专利名称：流体供给装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种可用于存储流体并供给被存储流体的流体供给装置。
背景技术：
在半导体元件等电子组件、液晶显示装置(IXD :Liquid Crystal Display)等显示装置、生物产业、制药产业、太阳能产业等的制造系统中使用流体供给装置。例如，所述流体供给装置可以向所述制造系统提供流体，即，在所述制造系统中使用的光刻胶、蚀刻剂、化学气相沉积反应剂、溶剂、晶片及工具洗涤剂、化学机械抛光组合物等。图I是现有技术涉及的流体供给装置的概略剖视图，图2是示出在现有技术涉及的流体供给装置上结合有密封件和盖子的状态的概略剖视图。图2是以图I的放大图为基准示出在现有技术涉及的流体供给装置上结合有密封件和盖子的状态图。 参照图1，现有技术涉及的流体供给装置10包括内部容器11、外部容器12、连接部13和汲取管14。在所述内部容器11中可存储在所述制造系统100中使用的流体。所述内部容器11设置成位于所述外部容器12的内侧。所述内部容器11与所述连接部13连通，从而存储于所述内部容器11中的流体可以通过所述连接部13被供给所述制造系统100。所述外部容器12在内侧设置有所述内部容器11。所述外部容器12包括供所述连接部12结合的通道构件121，通过所述通道构件121与所述连接部13连通。S卩，所述外部容器12整体可以形成为圆柱形，可以通过所述通道构件121 —侧被开放。所述连接部13与所述外部容器12结合，且分别与所述外部容器12及所述内部容器11连通。在所述连接部13上分别结合有第一连接单元15和第二连接单元16，该第一连接单元15与所述内部容器11连通，该第二连接单元16与所述外部容器12连通。所述第一连接单元15与所述制造系统100连接，而存储于所述内部容器11中的流体可通过所述汲取管14、所述连接部13和所述第一连接单元15被供给至所述制造系统100。所述第二连接单元16可以与气体供给源200连接，从所述气体供给源200供给的气体通过所述第二连接单元16和所述连接部13供给至所述内部容器11的外侧与所述外部容器12的内侧之间的空间A。被供给到所述内部容器11与所述外部容器12之间的空间A的气体可以对所述内部容器11施力，由此，所述内部容器11被压缩，从而能够使存储于所述内部容器11中的流体被排出。所述连接部13包括结合构件131、连接构件132、支承构件133、探头134和接头构件 135。所述结合构件131以使所述通道构件121位于内侧的方式紧固在所述外部容器12上。所述结合构件131通过在所述结合构件131的内周表面上形成的内螺纹和在所述外部容器12的外周表面上形成的外螺纹的结合来紧固在所述外部容器12上。所述结合构件131包括第一连接孔1311。从所述第二连接单元16供给的气体可以通过所述第一连接孔1311供给至所述内部容器11与所述外部容器12之间的空间A。
所述连接构件132以使所述结合构件131位于内侧的方式紧固在所述结合部件131上。所述连接构件132通过在所述连接构件132的内周表面上形成的内螺纹和在所述结合构件131的外周表面上形成的外螺纹的结合来紧固在所述结合构件131上。所述支承构件133被所述结合构件131支承地设置在所述连接构件132的内侧，并支承所述探头134。所述支承构件133包括第二连接孔1331。从所述第二连接单元16供给的气体可以通过所述第二连接孔1331和所述第一连接孔1311供给至所述内部容器11与所述外部容器12之间的空间A。所述探头134的一侧与所述内部容器11连通，另一侧与所述第一连接单元15连通。所述探头134贯穿所述支承构件133和所述结合构件131，且一侧与所述内部容器11连通，并且被所述支承构件133支承。存储于所述内部容器11中的流体可以通过所述汲取管14、所述探头134和所述第一连接单元15供给至所述制造系统100。在所述接头构件135的一侧结合有所述汲取管14，在另一侧结合有所述探头134。所述探头134可以通过所述接头构件135与所述汲取管14连通，并通过所述汲取管14与 所述内部容器11连通。所述汲取管14设置在所述内部容器11的内侧。所述汲取管14可以从所述内部容器11的上侧向下侧(B箭头方向)长长地形成。所述汲取管14与所述接头构件135结合，使得一侧与所述探头134连通，而另一侧位于所述内部容器11下侧。存储于所述内部容器11中的流体可从所述内部容器11的下侧向所述汲取管14的内部移动，经由所述汲取管14和所述接头构件135移动到所述探头134之后，通过所述第一连接单元15供给至所述制造系统100。参照图I和图2，现有技术涉及的流体供给装置10还包括密封件17和盖子18。