专利名称：台架装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及门形架移动型的台架装置，具体地说，涉及例如对液 晶板用的玻璃基板涂敷密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种 骨状材时使用的台架装置，或者在采用照相机的表面检查或表面不平 度计测等时使用的台架装置。
背景技术：
已往，例如在对液晶板用的玻璃基板涂敷密封剂或液晶材料、含 有间隔基的树脂等各种骨状材的涂敷工序中，或者在采用照相机的表 面检查工序等中，要使用门形架移动型的台架装置，该门形架移动型 的台架装置使喷出骨状材的喷嘴或照相机沿玻璃基板的面内两个方向 移动(例如见下述专利文献l)。图9是表示此种已往台架装置的概略构造的平面图。图示的已往 台架装置1备有在XY面内支承被处理基板的载置台2、夹着该载置2 设置并沿X轴方向延伸的一对导架3X、在该一对导架之间延伸的门 形架3Y、和设在该门形架3Y上的基板处理单元4。门形架3Y能沿着导架3X、 3X的上面移动地安装在该导架3X、 3X上。基板处理单元4由喷出密封剂、液晶材料、含有间隔基的树脂 等各种青状材的喷嘴、或者观察基板表面的照相机单元等构成，能沿着门形架3Y的下面自由移动地安装在该门形架3Y上。门形架3Y和 基板处理单元4被线性马达等的驱动源驱动，分别沿着导架3X和门 形架3Y移动。在上述构造的已往的台架装置1中，基板处理单元4与支承在栽 置台2上的被处理基板表面相向地被移送，对被处理基板表面进行上4述各种骨状材的涂敷、或表面性状的摄影。并且，使基板处理单元4 分别沿着X轴、Y轴移动，用该基板处理单元4连续地或间歇地对被 处理基板整个区域进行预定的处理动作。另外，在这种台架装置中，为了将被处理基板运入、运出载置台 2，或者为了基板处理单元4的维护、检修等，导架3X设有作业区域 Rl和非作业区域R2，作业区域Rl规定出进行基板处理所必需的门 形架3Y的移动路径，非作业区域R2与作业区域R1不同，用于使门 形架3Y避开载置台2正上方位置。即，已往的台架装置l中的导架 3X要具有能形成作业区域R1和非作业区域R2的长度。专利文献1:日本特许第3701882号7>才艮专利文献2:日本特开2006-12911号公才艮发明要解决的课题近年来，被处理基板有日益大型化的倾向，随之，对被处理基板 进行处理的台架装置也必须大型化。但是，随着台架装置的大型化，存在不能运输该台架装置的问题。 例如，当被处理基板的尺寸为3000mm x 2800mm时，台架装置的短 边必须在3500mm以上，这样的尺寸在现有的道路上是不能实现陆路 运输的。为了解决这一问题，已往提出了将台架装置分割成若干部分的方 法(例如专利文献2)。但是，在图9所示那样的门形架移动型的台架 装置1中，如果在门形架3Y的移动路径上存在导架3X的接缝，则在 通过该接缝时，会诱发门形架3Y的振动或移动速度的变化，这样， 基板处理单元4就不能准确地进行基板处理。发明内容本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的是提供一种台架装置， 该台架装置能分割而适应陆路运输，并且能确保对被处理基板进行准 确的处理。解决课题的技术方案为了解决上迷课题，本发明的台架装置备有支承被处理基板的 基板支承面；夹着上述基板支承面地相向配置的一对导架；在上述一 对导架之间延伸并可移动地支承在上述一对导架上的门形架；设置在 上述门形架上的基板处理单元；其特征在于，上述导架由主架部和副 架部的结合体构成；上述主架部形成上述基板处理单元进行基板处理 所需的上述门形架的移动路径；上述副架部与上述主架部的长度方向 一端部或两端部相接，形成上述门形架的到达非作业位置的移动路径。在上述构造的本发明台架装置中，由于引导门形架移动的导架， 做成为上述主架部和副架部的分割构造，所以，可以将台架装置缩短 到能进行陆路运输的长度。另外，由于导架的分割位置不在门形架的 作业区域内，所以，门形架不会产生振动及移动速度的变化，可以确 保对被处理基板进行准确的处理。另外，在本发明的台架装置中，只要至少对形成基板处理所需的 门形架移动路径的区域确保高的移送精度即可。