承载装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型是有关于一种承载装置，特别是有关于一种可提供冷却装置直接对盖盘执行冷却作业的承载装置。
【背景技术】
[0002]导体元件、平面显示面板、发光二极管、太阳能电池、光伏电池等装置需要对各种基板执行多重的制程，例如蚀刻、化学气相沉积(chemicaI vapor deposit1n,CVD)、派镀(sputtering)以及清洁等制程，以制作预定的装置或产品。
[0003]在许多制程中，具有一种利用电浆来进行基板的蚀刻处理，一般电浆蚀刻处理设备包含有如图1及图2所示的承载装置，现有的承载装置包含有固定盘100及盖盘200，在固定盘100的一面上设置有用以承载工作300的复数个承载部101，而可盖合于固定盘100上的盖盘200则设置有与承载部101相对应的复数个穿孔201。一般在制程作业的程序中，会利用底部设置的冷却装置400来对承载装置进行冷致，如图2所示，然而，碍于现有承载装置的结构设计，使得现有承载装置在执行冷却作业时，致冷装置400所散发出的致冷气体往往仅能通过气体通道A来直接对固定盘100进行冷却，或是透过承载部101上所设置的气孔102来间接冷却盖盘200，如此一来，在无法直接对盖盘200执行致冷作业下，其冷却效果往往较为不佳。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所解决的技术问题即在提供一种可提供致冷装置直接对盖盘执行冷却作业的承载装置。
[0005]本实用新型所采用的技术手段如下所述。
[0006]本实用新型的承载装置，其包含:一固定盘，其顶面设置有复数个承载部，各承载部分别用以承载一工件，且固定盘设有复数个由底面贯穿至顶面的镂空部；以及一盖盘，设有复数个由底面贯穿至顶面的穿孔，且盖盘的底面设有复数个凸块，当盖盘盖合于固定盘上时，各穿孔分别相对应位于各承载部上，各凸块则分别嵌合于各镂空部。
[0007]较佳地，固定盘的顶面更设有至少一定位凸部，盖盘更设有至少一由底面贯穿至顶面的定位孔，当盖盘结合于固定盘上时，至少一定位孔对应套合至少一定位凸部。
[0008]较佳地，复数个镂空部环绕设置于接近固定盘的中心以及外围缘。
[0009]较佳地，固定盘的底面下方设有一致冷装置，致冷装置所散发出的致冷气体接触于固定盘及盖盘的复数个凸块。
[0010]本实用新型所产生的有益效果如下。
[0011]本实用新型的承载装置的固定盘设置有复数个镂空部来提供盖盘的复数个凸块进行嵌合，让凸块的一面可透于固定盘的底面下方，如此一来，当利用致冷装置对承载装置执行致冷作业时，致冷装置所散发出的致冷气体除了可直接接触固定盘以进行冷却外，更可直接冷却盖盘的凸块，进而提升对盖盘的冷却效果。
【附图说明】
[0012]图1为现有技术的承载装置的示意图。
[0013]图2为现有技术的承载装置设置于致冷装置上的示意图。
[0014]图3为本实用新型的承载装置的实施例的俯视图。
[0015]图4为本实用新型的承载装置的实施例的仰视图。
[0016]图5为本实用新型的承载装置的实施例的第一局部示意图。
[0017]图6为本实用新型的承载装置的实施例的第二局部示意图。
[0018]图7为本实用新型的承载装置设置于致冷装置上的实施例的示意图。
[0019]图号说明:
[0020]100、10 固定盘
[0021]1Ull 承载部
[0022]200、20 盖盘
[0023]201、21 穿孔
[0024]300 工件
[0025]400致冷装置
[0026]A气体通道
[0027]12镂空部
[0028]13定位凸部
[0029]22 凸块
[0030]23定位孔。
【具体实施方式】