当将现有技术涉及的流体供给装置10在所述内部容器11中存储流体的状态下搬运到所述制造系统100所处位置的过程中，所述密封件17和所述盖子18防止流体从所述内部容器11排出。即，现有技术涉及的流体供给装置10除了具有向所述制造系统100供给流体的功能之外，进一步为了实现存储流体的功能和搬运流体的功能，包括所述密封件17和所述盖子18。所述密封件17与所述结合构件131结合，从而进行密封使存储于所述内部容器11中的流体不向外部排出。所述探头134贯穿所述密封件17而与所述接头构件135连接并连通，由此，现有技术涉及的流体供给装置10可处于向所述制造系统100供给流体的状态。所述盖子18紧固在所述结合构件131上。所述盖子18可以通过在所述盖子18的内周表面上形成的内螺纹和在所述结合构件131的外周表面上形成的外螺纹的结合来紧固在所述结合构件131上。所述盖子18以位于所述密封件17之上的方式紧固在所述结合构件131上，从而能够防止所述密封件17因外力受损。在此，现有技术涉及的流体供给装置10存在如下问题。第一、现有技术涉及的流体供给装置10向所述制造系统100供给流体时，以使所述通道构件121朝向上侧的方式设置在所述制造系统100所具有的设置面300上。因此，现有技术涉及的流体供给装置10中，位于所述内部容器11下侧的流体通过所述汲取管14向上侧移动，并从所述内部容器11排出。即，存储于现有技术涉及的流体供给装置10中的流体向与重力方向(B箭头方向)相反的方向移动，并从所述内部容器11排出。因此，现有技术涉及的流体供给装置10将存储于所述内部容器11中的流体供给所述制造系统100之后，在所述内部容器11中仍然残留有相当多的流体，所以存在材料费损失等问题。第二、现有技术涉及的流体供给装置10，利用所述汲取管14将存储于所述内部容器11中的流体供给所述制造系统100，但是所述汲取管14是使用后需要更换或清洗的一次性消耗品。所以，现有技术涉及的流体供给装置10存在需要进行更换、清洗所述汲取管14的作业等额外作业的问题，因此存在为了进行更换、清洗所述汲取管14的作业等而发生额外费用的问题。第三、现有技术涉及的流体供给装置10，所述连接部13由相当数量的构件构成。所以现有技术涉及的流体供给装置10存在组装所述连接部13的作业复杂麻烦的问题。另夕卜，为了防止供给至所述制造系统100的流体和从所述第二连接单元16供给的气体通过构成所述连接部13的构件之间泄漏，现有技术涉及的流体供给装置10应具有与构成所述连 接部13的构件数量对应的数量的O形环(Ο-ring)等密封构件。第四、现有技术涉及的流体供给装置10，在执行向所述制造系统100供给流体的功能时，需要在结合有所述连接部13的状态下进行，而执行存储流体和搬运流体的功能时，需要在结合有所述密封件17和盖子18的状态下进行。所以，现有技术涉及的流体供给装置10存在所述制造系统100的操作人员需要进行取下所述盖子18后结合所述连接部13的额外作业的问题。第五、现有技术涉及的流体供给装置10，为了使存储于所述内部容器11中的流体向与重力方向(B箭头方向)的相反方向移动，被供给到所述内部容器11与所述外部容器12之间的空间A的气体需向所述内部容器11施加相当大的力。因此，现有技术涉及的流体供给装置10由于对所述内部容器11施加过大的力，从而存在所述内部容器11被损坏的危险。
发明内容
技术问题本发明是为了解决所述问题而提出的，本发明的目的在于提供一种流体供给装置，能够减少向制造系统供给流体之后残留在内部容器中的流体量，并省略了作为一次性消耗品的汲取管结构，提高作业便利性和作业稳定性，可降低维护成本。本发明的另一目的在于提供一种流体供给装置，能够减少向制造系统供给流体所需的构成要素的数量，从而能够减少用于防止流体和气体从各构成要素之间泄漏的密封构件的数量。本发明的又另一目的在于提供一种流体供给装置，在不必改变构成要素的情况下能够实现存储流体的功能、搬运流体的功能和向制造系统供给流体的功能，从而能够降低存储有流体的内部容器被损坏的危险。解决技术问题的方法为了实现如上所述的目的，本发明可以包括如下构件。本发明涉及的流体供给装置可以包括内部容器，用于存储制造系统所使用的流体；外部容器，所述内部容器位于其内侧；连接部，与所述外部容器结合，并设置有用于将存储于所述内部容器中的流体供给到制造系统的第一连接单元。所述外部容器可以包括通道机构，该通道机构使所述连接部和所述内部容器连通，向制造系统供给流体时，使所述通道机构沿着重力方向面向制造系统所具有的设置面。发明效果根据本发明，可获得如下效果。本发明通过减少向制造系统供给流体之后残留在内部容器中的流体量，能够消减材料费损失等，并通过省略一次性消耗品的汲取管结构，可提高作业便利性的同时降低制造成本和维护成本。