因此，上述主架部与 副架部相比，门形架的移送精度设计得较高。这样，无需将整个导架 做成为高精度，所以，可以减低导架的制作成本及设置作业工作量。另外，在导架上，敷设了引导门形架直行移动的线性引导件；该线性引导件在与导架的分割位置不同的位置处接合。这样，可以减少 导架分割位置处的门形架移送精度的降低，同时，可以緩和上述主架 部与副架部之间的组装精度，提高作业性。另外，本发明的另一个台架装置，设置着被处理基板，具有第1 引导部、第2引导部、第1架部、第2架部。上述第l引导部包含上 述门形架在被处理基板上移动时起引导作用的部分；上述第2引导部 不包含门形架在被处理基板上移动时起引导作用的部分；上述第l架 部设置着第l引导部，载置着被处理基板；上述笫2架部设置着第2 引导部；第1架部和第2架部可以分离地进行运输。上述第、第2引导部相当于例如引导门形架直行移动的线性引导 件。把该第1、第2引导部分别设置在可自由分离的上述第1、第2 架部上，可得与上迷同样的作用效果。这时，第1、第2引导部可分别在第1、第2架部上各设置一对。 发明效果如上所述，根据本发明，由于把引导门形架移动的导架做成为分 割的构造，所以，可将台架装置缩短到能陆路运输的长度。另外，由 于导架的分割位置不在门形架的作业区域上，所以，门形架上不会产 生振动及移动速度的变化，可确保对被处理基板进行准确的处理。
图1是本发明实施方式的台架装置的概略构造图，A是表示组装 后状态的整体立体图，B是表示组装前状态的整体立体图。图2是本发明实施方式的台架装置的、从X轴方向看时的断面图。 图3是表示本发明实施方式的台架装置的、可动部概略构造的断 面立体图。图4是本发明实施方式的台架装置的、导架的主要部分侧面图。 图5是本发明实施方式的台架装置的、导架的主要部分側面图。 图6是表示本发明实施方式的台架装置的、导架变型例的主要部 分側面图。图7是表示本发明实施方式的台架装置的变型例的概略平面图。 图8是表示本发明实施方式的台架装置的变型例的概略立体图。 图9是表示已往的台架装置构造的概略平面图。 附图标记说明
11 台架装置
12 载置台 13X 导架 13Y 门形架
14 基板处理单元 15A 主架部(笫1架部) 15B 副架部(第2架部) 16 架台17 线性引导件 17a 导轴17al、 17a2 第1、第2引导部 17b 引导轴承18 磁铁19 电枢线圏20 可动部21 位置检测传感器22 直线标尺22a、 22b 第1、笫2标尺具体实施方式
下面，参照
本发明的实施方式。图1A、 B是表示本发明实施方式的台架装置11的概略构造的整 体立体图，A表示组装后的状态，B表示组装前的状态。图2是从X 轴方向看台架装置11时的断面图。本实施方式的台架装置11,备有支承玻璃基板等被处理基板W 的载置台12、夹着该载置台12设置并沿X轴方向延伸的一对导架 13X、 13X、在该一对导架13X、 13X之间延伸的门形架13Y、设在该 门形架13Y上的基板处理单元14。栽置台12具有在XY面内支承被处理基板W的基板支承面。载 置台12设置在架台16的上，该架台16用于使一对导架13X、 13X保 持相互平行并且具有一定的间隔地相向配置着。 一对导架13X、 13X 通过架台16固定成一体。载置台20备有例如利用真空吸附等方式将 被处理基板W保持在基板支承面上的机构。在图1A、 B中未示出栽 置台12。另外，架台16的一部分也可以构成上述的基板支承面。门形架13Y沿着与导架13X、 13X的延伸方向(X轴方向)交叉 的方向、在本实施方式中是直交的方向(Y轴方向)延伸。门形架13Y 的两脚部，通过可动部20，相对于导架13X、 13X可沿该导架13X、13X的上面移动地受到支承。基板处理单元14由对支承在载置台12上的被处理基板W的表面 喷出密封剂或液晶材料、含有间隔基的树脂等各种骨状材的喷嘴、或 者观察基板表面的照相机单元等构成。该基板处理单元14，相对于门 形架13Y可沿该门形架13Y的下面移动地受到支承。门形架13Y和基板处理单元14，以线性马达作为驱动源，分别沿 着导架13X和门形架13Y移动。图3表示设在导架13X、 13X与门形 架13Y之间的可动部20的一例构造。下述的构造也同样地适用于门 形架13Y与基板处理单元14之间。