专利名称：用于防止晶片掉片的真空控制系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶片安装设备，具体是一种用在晶片安装工序中，防止晶片掉片的真空控制系统。
背景技术：
晶片固定工序主要是吸取晶片并将晶片粘贴到基板上的过程。在晶片的吸取过程中因为真空阀的所产生的一系列问题可能会使晶片飞走，从而产生晶片掉片的现象。这样不仅对产品的良率有一定的影响，而且在不断出现错误并处理错误的过程中，对产量有很大影响，同时也导致操作人员的工作强度过大、效率不高，影响工作积极性。鉴于此，需要要对真空阀控制器改善工作。
发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种用于防止晶片掉片的真空控制系统，该真空控制系统主要稳定了吸取晶片时的真空值，减少了设备运行过程中晶片掉片的现象，同时也降低了操作人员的工作强度，提高了生产效率。按照本实用新型提供的技术方案用于防止晶片掉片的真空控制系统，其特征在于包括粘合工作台、放气阀、真空发生阀、固体继电器、直流电源和真空信号发生器，粘合工作台通过导管分别连接放气阀的充气口和真空发生阀的吸气口，放气阀和真空发生阀分别与固体继电器电气连接，通过固体继电器控制；固定继电器分别通过导线连接电源和真空信号发生器。作为本实用新型的进一步改进，所述放气阀和真空发生阀安装在一个阀本体过滤器上，在阀本体过滤器上连接有一个进气管；所述导管直接连接在阀本体过滤器上，放气阀的充气口、真空发生阀的吸气口经由阀本体过滤器后通过导管与粘合工作台相连。作为本实用新型的进一步改进，所述固定继电器的电源采用24V直流电源。本实用新型与现有技术相比，优点在于(1)该真空控制系统可以稳定吸取晶片时的真空值，减少了设备运行过程中晶片掉片的现象；(2)该真空控制系统可以大大降低操作人员的工作强度，提高了生产效率；(3)该真空控制系统的使用寿命大大增长，减少了备件购买费用，节约了生产成本。
图1为本实用新型的部件连接示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。如图1所示，所述真空控制系统用在晶片固定工序中，用于防止晶片掉片。其主要由粘合工作台1、导管2、进气管3、阀本体过滤器4、放气阀5、真空发生阀6、固体继电器7、直流电源8和真空信号发生器9等部件组成。如图1所示，粘合工作台1是用于将晶片固定在基板上的操作平台，其内部为空心结构；粘合工作台ι通过导管2分别连接放气阀5的充气口和真空发生阀6的吸气口，放气阀5和真空发生阀6分别与固体继电器7电气连接，通过固体继电器7控制；固定继电器7 分别通过导线连接电源8和真空信号发生器9。所述固定继电器7的电源优选采用24V直流电源。如图1所示，考虑到外界空气中有粉尘杂质，如果直接被放气阀5和真空发生阀6 送到粘合工作台1内，会对产品的粘结固定产生不利影响，所以本实用新型还设置了一个用于过滤空气中污染物的阀本体过滤器4，所述放气阀5和真空发生阀6安装在阀本体过滤器4上，阀本体过滤器4上连接有一个进气管3 ；所述导管2直接连接在阀本体过滤器4 上，放气阀5的充气口、真空发生阀6的吸气口经由阀本体过滤器4后通过导管2与粘合工作台1相连；这样就可以保证进入到粘合工作台1内部的空气清洁，提高产品粘合质量。本实用新型的工作原理和工作过程如下具体应用时，空气经由进气管3进入至阀本体过滤器4中，通过阀本体过滤器4过滤清洁。电源8给固定继电器7提供24V的直流电源，控制固定继电器7的工作与停止；当固定继电器7工作时，真空信号发生器9发出“抽真空”信号并通过导线输送到真空发生阀 6中，真空发生阀6启动，其吸气口通过导管2对粘合工作台1进行抽真空操作，最终粘合工作台1上出现真空，并将晶片吸在上面；当固定继电器7停止工作时，真空信号发生器9发出“释放真空”信号并输送到放气阀5上，放气阀5启动，其充气口通过导管2对粘合工作台1进行充气操作并释放晶片。本实用新型可以严格控制真空值的大小，有效防止了因真空值没有或不够而引起的晶片掉片现象。
权利要求1.用于防止晶片掉片的真空控制系统，其特征在于包括粘合工作台(1)、放气阀(5)、 真空发生阀(6)、固体继电器(7)、直流电源(8)和真空信号发生器(9)，粘合工作台(1)通过导管(2)分别连接放气阀(5)的充气口和真空发生阀(6)的吸气口，放气阀(5)和真空发生阀(6)分别与固体继电器(7)电气连接，通过固体继电器(7)控制；固定继电器(7)分别通过导线连接电源(8)和真空信号发生器(9)。
2.如权利要求1所述的用于防止晶片掉片的真空控制系统，其特征在于所述放气阀 (5)和真空发生阀(6)安装在一个阀本体过滤器(4)上，在阀本体过滤器(4)上连接有一个进气管(3);所述导管(2)直接连接在阀本体过滤器(4)上，放气阀(5)的充气口、真空发生阀(6)的吸气口经由阀本体过滤器(4)后通过导管(2)与粘合工作台(1)相连。
3.如权利要求1所述的用于防止晶片掉片的真空控制系统，其特征在于所述固定继电器(7 )的电源采用24V直流电源。
专利摘要本实用新型涉及一种用于防止晶片掉片的真空控制系统。其包括粘合工作台、放气阀、真空发生阀、固体继电器、直流电源和真空信号发生器，粘合工作台通过导管分别连接放气阀的充气口和真空发生阀的吸气口，放气阀和真空发生阀分别与固体继电器电气连接，通过固体继电器控制；固定继电器分别通过导线连接电源和真空信号发生器。本实用新型可以稳定吸取晶片时的真空值，减少了设备运行过程中晶片掉片的现象；可以大大降低操作人员的工作强度，提高了生产效率；使用寿命大大增长，减少了备件购买费用，节约了生产成本。
文档编号H01L21/683GK202025725SQ20112011517
公开日2011年11月2日 申请日期2011年4月18日 优先权日2011年4月18日
发明者郑昌荣 申请人:海太半导体(无锡)有限公司