图I是现有技术涉及的流体供给装置的概略剖视图。图2是表示在现有技术涉及的流体供给装置上结合有密封件和盖子的状态的概 略剖视图。图3是本发明涉及的流体供给装置的概略立体图。图4是本发明涉及的流体供给装置的概略剖视图。图5是本发明涉及的流体供给装置中结合机构和探头机构的概略分解立体图。图6是本发明涉及的流体供给装置中结合机构和探头机构的概略分解剖视图。图7是本发明涉及的流体供给装置中连接部的概略结合立体图。图8是本发明的变形实施例涉及的流体供给装置中连接部的概略结合立体图。图9是表示本发明涉及的流体供给装置中从第二连接单元供给的气体所移动路径的概略图。图10是本发明的一实施例涉及的内部容器的概略主视图。图11是图10的G-G线剖视图。图12是本发明的另一实施例涉及的内部容器的概略主视图。图13是图12的H-H线剖视图。
具体实施例方式下面，参照附图详细说明本发明涉及的流体供给装置的优选实施例。图3是本发明涉及的流体供给装置的概略立体图，图4是本发明涉及的流体供给装置的概略剖视图，图5是本发明涉及的流体供给装置中结合机构和探头机构的概略分解立体图，图6是本发明涉及的流体供给装置中结合机构和探头机构的概略分解剖视图，图7是本发明涉及的流体供给装置中连接部的概略结合立体图，图8是本发明的变形实施例涉及的流体供给装置中连接部的概略结合立体图，图9是表示本发明涉及的流体供给装置中从第二连接单元供给的气体所移动路径的概略图，图10是本发明的一实施例涉及的内部容器的概略主视图，图11是图10的G-G线剖视图，图12是本发明的另一实施例涉及的内部容器的概略主视图，图13是图12的H-H线剖视图。参照图3和图4，本发明涉及的流体供给装置I包括内部容器2、外部容器3和连接部4。所述内部容器2中可以存储有在制造系统100中使用的流体。所述内部容器2设置在所述外部容器3的内侧。所述内部容器2与所述连接部4连接并连通，从而存储于所述内部容器2中的流体可以通过所述连接部4供给所述制造系统100。所述制造系统100可以是在半导体元件等电子组件、液晶显示装置等显示装置、生物产业、制药产业、太阳能产业等中使用的制造系统100，本发明涉及的流体供给装置I可以向所述制造系统100供给在所述制造系统100中使用的光刻胶、蚀刻剂、化学气相沉积反应剂、溶剂、晶片及工具洗漆剂材料、化学机械抛光组合物等流体。在所述外部容器3的内侧置有所述内部容器2。所述外部容器3可以由具有足够的强度的材料形成，例如金属材料、塑料材料等形成，以便能够防止所述内部容器2因外力损坏。所述外部容器3可以包括通道机构31，该通道机构31用于使所述连接部4和所述内部容器2连接并连通。所述外部容器3整体可以形成为圆柱形，可以通过所述通道机构31 一侧被开放地形成。本发明涉及的流体供给装置I向所述制造系统100供给流体时，所
述外部容器3可以设置成，使所述通道机构31朝向所述制造系统100所具有的设置面300。因此，本发明涉及的流体供给装置I向所述制造系统100供给流体时，所述通道机构31可以朝向重力方向(B箭头方向)侧。即，本发明涉及的流体供给装置1，可以使所述通道机构31朝向下侧方向(B箭头方向)侧的状态下，向所述制造系统100供给流体。因此，存储于所述内部容器2中的流体可以向重力方向(B箭头方向)侧移动，并从所述内部容器2排出，而且可以通过所述连接部4供给所述制造系统100。所以，本发明涉及的流体供给装置I可以期待如下作用效果。第一、现有技术涉及的流体供给装置，由于存储于所述内部容器中的流体向与重力方向(B箭头方向)相反的方向移动，并从所述内部容器排出，所以向所述制造系统100供给流体之后，在所述内部容器中残留有相当多的流体，从而存在材料费损失等问题。与此不同，本发明涉及的流体供给装置1，存储于所述内部容器2中的流体向重力方向(B箭头方向)移动，并从所述内部容器2排出。因此，本发明涉及的流体供给装置I与现有技术涉及的流体供给装置相比，能够减少存储于所述内部容器2中的流体供给所述制造系统100之后残留在所述内部容器2中的流体量，从而能够消减材料费损失等。第二、现有技术涉及的流体供给装置，由于存储于所述内部容器中的流体向与重力方向(B箭头方向)相反的方向移动，并从所述内部容器排出，所以需要作为一次性消耗品的所述汲取管，从而存在需要进行更换、清洗所述汲取管等额外作业和额外费用的问题。与此相反，本发明涉及的流体供给装置1，存储于所述内部容器2中的流体向重力方向(B箭头方向)移动，并从所述内部容器2排出，所以可以省略一次性消耗品的所述汲取管结构，还可以省略用于连接汲取管和所述连接部4的接头构件结构。