如图3所示，可动部20备有线性引导件17、磁铁18、和电枢线 圏19。线性引导件17由敷设在导架13X上面的一对导轴17a、 17a、 和设置在门形架13Y的脚部下面的一对引导轴承17b、 17b构成。磁 铁18在一对导轴17a、 17a之间呈直线地设置在导架13X的上面。电 枢线圏19与磁铁18隔开间隔相向地安装在门形架13Y的脚部下面。 由这些磁铁18和电枢线圏19构成了线性马达。在可动部20上，还设有用于检测门形架13Y相对于导架13X的 相对位置的位置检测传感器21。位置检测传感器21通过光学地检测 设置在导架13X侧面的线性标尺22,进行门形架13Y的位置检测。另外，台架装置11还备有控制部(图未示)，该控制部接受上迷 构成的位置检测传感器的检测输出，进行门形架13Y及基板处理单元 14的移动控制，该控制部的说明从略。借助门形架13Y相对于导架13X、 13X的X轴方向的水平移动、 以及基板处理单元14相对于门形架13Y的Y轴方向的水平移动，可 以在XY面内的两个方向，将基板处理单元14与支承在载置台12上 的被处理基板W的表面整个区域相向地配置。这样，台架装置ll作 为XY台架，其可以用基板处理单元14对被处理基板W连续地或间 歇地进行预定的基板处理动作(本例中是密封剂或液晶材料、含间隔 基的树脂的涂敷、或者表面检查)。另外，在本实施方式的台架装置11中，导架13X、 13X是由在其延伸方向分割的主架部(第1架部)15A和副架部(第2架部)15B 的结合体构成的。因此，台架装置11如图1B所示，导架13X、 13X 在主架部15A与副架部15B之间是可分割的。这时，被处理基板W 载置在主架部15A侧。如上所述，由于把导架13X、 13X做成为在其延伸方向可以分离 的构造，所以，可以把台架装置11在X轴方向分割成两部分进行运 输。例如，即使台架装置11具有X轴方向的长度尺寸为5500mm以 上、Y轴方向的宽度尺寸为4500mm以上的大小时，只要把台架装置 ll在X轴方向分割成两部分，对于每个分割结构体单位，X轴方向长 度可抑制在3500mm以下。这样，可以避免道路状况等的限制，实现 台架装置11的陆路运输。在本实施方式中，导架13X、 13X的分割位置、即主架部15A与 副架部15B之间的交界线D，设定在导架13X、 13X上的、作业区域 R1与非作业区域R2的交界位置。作业区域Rl规定出基板处理单元 14进行基板处理所必需的门形架13Y的移动路径。非作业区域R2用 于使门形架13Y避开载置台12上的正上方位置。另外，非作业区域R2规定出了在被处理基板W运入、运出载置 台12时以及对基板处理单元14进行维护、检修等时作为门形架13Y 的退避位置，即非动作位置。因此，主架部15A形成了基板处理单元14进行基板处理所必需 的、门形架13Y的移动路径。另外，副架部15B与主架部15A的长 度方向的一端侧连接，形成了门形架13Y的到达非作业位置的移动路 径。如上所述，把构成导架13X、 13X的主架部15A和副架部15B的 交界D，设置在导架13X、 13X上的门形架13Y的作业区域R1与非 作业区域R2的交界线上，可得到以下的效果。第一， 一般在门形架移动型的台架装置中，对基板处理时，必须 要进行门形架的高精度的移送控制，但根据本实施方式，只要把划定出门形架13Y的作业区域Rl的主架部15A设计成具有可获得预定的 高标准移送精度的构造即可。因此，副架部15B与主架部15A相比， 不需要严密的移送精度，所以，可减低台架装置11的整体制作成本。这里，所说的门形架13Y的移送精度，包含门形架13Y的移动面 的刚性、平坦度、门形架13Y的等速移动性等，为了得到这些特性， 导架通常是采用花岗岩或大理石等的石材、SiC等的硬质陶瓷那样的 加工精度高的较高价的材料。在本实施方式中，可以仅对主架部15A 用这些材料制作，与其相比，副架部15B可以用能得到一定移送精度 那样程度的比较低价的材料制作。第二，由于在门形架13Y的作业区域R1内，导架13X、 13X上 没有接缝(交界D),所以，可以避免在通过接缝时产生的门形架13Y 的振动及速度变化，可以确保基板处理单元14对被处理基板W进行 准确的基板处理。