专利名称：承载装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于机械设备领域，尤其涉及实用新型一种承载装置。
背景技术：
近年来，随着产业日益发达，为了提升产品的产能以及制造良率，对于机械设备的 需求也日益增加。其中，机械设备中与产品直接接触的承载装置为影响产品产能以及良率 的重要因素。举例而言，承载装置中结构设计的精确度越高，越能降低机械设备的维修次数 以及縮短每次机械设备的维修时间，产能就能适度提升。再者，承载装置中与产品接触的磨 耗越少时，就能维持产品的良率。因此，承载装置的优劣攸关产品的制造成本，进而影响产 业的竞争力。 —般而言，传统设置于机械设备中的承载装置主要是由一基座以及多个固定于基 座上的支撑垫所构成。以显示器的生产流程为例，待载物(如基板)与所述多个支撑垫接触 并通过这些支撑垫承载于基座上，使得基板与基座之间保持一定高度。在实际运作中，基板 传送机构(如机械手臂等)会伸入基板与基座之间的空间而将基板往下一制作流程传送。 现有的支撑垫除了用以维持基板被传送时所需的高度外，尚有防止基板滑动以及避免基板 直接与基座接触而产生刮伤的功能。 然而，前述的支撑垫是利用螺牙锁固于基座上，且当基板承载于前述支撑垫上时，
基板的重量会施加于与其接触的支撑垫上，由于前述支撑垫仅能以单点的方式接触基板，
因此每一支撑垫所承受的力量较大。这种支撑垫在机械设备经过一段时间的运转之后，不
可避免地容易产生磨损的问题，严重者，支撑垫的螺牙甚至会松脱或掉落。如此一来，除了
会影响基板传送至下一流程的精确度外，严重者还会将磨耗产生的微粒(particle)滞留
于生产的产品中，而且松脱或掉落的支撑垫若滞留在基板的传送路径上亦会造成产品的刮
伤或破片。尤其对于集成电路或液晶显示器等无尘等级要求度甚高的半导体制程而言，这
种通过支撑垫来承载基板的承载装置对产品的产能以及良率是一大杀手。 由于支撑垫属于耗材，除了需要定时更换外，再加上现有的支撑垫较容易损坏，因
此机械设备需要较频繁地停机来定期维修。此外，由于支撑垫是个别独立地设置在基座上，
因此支撑垫的拆卸、新品安装或维修不易，甚至需要将基座自承载装置拆卸下来进行大规
模调整。实务上，在生产设备的一般保养时程或者是故障排除时，由于机台可容许的停滞
时间不长，因此在有限的时间内如何进行承载装置中支撑垫的维修以确保生产机台的精确
度，提高生产机台的时间稼动率成为产业发展的一大重要课题。
发明内容本实用新型的目的在于实用新型提供一种承载装置，旨在解决现有技术提供的具 有承载待载物的支撑条可维护性差的问题。 本实用新型是这样实现的，实用新型一种承载装置，其适于承载一基板，且承载装 置包括基座、支撑条以及固定件。基座具有一承载面以及一相对于承载面的背面。支撑条位于承载面上，基板适于与支撑条接触而承载于基座的承载面上。固定件自背面穿设部分 基座而将支撑条锁固于基座的承载面上。 在本实用新型实用新型的一实施例中，上述的基座例如是包括二承载板，其中承 载板彼此相隔一距离而沿着水平面设置，且支撑条例如是位于每一承载板彼此邻近边缘的 承载面上。并且，每一承载板在彼此邻近边缘的承载面上还可以具有一下陷表面，而支撑条 可以位于承载面的下陷表面上，且支撑条的表面凸出承载板其它区域的表面。进一步来说， 每一承载板在下陷表面的区域的厚度小于承载板其它区域的厚度。此外，支撑条更可以自 每一承载板的承载面沿着承载板的侧面往承载板的厚度方向延伸。 在本实用新型实用新型的一实施例中，支撑条与基板的接触面例如为一连续面， 且支撑条与基板的接触面高于基座的承载面。 在本实用新型实用新型的一实施例中，基座例如具有多个贯孔，支撑条与基座接 触的一侧例如具有多个螺孔，其中贯孔分别暴露出螺孔，且固定件例如是分别穿设贯孔而 固定于螺孔上。此外，固定件可以是多个螺丝，其中每一螺丝具有一螺栓以及一螺帽，螺栓 分别穿设贯孔而锁附于支撑条的螺孔上。 在本实用新型实用新型的一实施例中，固定件的材质例如与支撑条的材质不同。 在本实用新型实用新型的一实施例中，固定件的材质包括聚醚醚酮 (Polyetheretherketone， PEEK)。 在本实用新型实用新型的一实施例中，支撑条的材质包括铁氟龙。 在本实用新型实用新型的一实施例中，承载装置更可以包括多个支撑垫，位于承
载面上，支撑垫沿着支撑条的长度方向排列，且支撑垫的排列方向与支撑条相隔一距离。此
外，每一支撑垫可以主要是由一螺栓以及一圆头螺帽所构成，每一支撑垫通过螺栓而锁固
于基座的承载面上，且圆头螺帽凸出承载面。并且，支撑垫的材质包括聚醚醚酮。 在本实用新型中，承载装置通过支撑条与基板接触并将其承载于基座上，位于基
座承载面上的支撑条主要是利用固定件自基座的背面锁固于基座上，并且支撑条的条状结