因此，本发明涉及的流体供给装置I与现有技术涉及的流体供给装置相比，可以提高作业便利性，并且能够降低制造成本和维护费用。第三、现有技术涉及的流体供给装置，为了使存储于所述内部容器中的流体向与重力方向(B箭头方向)相反的方向侧移动，以对所述内部容器施加相当大的力进行压缩，在该过程中，存在由于对所述内部容器施加过大的力而所述内部容器被损坏的危险。如果所述内部容器被损坏，则存储于所述内部容器中的流体向所述外部容器泄漏，从而发生材料费损失等问题。另外，如果所述内部容器被损坏，则有可能向所述内部容器的内部流入异物，此时，与残留在所述内部容器中的流体量无关地需要丢弃存储于所述内部容器中的流体，所以还额外发生材料费损失等问题。例如，向所述制造系统供给规定量的液体时，如果所述内部容器被损坏，则气体流入所述内部容器中，从而存储于所述内部容器中的液体可能发生气泡(bubble)等，因此，与残留在所述内部容器中的流体量无关地需要丢弃存储于所述内部容器中的流体。与此不同，本发明涉及的流体供给装置1，存储于所述内部容器2中的流体向重力方向(B箭头方向)移动，并从所述内部容器2排出，所以不必压缩所述内部容器2，或者对所述内部容器2施加较小的力进行压缩，也能够将存储于所述内部容器2中的流体从所述内部容器2排出。因此，与现有技术涉及的流体供给装置相比，本发明涉及的流体供给装置I能够降低对所述内部容器2施加过大的力导致所述内部容器2损坏的危险。而且，通过降低所述内部容器2被损坏的危险，本发明涉及的流体供给装置I 能够防止存储于所述内部容器2中的流体向所述外部容器3泄漏，也能够防止异物流入所述内部容器2，从而能够防止异物流入而发生的所述气泡等问题。因此，本发明涉及的流体供给装置I能够防止发生材料费损失等问题，可提高作业稳定性。第四、现有技术涉及的流体供给装置如上所述的需要汲取管，如果所述汲取管被损坏，则通过所述汲取管向所述制造系统供给的流体中有可能混入异物，从而因异物混入可能发生如上所述的气泡等问题。与此相反，本发明涉及的流体供给装置1，如上所述，可以省略汲取管结构，所以从根源上杜绝汲取管发生损坏的问题。因此，本发明涉及的流体供给装置I能够防止发生材料费损失等问题，可提高作业稳定性。 第五、如图I的放大图所示，现有技术涉及的流体供给装置10中，所述内部容器11与所述通道构件121结合，此时由于所述内部容器11中存储的流体所具有的重量，所述内部容器11有可能从所述通道构件121分离。如果所述内部容器11从所述通道构件121分离，则存储于所述内部容器11中的流体可能泄漏到所述外部容器12中，也有可能异物流入所述内部容器11，因此，所述内部容器11因异物流入可能发生如上所述的气泡等问题。与此不同，本发明涉及的流体供给装置1，如图4的放大图所示，能够将存储于所述内部容器2中的流体所具有的重量分散到所述通道机构31和所述内部容器2上，而且，所述内部容器2中位于所述通道机构31外侧的部分可以被所述外部容器3支承，从而能够减少因存储于所述内部容器2中的流体所具有的重量而导致所述内部容器2从所述通道机构31分离的危险。因此，本发明涉及的流体供给装置1，能够防止因所述内部容器2从所述通道机构31分离而发生的材料费损失等问题，可提高作业稳定性。参照图3和图4，所述通道机构31可以包括第一紧固构件311、通道构件312和连接机构313。所述第一紧固构件311可以突出地形成在所述外部容器3的一侧。所述第一紧固构件311整体可以形成为中空的圆柱形。所述外部容器3可以形成为一侧通过所述紧固构件311被开放。所述第一紧固构件311上可以紧固有所述连接部4，且在所述第一紧固构件311的外表面上可以形成有外螺纹。所述通道构件312以位于所述第一紧固构件311内侧的方式结合在所述第一紧固构件311上。所述通道构件312可以包括设置孔，该设置孔在所述通道构件312的中央贯穿所述通道构件312。所述连接机构313能够以位于所述设置孔上的方式结合在所述通道构件312上。所述通道构件312可以包括连通孔3121。所述连通孔3121可贯穿所述通道构件312而形成，从而位于所述设置孔外侧。所述连通孔3121可以与所述内部容器2的外侧和所述外部容器3的内侧之间的空间A连通，可以与紧固在所述第一紧固构件311上的所述连接部4连接并连通。在所述通道构件312上也可以形成有多个所述连通孔3121。所述连接机构313可结合在所述通道构件312上以便位于所述设置孔。所述连接机构313可以包括结合孔，该结合孔在所述连接机构313的中央贯穿所述连接机构313。所述连接部4可以通过所述结合孔贯穿所述连接机构313而与所述内部容器2连通。所述连接机构313上可以结合有所述内部容器2。所述内部容器2可以结合在所述连接机构313上，并使在所述内部容器2中存储流体的内侧空间C不与所述内部容器2的外侧和所述外部容器3的内侧之间的空间A连通。所述连接机构313可以由具有一定弹性的弹性材料形成，在所述连接部4中，可以弹性密接在贯穿所述结合孔的部分，以密封所述连接机构313与所述连接部4之间。