第三，由于把导架13X、 13X的分割位置(交界D)设定在门形 架13Y的作业区域Rl与非作业区域R2的交界上，所以，可以提高 台架装置11的组装作业性。即，如果导架13X、 13X的分割位置在门形架13Y的作业区域 Rl内，则为了确保门形架13Y的高移送精度，必须高精度地进行导 架的连接，这样，设置作业工作量增大，根据本实施方式，则可以避 免这一问题，可以减轻导架13X、 13X的设置作业工作量。另外，如图1B所示，由于可在将门形架13Y组装在主架部15A 上的状态下进行运输，所以，可以省略掉现场的可动部20的组装作业。 这样，可提高台架装置11的设置作业性。另外，可以在确保了门形架 13Y被高精度地组装在主架部15A上的状态，将台架装置11装货运 出。另一方面，在导架13X上引导门形架13Y移动的线性引导件17, 也与导架13X、 13X同样地做成为分割构造，本实施方式中，线性引 导件17在与导架13X、 13X的分割位置不同的位置处接合。图4是表示导架13X的分割位置的侧面图。导架13X是由主架部15A和副架部15B结合构成的，在主架部15A和副架部15B的上面， 分别敷设了线性引导件17的导轴(第1、第2引导部)17al、 17a2。 第1引导部17al包含了在门形架13Y在被处理基板W上移动时起引 导作用的部分(作业区域R1)。另外，第2引导部17a2不包含门形架 13Y在被处理基板W上移动时起引导作用的部分。第l、第2引导部17al、 17a2相互敷设在同一轴线上，其接缝d 设定在与导架13X的分割位置(交界D)不同的位置。即，如图4所 示，第1引导部17al从主架部15A朝副架部15B侧突出，突出的第 1引导部17al的部分固定在副架部15B上。第2引导部17a2在副架 部15B上与第1引导部17al的突出端接合，这样，构成了连续的导 轴17a。如图4所示，第1、第2引导部17al、 17a2的接缝d,设定在与 导架13X的分割位置D不同的位置，这样，能用第l引导部17al覆 盖住导架13X的分割位置D的上面，所以，在主架部15A和副架部 15B之间组装时产生的导架上面的不平度，可以被第1引导部17al吸 收。这样，可以有效地抑制门形架13Y在通过分割位置D时产生的振 动。另外，主架部15A和副架部15B之间的连接也不需要严密的组装 精度，可以更加提高导架13X的设置作业性。另外，第1、第2引导部17al、 17a2，是在将主架部15A和副架 部15B连接后，用螺丝部件23固定在该组装好的导架13X上的。为了提高台架装置11的设置作业性，把门形架13Y的位置检测 所必须的线性标尺22,也做成为相对于导架13X分割的构造。即，如 图5所示，线性标尺22被分割成为设置在主架部15A上的第1标尺 22a、和设置在副架部15B上的第2标尺22b。做成这样的构造，可以 避免使用长尺寸的线性标尺时因热膨胀而导致的精度降低，所以，可 提高门形架13Y的移送精度。这时，在门形架13Y上，在其行进方向并排地至少设置2个检测 第1、第2标尺22a、 22b的线性标尺检测部。作为该线性标尺检测部， 可以设置2个以上的上述位置检测传感器21，也可以在一个位置检测传感器21上并排配置2个检测部(元件)。这些检测部的配置间隔大 于标尺22a、 22b的设置间隔，这样，可以进行跨越标尺22a、 22b之 间的位置检测。在上述构造中，门形架13Y在通过主架部15A和副架部15B的 连接部时，上述线性标尺检测部中的一方检测第1标尺22a,另一方 检测第2标尺22b，这样，进行架连接部的位置修正。具体地说，当 一方检测部通过标尺的连接部时，根据另一方的检测输出和这些检测 部之间的配置间隔，计算求出该一方检测部的位置。这样，即使标尺 22a、 22b分离设置时，也能高精度地进行门形架13Y的位置检测，并 且，标尺22a、 22b的设置间隔不需要高精度，可提高作业性。另外，线性标尺检测部的设置数目不限定是2个，其个数也可以 增加。另外，线性标尺的分割位置也不是只限定在上述各架部的连接 位置。上面，说明了本发明的实施方式，当然，本发明并不局限于该实 施方式。在本发明技术思想的范围内，可作各种变型。例如，上述实施方式中，构成导架13X的主架部15A和副架部 15B的各相接面，由与门形架13Y的行进方向垂直的面构成，但并不 限定于此。