构可以增加基板与支撑条的接触面积。因此，本发明的承载装置可以稳固地将支撑条固定
于基座上，并有效降低支撑条与基板之间的磨耗，提高基板在承载装置上的精确度，提升设
备的时间稼动率与产品良率。
图1为本实用新型实施例提供实用新型的一种承载装置的部分上视示意图； 图2为图1的承载装置沿AA'剖面线的剖面示意图； 图3A与3B分别为依据本实用新型实用新型一实施例的承载装置的承载面局部放 大立体图以及背面局部放大立体图； 图4为本实用新型实施例提供实用新型的另一种承载装置的部分上视示意图； 图5为图4的承载装置沿BB'剖面线的剖面示意图。
具体实施方式为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施 例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。 在本实用新型实施例中，承载装置通过支撑条与基板接触并将其承载于基座上， 位于基座承载面上的支撑条主要是利用固定件自基座的背面锁固于基座上，并且支撑条的 条状结构可以增加基板与支撑条的接触面积。因此，本发明的承载装置可以稳固地将支撑 条固定于基座上，并有效降低支撑条与基板之间的磨耗，提高基板在承载装置上的精确度， 提升设备的时间稼动率与产品良率。 图1为本实用新型的一种承载装置的部分上视示意图。图2为图1的承载装置沿 AA'剖面线的剖面示意图。请同时参照图1与图2，承载装置200适于承载一基板210，在 实际应用中，承载装置200例如可以作为基板210在生产机台中衔接前后制作流程的缓冲 区。此处的基板210泛指生产流程中的半成品或成品，也就是说，基板210可以是未加工或 者是已于其上完成部分制程的玻璃基板、晶圆或其它待处理物。如图1与图2所示，承载装 置200主要是由基座220、支撑条230以及固定件240所构成的。如图2所示，基座220具 有一承载面220A以及一相对于承载面220A的背面220B，支撑条230位于承载面220A上并 自承载面220A凸出。当基板210承载于基座220上时，基板210适于与支撑条230接触而 被承载于基座220的承载面220A上。并且，固定件240是由基座220的背面220B穿设部 分基座220而将支撑条230锁固于基座220的承载面220A上。 请继续参照图1与图2，在本实施例中，基座220例如主要由彼此相隔一距离D的 二承载板222所构成，且二承载板222是沿着水平面设置，换言之，基板210是水平地被承 载于所述多个承载板222上。此外，设计者可以依据基板210的尺寸、重量、表面粗糙度与基 座220的大小、甚至是用以传送基板210的机械手臂的设计经度等来设计支撑条230在承 载板222上的分布位置。举例而言，在本实施例中，基于力学平衡的考虑，支撑条230例如 是位于每一承载板222彼此邻近边缘220E的承载面220A上，且支撑条230与基板210的 接触面例如为一连续面，使得基板210的重量可以均匀地经由支撑条230而分散至承载板 222上，如此，可以降低支撑条230单位面积所承受的基板210重量，并且使基板210的弯曲 程度抑制在一定程度内。另一方面，为了进一步增进承载装置200的量产性，支撑条230与 基板210的接触面例如是高于基座220的承载面220A。如此，基板210在利用机械手臂进 行传送时，亦可以防止基板210因与基座220接触产生刮伤，同时降低基板210与基座220 因接触后瞬间剥离所产生的静电。 值得注意的是，本实用新型的支撑条230是通过位于基座220背面220B的固定件 240而固定于基座220承载面220A上的，因此当基板210承载于基座220上时，不会与固定 件240直接接触，防止基板与支撑条发生摩擦。详言之，如图1与图2所示，在本实施例中， 固定件240包括多个沿着支撑条230长度方向排列的螺丝240a，其中每一螺丝240a具有一 螺栓242以及一螺帽244。实务上，将支撑条230由基座220的背面220B利用固定件240 锁固于基座220的承载面220A的固定方式可列举下列方式。于基座220的预定位置上设 置多个贯孔Hl，并且支撑条230与基座220接触的一侧设置多个对应贯孔Hl的螺孔H2，亦 即，基座220上的多个贯孔Hl分别暴露出支撑条230上的螺孔H2。并且，每一螺丝240a的 螺栓242分别穿设基座220的贯孔Hl而锁附于支撑条230的螺孔H2上。在本实施例中， 支撑条230中的螺孔H2是沿着厚度方向而贯穿支撑条230，当然，在其它实施例中，支撑条 230中的螺孔H2亦可以不贯穿支撑条230，换言之，螺孔H2的深度小于支撑条230的厚度，但本实用新型并不以此为限。 