参照图4至图6，所述连接部4和所述内部容器2连通地结合在所述外部容器3上。在所述连接部4上设置有第一连接单元5，该第一连接单元5用于将存储于所述内部容器2中的流体供给到所述制造系统100。存储于所述内部容器2中的流体可以通过所述连接部4和所述第一连接单元5供给到所述制造系统100。所述连接部4可以包括结合机构41和探头机构42。参照图4至图6，所述结合机构41可以结合在所述外部容器3上。在所述结合机构41上可以结合有所述探头机构42。所述探头机构42可以贯穿所述结合机构41而与所述内部容器2连通。为此，所述结合机构41可以包括贯穿孔411 (在图5中示出)，所述贯穿孔411贯穿所述结合机构41而形成。所述结合机构41可以包括支承构件412和第二紧固构件413。所述支承构件412可以支承所述探头机构42。所述支承构件412可以从所述结合机构41的内周表面向形成有所述贯穿孔411的方向突出，从而能够对结合在所述结合机构41上的所述探头机构42进行支承。所述探头机构42可以被所述支承构件412支承的状态下与所述结合机构41结合。所述第二紧固构件413可以紧固在所述第一紧固构件311上，由此所述结合机构41可以与所述外部容器3结合。所述第二紧固构件413可以形成在所述结合机构41的形成有所述贯穿孔411的内侧表面上。所述结合机构41可以包括所述第二紧固构件413，在所述第二紧固构件413上形成有内螺纹，该内螺纹能够与在所述第一紧固构件311上形成的外螺纹紧固。参照图4至图6，所述探头机构42的一侧可以与所述内部容器2连通，而另一侧与所述第一连接单元5连通。所述探头机构42可以结合在所述结合机构41上。所述探头机构42可以包括第一流入孔421、通道孔422和突出构件423。所述第一流入孔421可以与所述通道孔422连通地形成，并形成在所述探头机构42的一端42a上。存储于所述内部容器2中的流体可以通过所述第一流入孔421向所述通道孔422移动。所述通道孔422可以与所述第一流入孔421连通地形成在所述探头机构42的内侦U。所述通道孔422可以作为通过所述第一流入孔421流入的流体向所述第一连接单元5移动的流路而发挥作用。所述通道孔422可以沿所述探头机构42的长度方向长长地形成，整体形成为圆柱形。所述连接单元5可以与所述通道孔422连通地结合在所述探头机构42上。所述突出构件423可以被所述支承构件412支承。所述突出构件423可以向所述通道孔422的外侧方向突出地形成。所述突出构件423整体可以形成为圆盘状，但并不限定于此，只要能够插入于所述贯穿孔411内且能够被所述支承构件412支承的形状，也可以由其它形状形成。如图4和图7所示，本发明涉及的流体供给装置I可以包括支承机构S，该支承机构S与所述结合机构41结合。通过所述突出构件423的一面被所述支承构件412支承而所述突出构件423的另一面被所述支承机构S支承，所述探头机构42可以结合在所述结合机构41上。虽然未图示，所述探头机构42也可以与所述结合机构41紧固结合。此时，所述探头机构42的外周表面上可形成有外螺纹，在所述结合机构41的内周表面上可形成有内螺纹。 如上所述，本发明涉及的流体供给装置I与现有技术涉及的流体供给装置相比，能够减少构成所述连接部4的构件数量。具体地，如图I所示，现有技术涉及的流体供给装置10中，所述连接部13包括所述结合构件131、所述连接构件132、所述支承构件133、所述探头134和所述接头构件135。与此不同，如图4所示，本发明涉及的流体供给装置I中，所述连接部4包括所述结合机构41和所述探头机构42，所以与现有技术涉及的流体供给装置相比，能够减少构成所述连接部4的构件数量。因此，本发明涉及的流体供给装置I能够简单构成所述连接部4,从而能够简化组装所述连接部4的作业,能够缩减组装所述连接部4所需的时间。另外，本发明涉及的流体供给装置I能够减少构成所述连接部4的构件数量，所以与现有技术涉及的流体供给装置相比，能够减少用于密封构成所述连接部4的结构之间的如O型环(Ο-ring)那样的密封构件的数量。参照图4至图6，所述探头机构42还可以包括第二流入孔424。所述第二流入孔424形成为与所述通道孔422连通，可贯穿所述探头机构42的侧壁。存储于所述内部容器2中的流体可以通过所述第一流入孔421和所述第二流入孔424向所述通道孔422移动，经由所述通道孔422之后，可以通过所述第一连接单元5供给到所述制造系统100。