图6表示主架部15A和副架部15B的各相接面倾斜于门形 架13Y的行进方向的例子。根据该构造，可容易地实现主架部15A和 副架部15B的交界D处的架上面的高度精度，可提高导架13X的设 置作业性。另外，上述实施方式中，是把台架装置11的导架13X、 13X分割 为两部分，但也可以如图7示意地示出那样，把导架13X、 13X分割 成为三部分。在该例中示出了这样的构成，即，在主架部15A的两端 部上，分别连接了副架部15B。另外，也可以进一步增加导架13X、 13X的分割数。这时，如图 8所示，显示了由主架部15A和副架部15B交替连接而成的台架装置 的构造。根据该构造，可以在同一个台架装置上，并排地处理若干块 ,皮处理基板W。
权利要求
1.一种台架装置，其备有支承被处理基板的基板支承面，夹着所述基板支承面而相向配置的一对导架，在所述一对导架之间延伸并可自由移动地支承在所述一对导架上的门形架，和设置在所述门形架上的基板处理单元；其特征在于，所述导架由主架部和副架部的结合体构成；所述主架部形成由所述基板处理单元进行基板处理所需的所述门形架的移动路径；所述副架部与所述主架部的长度方向一端部或两端部相接，形成所述门形架的到达非作业位置的移动路径。
2. 如权利要求l所述的台架装置，其特征在于，与所述副架部相 比，所述主架部的所述门形架的移送精度设计得高。
3. 如权利要求l所述的台架装置，其特征在于，在所述导架上， 敷设了引导所述门形架直行移动的线性引导件；所述线性引导件在与所述导架的分割位置不同的位置接合。
4. 如权利要求1所述的台架装置，其特征在于，所述基板处理单 元可沿着该门形架的延伸方向自由移动地支承在所述门形架上。
5. —种台架装置，其设置着被处理基板，使门形架在该被处理基 板上移动，用以对所述被处理基板进行处理或检查；其特征在于，具 有第1引导部、第2引导部、第1架部和第2架部；所述第1引导部包含所述门形架在所述被处理基板上移动时进行 引导的部分；所述第2引导部不包含所述门形架在所述被处理基板上移动时进 行引导的部分；所述第1架部设置着所述第1引导部，载置着所述被处理基板；所述第2架部设置着所述第2引导部；所述第1架部和所述第2架部能够分离并运输。
6. 如权利要求5所述的台架装置，其特征在于，所述第l架部的所述门形架的移送精度比所述第2架部高。
7. 如权利要求5所述的台架装置，其特征在于，所述第1引导部 的一部分从所述第1架部突出，该突出的所述第1引导部固定在所述 第2架部上，所述第1引导部和所述第2引导部构成连续的引导部。
8. 如权利要求5所述的台架装置，其特征在于，所述第l架部和 所述第2架部的相接面相对于所述门形架的移动方向倾斜地形成。
9. 如权利要求5所述的台架装置，其特征在于，备有设置在所 述第1架部上的第1标尺、设置在所述第2架部上的第2标尺、和设 置在所述门形架上用于检测标尺而确定出所述门形架的位置的至少2个线性标尺检测部；当所述门形架通过所述第1架部和所述第2架部的连接部时，所 述线性标尺检测部中的一方利用所述第l标尺检测位置，所述线性标 尺检测部的另一方利用所述第2标尺检测位置，由此进行所述连接部 的位置修正。
全文摘要
本发明的台架装置能分割地进行陆路运输，同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置备有支承被处理基板(W)的基板支承面、夹着基板支承面相向配置的一对导架(13X)、在一对导架(13X)之间延伸并可移动地支承在一对导架(13X)上的门形架(13Y)、和设置在门形架(13Y)上的基板处理单元(14)；导架(13X)由主架部(15A)和副架部(15B)的结合体构成；主架部(15A)形成基板处理单元(14)进行基板处理所需的门形架(13Y)的移动路径(作业区域(R1))，副架部(15B)与主架部(15A)的长度方向一端部或两端部连接，形成门形架(13Y)的到达非作业位置(非作业区域(R2))的移动路径。
文档编号H01L21/68GK101326626SQ20078000063
公开日2008年12月17日 申请日期2007年2月23日 优先权日2006年2月28日
发明者南展史, 汤山纯平, 田中保三, 矢作充 申请人:株式会社爱发科