专利名称：固体摄像装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及多端口型且电荷倍增型的固体摄像装置。
背景技术：
固体摄像装置中，存在如日本特开2007-1M675号公报及日本专利3862850号说明书中所记载的多端口型且电荷倍增型的固体摄像装置。这样的固体摄像装置具备摄像区域、及多个单元。摄像区域包含多个像素列。多个单元分别具有输出寄存器，其传输来自多个像素列中一个以上的对应的像素列的电荷；倍增寄存器，其接收由该输出寄存器传输的电荷而生成经倍增的电荷；及放大器，其生成基于来自倍增寄存器的经倍增的电荷的信号。专利文献1 日本特开2007-1M675号公报专利文献2 日本专利3862850号说明书
发明内容
发明所要解决的问题对于多端口型且电荷倍增型的固体摄像装置，所期望的是减小所有单元的倍增寄存器的增益的偏差。然而，由于制造偏差等种种原因，通常难以抑制单元间的增益的偏差。本发明的目的在于提供一种固体摄像装置，其为将基于来自摄像区域的电荷的信号从多个单元输出的多端口型且电荷倍增型的固体摄像装置，其可减少单元间的增益的偏差。解决问题的技术手段本发明的固体摄像装置，为多端口型的固体摄像装置，其具备摄像区域、及多个单元。摄像区域具有多个像素列。多个单元生成基于来自摄像区域的电荷的信号。多个单元分别具有输出寄存器、多个倍增寄存器、及放大器。输出寄存器传输来自多个像素列中一个以上的对应的像素列的电荷。多个倍增寄存器并联设置，且接收来自输出寄存器的电荷而个别地生成经倍增的电荷。放大器生成基于来自多个倍增寄存器的经倍增的电荷的信号。根据该固体摄像装置，由于构成多端口的多个单元分别具有并联设置的多个倍增寄存器，因此即使多个倍增寄存器间的增益存在偏差，各单元的增益被平均化。其结果，可减少单元间的增益的偏差。发明的效果如以上说明，根据本发明可提供一种固体摄像装置，其为将基于来自摄像区域的电荷的信号从多个单元输出的多端口型且电荷倍增型的固体摄像装置，其可减少单元间的增益的偏差。
图1为表示一实施方式的固体摄像装置的图。
具体实施例方式以下参照附图详细说明本发明的优选的实施方式。图1为显示一实施方式的固体摄像装置的图。图1所示的固体摄像装置10具备摄像区域12、及多个单元14。摄像区域12为感应入射的光而产生电荷的区域。具体而言，摄像区域12包含以二维排列的多个像素，各像素包含光电二极管。本实施方式的固体摄像装置10除了摄像区域12的外还具备电荷存储区域16。电荷存储区域16为将由摄像区域12生成的电荷在传输至后述的输出寄存器前，暂时存储的部分。这样的具有电荷存储区域16的固体摄像装置10，称为帧传输(frame transfeiOCXD 影像传感器。然而，本发明的固体摄像装置也可为隔行(interlineK⑶影像传感器、或全帧传输(full frame transfer)CCD影像传感器。摄像区域12具有多个区域12a 12d。多个区域12a 12d在水平方向并列，且各区域包含多个像素列。由多个区域12a 12d所生成的电荷输出至对应的单元14。另外，固体摄像装置10的摄像区域12包含四个区域。即，具有4个端口的固体摄像装置，但本发明的固体摄像装置的端口数并非限定于四个。多个单元14分别具有输出寄存器18、多个倍增寄存器20、及放大器22。本实施方式中，多个单元14分别进而包含转角寄存器M。输出寄存器18为接收由摄像区域12的对应的区域生成、且朝垂直方向传输的电荷，并将该电荷在水平方向传输的传输寄存器。转角寄存器M与输出寄存器18相同，为传输电荷的传输寄存器。转角寄存器M设于输出寄存器18与倍增寄存器20之间。转角寄存器M将由输出寄存器18所传输的电荷传输至倍增寄存器20。多个倍增寄存器20为通过碰撞电离效应将电荷倍增，且传输经倍增的电荷的寄存器。本实施方式中，虽然各单元具有三个倍增寄存器，但本发明的固体摄像装置中各单元只要具有两个以上的倍增寄存器即可。固体摄像装置10中，多个倍增寄存器20并联设置于输出寄存器18与放大器22 之间。该多个倍增寄存器20经由转角寄存器M接收由输出寄存器18传输的电荷，且将倍增的电荷输出至放大器22。放大器22接收由多个倍增寄存器20所倍增的电荷，进行电荷电压转换，并生成对应于所接收的电荷量的信号。作为放大器22，可使用浮动扩散放大器。根据以上说明的固体摄像装置10，基于由并联设置的多个倍增寄存器20所倍增的电荷的信号，从放大器22输出。因此，即使多个倍增寄存器20各自的增益存在偏差，各单元14的增益也被平均化。其结果，多个单元14间的增益的偏差被减少。故可使由固体摄像装置10所获得的图像成为高质量。符号说明10固体摄像装置12摄像区域14 单元16电荷存储区域
18输出寄存器
20倍增寄存器
22放大器
24转角寄存器
权利要求
1. 一种固体摄像装置，其特征在于， 是多端口型的固体摄像装置， 具备摄像区域，具有多个像素列；及多个单元，生成基于来自所述摄像区域的电荷的信号，所述多个单元分别具有输出寄存器，传输来自所述多个像素列中一个以上的对应的像素列的电荷； 多个倍增寄存器，其并联设置，且接收来自所述输出寄存器的电荷而个别地生成经倍增的电荷；以及放大器，生成基于来自所述多个倍增寄存器的经倍增的电荷的信号。
全文摘要
本发明的一个实施方式的固体摄像装置，为多端口型的固体摄像装置，其具备摄像区域、及多个单元。摄像区域具有多个像素列。多个单元生成基于来自摄像区域的电荷的信号。多个单元分别具有输出寄存器、多个倍增寄存器、及放大器。输出寄存器传输来自多个像素列中一个以上的对应的像素列的电荷。多个倍增寄存器并联设置，且接收来自输出寄存器的电荷而个别地生成倍增的电荷。放大器生成基于来自多个倍增寄存器的经倍增的电荷的信号。
文档编号H01L27/148GK102246508SQ201080003562
公开日2011年11月16日 申请日期2010年1月22日 优先权日2009年1月30日
发明者前田坚太郎, 村松雅治, 米田康人, 铃木久则, 高木慎一郎 申请人:浜松光子学株式会社