所述第二流入孔424可以从所述探头机构42的一端42a向另一端42b的方向(B箭头方向)，与所述第一流入孔421隔着规定间距形成。如图4所示，所述探头机构42可以设置成使所述第一流入孔421和所述第二流入孔424位于所述内部容器2的内侧，所述第二流入孔424可以形成在从所述第一流入孔421向下侧方向(B箭头方向)距离规定间距的位置。即，所述第二流入孔424与所述第一流入孔421相比，位于更接近所述通道机构31的位置。因此，本发明涉及的流体供给装置I能够进一步减少将存储于所述内部容器2中的流体供给所述制造系统100之后残留在所述内部容器2中的流体量。对其详细说明如下。随着存储于所述内部容器2中的流体供给至所述制造系统100，存储于所述内部容器2中的流体剩至低于所述第一流入孔421位置的量时，残留在所述内部容器2中的流体很难流入到所述第一流入孔41。此时，残留在所述内部容器2中的流体可以通过所述第二流入孔424向所述通道孔422移动，因此，本发明涉及的流体供给装置I能够进一步减少残留在所述内部容器2中的流体量。所述探头机构42可以包括多个所述第二流入孔424，所述第二流入孔424可以沿着所述探头机构42的圆周方向彼此隔开规定间距而形成。在图6中示出了所述探头机构42包括三个第二流入孔424的情况，但是所述探头机构42也可以包括两个以下的第二流入孔424，也可以包括四个以上的第二流入孔424。参照图6，所述第二流入孔424可以倾斜形成为，与所述内部容器2 (在图4中示出)连通的入口 424a比与所述通道孔422连通的出口 424b更接近于所述探头机构42 —端42a。由此，本发明涉及的流体供给装置I (在图4中示出)，能够使存储于所述内部容器2 (在图4中示出)中的流体通过所述第二流入孔424容易移动到所述通道孔422。参照图4和图7，所述第一连接单元5的一侧与所述探头机构42连接，而另一侧与所述制造系统100连接。所述第一连接单元5可以包括第一连接主体51、开闭构件52和弹性构件53。所述第一连接主体51可以包括排出孔511，该排出孔511用于将从所述内部容器 2排出的流体供给至所述制造系统100。存储于所述内部容器2中的流体可以通过所述第一流入孔421和所述第二流入孔424向所述通道孔422移动，且经由所述通道孔422和所述排出孔511供给至所述制造系统100。所述开闭构件52可以选择性地开闭所述排出孔511。所述开闭构件52结合在所述第一连接主体51上，以能够在闭合所述排出孔511的第一位置E (在图7中示出)和开放所述排出孔511的第二位置F (在图7中示出)之间移动。当所述开闭构件52位于所述第一位置E时，如图7的放大图所示，所述开闭构件52可以与所述第一连接主体51接触，从而闭合所述排出孔511。由此，所述开闭构件52能够阻止存储于所述内部容器2中的流体向所述制造系统100供给。当所述开闭构件52位于所述第二位置F时，所述开闭构件52从所述第一连接主体51分开，从而开放所述排出孔511。由此，所述开闭构件52能够使存储于所述内部容器2中的流体被供给至所述制造系统100。所述弹性构件53对所述开闭构件52提供使所述开闭构件52开闭所述排出孔511的方向(箭头D方向)的弹力。因此，对所述开闭构件52无外力作用时，所述开闭构件52可以通过所述弹性构件53位于闭合所述排出孔511的第一位置E。虽然未图示，所述开闭构件52可以通过所述制造系统100上所具有的连接装置来推压移动，由此所述开闭构件52从所述第一连接主体51分开，从而位于开放所述排出孔511的所述第二位置F。此时，所述弹性构件53可被弹性压缩。根据上述第一连接单元5，本发明涉及的流体供给装置I在未变更构成要素的情况下也能够实现存储流体的功能、搬运流体的功能和向所述制造系统100供给流体的功能，从而能够提高作业便利性。对其更具体说明如下。首先，现有技术涉及的流体供给装置，为了实现存储流体的功能和搬运流体的功能，需要在流体供给装置上结合有密封件和盖子，而且，为了实现向所述制造系统100供给流体的功能，需要在流体供给装置上结合有连接部。所以，流体供给装置的供给者向所述内部容器填充流体之后，将密封件和盖子结合在流体供给装置上之后，搬运到所述制造系统100所处的位置，则制造系统100的操作人员需要进行额外作业，即、从流体供给装置取下盖子，之后将连接部和第一连接单元结合在流体供给装置上，由此现有技术涉及的流体供给装置处于能够向所述制造系统100供给流体的状态。