[0031]请参阅图3至图6，其分别为本实用新型的承载装置的实施例的俯视图、仰视图、第一局部示意图及第二局部示意图。本实用新型的承载装置可用于电浆蚀刻处理设备中，其包含有固定盘10及盖盘20。固定盘10的顶面设置有复数个承载部11，各个承载部11分别可用以承载工件300，且固定盘10设有复数个镂空部12，各镂空部12由固定盘10的底面贯穿至顶面。盖盘20设有复数个穿孔21，各穿孔21由盖盘20的底面贯穿至顶面，且盖盘20的底面设有复数个凸块22。当盖盘20盖合于固定盘10上时，各穿孔21分别相对应位于各承载部11上，而各凸块22则分别嵌合于各镂空部12。其中，复数个镂空部12较佳环绕设置于接近固定盘10的中心以及外围缘，但其设置方式仅为一种排列态样，不应以此为限，而盖盘20的凸块22则对应固定盘10的镂空部12的配设位置进行排列设置。
[0032]更进一步地，固定盘10的顶面更设有至少一定位凸部13，盖盘20更设有至少一定位孔23，定位孔23由盖盘20的底面贯穿至顶面，其中，当盖盘20结合于固定盘10上时，至少一定位孔23对应套合至少一定位凸部13，藉由定位凸部13及定位孔23的设置，可达到固定盘10与盖盘20间快速定位的功效。
[0033]上述中，本实用新型的承载装置可设置于致冷装置400之上，且承载装置与致冷装置400间形成有气体通道A。当致冷装置400发出致冷气体以对本实用新型的承载装置进行致冷作业时，该致冷气体可经由气体通道A来流向接触固定盘10的底面及盖盘20的各凸块22，藉此，致冷气体可直接地对固定盘10及凸块22进行冷却，如图7所示。
[0034]综上所述，本实用新型的承载装置的固定盘设置有复数个镂空部来提供盖盘的复数个凸块进行嵌合，让凸块的一面可透于固定盘的底面下方，如此一来，当利用致冷装置对承载装置执行致冷作业时，致冷装置所散发出的致冷气体除了可直接接触固定盘以进行冷却外，更可直接冷却盖盘的凸块，进而提升对盖盘的冷却效果。
【主权项】
1.一种承载装置，其特征在于，包含: 一固定盘(10)，其顶面设置有复数个承载部(11)，各该承载部(11)分别用以承载一工件(300)，且该固定盘(10)设有复数个由底面贯穿至顶面的镂空部(12);以及 一盖盘(20)，设有复数个由底面贯穿至顶面的穿孔(21)，且该盖盘(20)的底面设有复数个凸块(22)，当该盖盘(20)盖合于该固定盘(10)上时，各该穿孔(21)分别相对应位于各该承载部(11)上，各该凸块(22)则分别嵌合于各该镂空部(12)。2.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，该固定盘(10)的顶面更设有至少一定位凸部(13)，该盖盘(20)更设有至少一由底面贯穿至顶面的定位孔(23)，当该盖盘(20)结合于该固定盘(10)上时，该至少一定位孔(23)对应套合该至少一定位凸部(13)。3.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，该复数个镂空部(12)环绕设置于接近该固定盘(10)的中心以及外围缘。4.如权利要求1至3的任一所述的承载装置，其特征在于，该固定盘(10)的底面下方设有一致冷装置(400)，该致冷装置(400)所散发出的致冷气体接触于该固定盘(10)及该盖盘(20)的该复数个凸块(22)。
【专利摘要】本实用新型揭露一种承载装置，其包含：一固定盘，其顶面设置有复数个承载部，各承载部分别用以承载一工件，且固定盘设有复数个由底面贯穿至顶面的镂空部；以及一盖盘，设有复数个由底面贯穿至顶面的穿孔，且盖盘的底面设有复数个凸块，当盖盘盖合于固定盘上时，各穿孔分别相对应位于各承载部上，各凸块则分别嵌合于各镂空部。
【IPC分类】H01L21/683
【公开号】CN205177805
【申请号】CN201521028574
【发明人】林瑞琮, 江庆弘
【申请人】江庆弘
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年12月11日