当然，本实用新型并不限于上述的固定方式，使用者可以依据基座220与支撑条 230尺寸、或者是装置的空间大小来选择不同的固定方式来进行。特别的是，本实用新型的 固定件240与支撑条230是分别设置于基座220的两相对侧，因而本实用新型的支撑条230 与固定件240彼此独立扮演用以承载基板210以及用以固定支撑条230的角色。因此，基 板210不会与固定件240接触，如此一来，相较于现有技术，本实用新型的承载装置200可 以有效避免现有承载装置200因螺牙松脱使得与基板直接接触的构件(如现有的支撑垫) 产生偏移(shift)、掉落，进而导致基板受到污染或刮伤等问题。 此外，基座220的材质例如为不锈钢。值得注意的是，本实用新型的固定件240与 支撑条230可以基于不同机能的考虑可以选用不同的材质来制作。举例而言，与基板210 接触的支撑条230可以选用材质较具有缓冲效果的材质，以避免支撑条230在承载基板210 时造成基板210的损伤，其材质例如为铁氟龙。另一方面，用以将支撑条230固定于基座 220上的固定件240可以选用硬度较高、不易变形的材质。如此一来，工程师可以依据螺丝 设定标准固锁规格的磅数来进行安装与调整，使得固定件240能更稳固地将支撑条230锁 固于基座220上，进而有效避免现有螺牙松脱的状况，其中固定件240的材质例如是聚醚醚 酮。 图3A与3B分别为依据本实用新型一实施例的承载装置的承载面局部放大立体 图以及背面局部放大立体图。请先参照图2与图3A，为了进一步增强支撑条230的机械强 度，在本实施例中，每一承载板222在彼此邻近边缘的承载面220A上还可以具有一下陷表 面220C，而支撑条230可以位于承载面220A的下陷表面220C上。进一步来说，每一承载板 222在下陷表面220C的区域的厚度小于承载板222其它区域的厚度，并且在本实施例中，支 撑条230的表面高于承载板其它区域表面。如此，由于支撑条230的厚度可以不受承载板 厚度的限制而适时地增厚，因此可增加支撑条230的机械强度，使其即使在进行锁固程序 时亦不易变形。 此外，在本实施例中，支撑条230更可以自每一承载板222的承载面220A沿着承 载板222的侧面往厚度方向延伸，如图2与图3A所示，支撑条230通过其L型结构不但可 以增进机械强度，并且可以将硬度较高的基座220包覆在支撑条230中以降低基板210与 基座220接触产生摩擦或刮伤的机率，可进一步增进产品良率。 请接着参照图2与图3B，如前述，固定件240是自基座220背面220B穿设基座220 而锁固于位在基座220承载面220A的支撑条230上，并且在本实施例中，当固定件240将 支撑条230锁固于基座220上时，每一螺丝240a的螺帽244整体埋设于基座220中，换句 话说，螺帽244的表面与基座220的底面切齐或者低于基座220的底面。并且，螺帽244上 具有一用以方便拆装的凹槽246，可以縮短维修时间、进一步增加设备的时间稼动率。 值得一提的是，由于支撑条230是通过位于基座220相对侧的固定件240加以固 定，如此将承载基板210与固定支撑条230的分工设计使得本实用新型不同于现有，支撑 条230的磨耗可以大幅降低，并且由于上述的分工设计，固定件240可以选用硬度较高的 材质。因此本实用新型的承载装置不但可以延长固定件240的使用寿命，还可以将支撑条 230更稳固地锁固于基座220上。另一方面，在进行支撑条230的维修或新品更换时，固定 件240可用标准固锁规格磅数来进行安装，大幅縮短维修时间以及减少不同人员进行安装
6的差异性，使得机台的产能利用率大幅提升而增加产能 此夕卜，图4为本实用新型的另一种承载装置的部分上视示意图，图5为图4的承载 装置沿BB'剖面线的剖面示意图。请同时参照图4与图5，为了进一步增加承载装置200的 量产性，承载装置200更可于承载面220A上选择性地设置多个支撑垫250，其中支撑垫250 的材质例如是聚醚醚酮。如图4所示，支撑垫250沿着支撑条230的长度方向排列，且支撑 垫250的排列方向与支撑条230相隔一距离d。详细而言，在本实施例中，每一支撑垫250 例如主要是由一螺栓252以及一圆头螺帽254所构成，每一支撑垫250通过螺栓252而锁 固于基座220的承载面220A上，且圆头螺帽254凸出承载面220A，而圆头螺帽254可以适 时地发挥支撑基板210的功能。 在实际的应用层面上，基于制程上的特殊考虑，基板210的重量主要是通过支撑 条230而分散在基座220上。在一些特殊情况下，如基板210容易受到其尺寸、重量或传送 程序的影响而产生较大的弯曲形变时，可以进一步在基座的适当位置设置支撑垫250，通过 这些支撑垫250可以进一步分散基板210的重量，增加基板210在承载装置200中的精确 度，并提高承载装置200的量产性，但本实用新型并不以此为限。 