与此不同，本发明涉及的流体供给装置1，在未变更构成要素的情况下也能够实现存储流体的功能、搬运流体的功能和向所述制造系统100供给流体的功能。所以，流体供给装置的供给者向所述内部容器2填充流体之后，将设置有所述第一连接单元5的所述连接部4结合在所述流体供给装置I上之后，搬运到所述制造系统100所处的位置，由制造系统100的操作人员将所述制造系统100上所具有的连接装置与所述第一连接单元5连接，由此本发明涉及的流体供给装置I处于能够向所述制造系统100供给流体的状态。本发明涉及的流体供给装置I与现有技术涉及的流体供给装置相比，能够提高作业便利性。可以利用快速接头(Quick Connector)作为所述第一连接单元5和所述制造系统100上所具有的连接装置。所述快速接头可以由母接头和公接头构成。所述母接头和公接头结合时彼此可连通，分开时分别处于闭合状态。如图7所示，可以使用所述公接头作为所述第一连接单元5。此时，可以使用所述母接头作为所述制造系统100上所具有的连接装置。如图8所示，可以使用所述母接头作为所述第一连接单元5。此时，作为所述制造系统100上所具有的连接装置，可以使用所述公接头。
参照图9，在所述连接部4上可以设置有第二连接单元6，该第二连接单元6为了向所述内部容器2施加力而供给气体。在图9中用虚线表示的箭头表示从第二连接单元供给的气体的移动路径。所述第二连接单元6可以连接于气体供给源200。从所述气体供给源200供给的气体可以通过所述第二连接单元6和所述连接部4供给至所述内部容器2的外侧与所述外部容器3的内侧之间的空间A，因此，可以通过对所述内部容器2施加力来压缩所述内部容器2。随着所述内部容器2被压缩，存储于所述内部容器2中的流体容易向所述探头机构42移动。为了使从所述第二连接单元6供给的气体通过所述连接部4被供给至所述内部容器2的外侧与所述外部容器3的内侧之间的空间A，所述结合机构41和所述探头机构42可以包括如下结构。所述结合机构41可以包括第一连接孔414，该第一连接孔414与所述内部容器2和所述外部容器3之间的空间A连通。由此，从所述第二连接单元6供给的气体可以通过所述连接部4向所述内部容器2和所述外部容器3之间的空间A移动。对其详细说明如下。如图6所示，在所述结合机构41上形成的贯穿孔411可以包括第一设置空间41 la、第二设置空间41 Ib和第三设置空间411c，在该第一设置空间41 Ia上形成有所述支承构件412，在该第二设置空间411b上形成有所述第二紧固构件413，该第三设置空间411c形成在所述第一设置空间411a和所述第二设置空间411b之间。参照图6和图9，从所述第二连接单元6供给的气体流入到所述第一设置空间411a，但是由于设置在所述探头机构42、所述结合机构41和所述通道机构31之间的密封构件，因此不能通过所述第三设置空间411c (在图6中示出)移动到所述第二设置空间411b。因此，为了使自所述第二连接单元6供给的气体从所述第一设置空间411a移动到所述第二设置空间411b，所述结合机构41可以包括第一连接孔414，该第一连接孔414分别与所述第一设置空间411a和所述第二设置空间411b连通。所述结合机构41也可以包括多个所述第一连接孔414。从所述第二连接单元6供给的气体经由所述第一设置空间411a、所述第一连接孔414和所述第二设置空间411b之后，通过在所述通道构件312上形成的连通孔3121向所述内部容器2和所述外部容器3之间的空间A供给。
参照图6和图9，所述探头机构42可以包括第二连接孔425，该第二连接孔425与所述第二连接单元6和所述第一连接孔414连通。所述第二连接孔425可以贯穿所述突出构件423而形成。所述第二连接孔425的一侧可以与所述第二连接单元6连通，而另一侧与所述第一设置空间411a连通。如图9的虚线表示的箭头，从所述第二连接单元6供给的气体可经由所述第二连接孔425、所述第一设置空间411a、所述第一连接孔414、所述第二设置空间411b和所述连通孔3121之后，向所述内部容器2和所述外部容器3之间的空间A供给。虽然未图示，所述探头机构42也可以包括多个所述第二连接孔425。下面，参照附图进一步详细地说明本发明涉及的内部容器的优选实施例。参照图4和图9，所述内部容器2可用于存储在所述制造系统100中使用的流体，并随着流体填充其内部而可膨胀。所述内部容器2可通过所述第二连接单元6供给的气体而被压缩而压扁，从而存储于所述内部容器2中的流体能够容易供给到所述制造系统100。参照图4、图10和图11，所述内部容器2可以包括第一容器构件21、第二容器构 件22和密封部23。在所述第一容器构件21和第二容器构件22之间可以形成有存储部C，该存储部C用来存储在所述制造系统100中使用的流体。所述第一容器构件21可以由流体填充所述存储部C时能够膨胀并通过所述第二连接单元6供给的气体被压缩的材料形成。例如，所述第一容器构件21可以由聚乙烯(PE Polyethylene)形成。所述第一容器构件21整体可以形成为矩形。