的高度同方向移动，并且使所述分离带的搬送速度比所述搬送带的搬送速度快。
3.如权利要求2所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述夹持部同心设置有支持所述搬送带的滑轮、以及接近地夹持该滑轮而设置的两个所述分离带用惰轮。
4.如权利要求2或者3所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述搬送带是平带，所述由两条带组成的分离带是圆带。
5.如权利要求1所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述排列搬送部由工件的第一方向转换机构、工件的第二方向转换机构、工件的排列搬送机构、以及工件的良否判断处理部所组成。
6.如权利要求5所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述工件的第一方向转换机构在由所述两条带组成的分离带的下游端部处，同心地设置有由具有与所述两条带大致相同的搬送面且上游端在所述分离带的两条带之间接近地夹持而设置的分离排列带的上游端部组成的、支持所述分离排列带的上游端部的滑轮，以及设置成接近地夹持所述滑轮的分离带用的两个惰轮，其中，设定所述惰轮直径使得所述两条分离带中的一条的搬送面成为与所述分离排列带的搬送面同等的高度，并且设定另一个惰轮直径使得所述分离带的另一条成为比所述分离带要高。
7.如权利要求6所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述分离排列带是平带。
8.如权利要求5所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述工件的第二方向转换机构构成为近接平行于所述分离排列带的上部来设置导向器，使所述工件沿着所述导向器的设置在所述分离排列带的上游侧外周的方向转换部进行方向转换。
9.如权利要求8所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述方向转换部构成为从所述分离排列带的上游侧到下游侧的外周是凸出的多边形状。
10.如权利要求8所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述方向转换部构成为从所述分离排列带的上游侧到下游侧的外周是凸出的弧状。
11.如权利要求5所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于工件的排列搬送机构在接近于所述分离排列带的上部设置导向器，在所述导向器上从所述分离排列带的上游侧到下游侧实质上形成为直线状，同时，通过工件的搬送形成推压工件方向的倾斜面。
12.如权利要求11所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述倾斜面相对于所述分离排列带的搬送方向具有15°以下的角度。
13.如权利要求8或者11所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述第二方向转换机构的搬送下游侧的导向器、和所述工件的排列搬送机构的搬送上游侧的导向器平滑地连接。
14.如权利要求5所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述工件的良否判断处理部由具有内外检测传感器的内外检测机构，以及具有检测工件的未分割的分割传感器的分割检测机构，通过所述内外检测机构或者分割检测机构的检测结果，排出不良工件的不良工件的排出机构所构成，被设置在所述分离排列带的下游侧。
15.如权利要求14所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述不良工件的排出机构进行压缩空气的喷出。
16.如权利要求5、11、14、15中的任何一项所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述工件的良否判断处理部设置在所述工件的排列搬送机构上。
17.如权利要求1所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述工件收纳装置由工件收纳机构、用于将工件收纳于该工件收纳机构的导向机构、以及将工件送出到该导向机构的工件送出机构所组成。
18.如权利要求17所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述工件收纳机构由层叠收纳工件的工件收纳工具、将该工件收纳工具搬入以及搬出收纳位置的搬送机构、在收纳位置固定所述工件收纳工具的工件收纳工具固定机构、以及工件收纳工具内的工件高度调整机构所组成。
19.如权利要求18所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述工件高度调整机构从所述工件收纳工具的下部插入滑块支持板，每当所述工件被收纳，就进行下降相当于工件厚度的量。
20.如权利要求17所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述导向机构设置在所述工件收纳工具的正上方和附近，位于设置在所述工件的排列搬送机构上的倾斜面的延长上的断面由逆“コ”字形导向槽组成，所述工件在长度方向上从所述倾斜面被搬送收纳于所述导向槽。
21.如权利要求20所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述导向槽使至少一部分能够开闭。
22.如权利要求17所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述工件送出机构在所述分离排列带的下游端上部，设置将工件加速送出到延长设置的所述导向槽的送出机构。
23.如权利要求22所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述送出机构设置有从所述导向槽的断面呈“コ”字形的上底部向所述工件收纳工具侧喷出压缩空气的喷嘴。
24.如权利要求18所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述搬送机构由大致呈放射状地并列有工件收纳工具的收纳台所组成。
25.如权利要求18所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述搬送机构由大致呈直线状地并列有工件收纳工具的线性台所组成。
26.一种工件的分离搬送收纳装置，其特征在于在权利要求1中，还包括向所述分割装置供给所述片状基板的供给机构，该供给机构包括重叠收纳所述片状基板的片状基板料库，以及从所述片状基板料库内取出所述片状基板并逐张地使方向翻转，从而向所述分割机构供给的翻转搬送装置而构成。
27.如权利要求26所述的工件的分离搬送收纳装置，其特征在于所述翻转搬送装置构成为包括从所述片状基板料库内通过吸附而取出片状基板的吸附部、使吸附部翻转的翻转部、以及使结束翻转的吸附部向所述分割装置的收入部移动的移动机构。
全文摘要
本发明提供一种工件的分离搬送收纳装置，具有将从分割片状基板(100)而弄成长方形的工件(W)的分割装置(2)在大致正交于搬送方向的横向上且连接地搬出的上述工件(W)，在搬送中横向地分离后，在与搬送方向大致相同的纵向上排列的分离排列搬送装置(3)，以及连接于该分离排列搬送装置(3)而收纳所排列的工件(W)的工件收纳装置(4)，分离排列搬送装置(3)由在搬送中横向地分离各个工件(W)的搬送带(6)和分离带(7)，以及在上述纵向上排列的分离排列带(8)所组成。
文档编号H01L21/00GK1713343SQ20051007743
公开日2005年12月28日 申请日期2005年6月21日 优先权日2004年6月21日
发明者平川文广 申请人:东京威尔斯股份有限公司