综上所述，在本实用新型实施例中，承载装置是利用支撑条来将基板承载在基座 的承载面上，并且在承载面相对的背面利用固定件将其稳固地固定在基座上，因此本实用 新型相较于现有的承载装置具有至少以下的优点 1.承载装置中支撑条的条状结构可以增加基板与支撑条的接触面积。因此，本实 用新型的支撑条可以均匀地分散基板的重量，可减少摩擦、磨耗等问题，增加支撑条的使用 寿命，降低机台保养频率，提升设备的时间稼动率与产品良率。 2.承载装置中所承载的基板不会接触到固定件，因此固定件的固定结构(如螺 牙)不会产生松脱而导致损伤基板的情形，进而提升产品良率。 3.在机台的日常保养时程或是故障排除时，支撑条的更换或维护较简易，且固定 件可以以标准固锁规格磅数进行安装，大幅縮短停机维护时程，提升机台的产能利用率。 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本 实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型 的保护范围之内。
权利要求一种承载装置，适于承载一基板，其特征在于，所述承载装置包括一基座，具有一承载面以及一相对于所述承载面的背面；一支撑条，位于所述承载面上，所述基板适于与所述支撑条接触而承载于所述基座的所述承载面上；以及一固定件，自所述背面穿设部分所述基座而将所述支撑条锁固于所述基座的所述承载面上。
2. 如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述基座包括二承载板，所述二承载板彼此相隔一距离而沿着水平面设置，所述支撑条位于每一承载板彼此邻近边缘的承载面上。
3. 如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述每一承载板在彼此邻近边缘的承载面上具有一下陷表面，所述支撑条位于所述承载面的下陷表面上，且所述支撑条的表面凸出所述承载板其它区域的表面。
4. 如权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述每一承载板在所述下陷表面的区域的厚度小于所述承载板其它区域的厚度。
5. 如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述支撑条自每一承载板的承载面沿着承载板的侧面往所述承载板的厚度方向延伸。
6. 如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述支撑条与所述基板的接触面为一连续面，且所述支撑条与所述基板的所述接触面高于所述基座的所述承载面。
7. 如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述基座具有多个贯孔，所述支撑条与所述基座接触的一侧具有多个螺孔，所述多个贯孔分别暴露出所述多个螺孔，且所述固定件分别穿设所述多个贯孔而固定于所述多个螺孔上，所述固定件包括多个螺丝，每一螺丝具有一螺栓以及一螺帽，所述多个螺丝的螺栓分别穿设所述多个贯孔而锁附于所述支撑条的所述多个螺孔上。
8. 如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述固定件的材质与所述支撑条的材质不同，所述固定件的材质包括聚醚醚酮，所述支撑条的材质包括铁氟龙。
9. 如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括多个支撑垫，位于所述承载面上，所述多个支撑垫沿着所述支撑条的长度方向排列，且所述多个支撑垫的排列方向与所述支撑条相隔一距离。
10. 如权利要求9所述的承载装置，其特征在于，所述每一支撑垫包括一螺栓以及一圆头螺帽，每一支撑垫通过所述螺栓而锁固于所述基座的承载面上，且所述圆头螺帽凸出所述承载面，所述多个支撑垫的材质包括聚醚醚酮。
专利摘要本实用新型适用于机械设备领域，提供了一种承载装置，适于承载一基板，所述承载装置包括一基座、一支撑条以及一固定件。其中，基座具有一承载面以及一相对于承载面的背面。支撑条位于承载面上，基板适于与支撑条接触而承载于基座的承载面上。固定件自背面穿设部分基座而将支撑条锁固于所述基座的承载面上。因此，在本实用新型中，承载装置可以降低磨耗问题、避免产品异常、以及提高机械设备的时间稼动率。
文档编号H01L21/683GK201490172SQ20092013204
公开日2010年5月26日 申请日期2009年5月21日 优先权日2009年5月21日
发明者蔡荣光, 黄炯菖 申请人:深圳华映显示科技有限公司;中华映管股份有限公司