所述第二容器构件22可以由流体填充所述存储部C时能够膨胀而通过所述第二连接单元6供给的气体被压缩的材料形成。例如，所述第二容器构件22可以由聚乙烯(PE Polyethylene)形成。所述第二容器构件22整体也可以形成为矩形。所述密封部23可用于结合所述第一容器构件21和第二容器构件22，从而在所述第一容器构件21和第二容器构件22之间形成所述存储部C。所述密封部23在使所述第一容器构件21和第二容器构件22彼此叠加的状态下，沿所述存储部C的外周面进行加热形成。所述存储部C可以通过所述密封部23进行密封。所述内部容器2可以包括注入口 24。所述注入口 24可以形成为，贯穿所述第一容器构件21或所述第二容器构件22中的任一个，并与所述存储部C连通。所述内部容器2可以通过所述注入口 24与所述连接机构313 (在图4中示出)结合。所述探头机构42 (在图4中示出)可以通过所述注入口 24插入到所述内部容器2的内部，并且可以与所述存储部C连通。在所述制造系统100中使用的流体可以通过所述注入口 24填充到所述存储部C0在此，如图10所示，本发明的一实施例涉及的内部容器2可以包括矩形形状形成的所述密封部23。由此，所述存储部C (在图11中示出)可以形成为具有四个边。这种本发明的一实施例涉及的内部容器2存在如下问题。第一、当在所述制造系统100中使用的流体填充满所述存储部C时，所述内部容器2处于膨胀状态。随着所述内部容器2膨胀，本发明的一实施例涉及的内部容器2，因所述存储部C所具有的四个角被施加相当大的力，所以存在被损坏的危险。第二、所述内部容器2由于所述第二连接单元6供给的气体而被压缩压扁，从而能够使存储于所述存储部C中的流体容易供给到所述制造系统100。本发明涉及的流体供给装置I可以向所述制造系统100供给规定量的液体，但是随着所述内部容器2被压缩而压扁，残留在所述存储部C的四个角部分的气体产生气泡等。如果产生气泡，与残留在所述存储部C中的液体量无关地需要丢弃存储于所述内部容器2中的液体，所以本发明的一实施例涉及的内部容器2，存在发生材料费损失等问题。参照图12和图13，为了解决如上所述的问题，本发明的另一实施例涉及的内部容器2可以包括具有N (N是大于4的整数)个边的所述存储部C。即，所述密封部23可以形成为，所述存储部C具有5个以上的边。所以，本发明的另一实施例涉及的内部容器2可达到如下的作用效果。第一、本发明的另一实施例涉及的内部容器2与上述的一实施例相比，所述存储部C具有更多个边。即，本发明的另一实施例涉及的内容容器2与上述的一实施例相比，所述存储部C具有更多个角。因此，本发明的另一实施例涉及的内部容器2，能够将由存储于所述存储部C中的流体所施加的力分散到更多个的角，从而能够降低被损坏的危险。
第二、本发明的另一实施例涉及的内部容器2与上述的一实施例相比，能够增大所述存储部C所具有的边之间的夹角(included angle)。上述一实施例中,所述存储部C具有4个边，所以各边具有90°的夹角23a (在图10中示出)，但是本发明的另一实施例涉及的内部容器2，因所述存储部C具有更多个边，所以各边具有大于90°的夹角23b (在图12中示出)。例如，如图12所示，当所述存储部C具有8个边时，各边具有135°的夹角23b。因此，本发明的另一实施例涉及的内部容器2，能够防止在所述存储部C所具有的角部分残留气体，从而能够防止通过所述第二连接单元6供给的气体被压缩而压扁的过程中产生气泡等，由此能够防止发生材料费损失等。图12是示出了本发明的另一实施例涉及的内部容器2包括八角形形状形成的所述密封部23的情况，但并不限定于此，所述密封部23也可以形成为，所述存储部C具有5个以上8个以下的边，或者所述存储部C具有9个以上的边。而且，图12中示出了所述内部容器2具有八角形形状形成的第一容器构件21 (在图13中示出)和第二容器构件22 (在图13中示出)的情况，但并不限定于此，所述第一容器构件21 (在图13中示出)和第二容器构件22 (在图13中示出)也可以形成为与所述存储部C相对应的形状，也可以与所述存储部C的形状无关地，形成为矩形形状等其它形状。参照图13，本发明涉及的内部容器2还可以包括如下结构。所述第一容器构件21可以包括第一外部层211和第一内部层212，该第一外部层211形成所述内部容器2的外侧一表面，该第一内部层212位于所述第一外部层211的内侦U。在所述第一外部层211与所述第一内部层212之间可形成有第一辅助存储部21a。所述第二容器构件22可以包括第二外部层221和第二内部层222，该第二外部层221形成所述内部容器2外侧的另一表面，该第二内部层222位于所述第二外部层221的内侦U。在所述第二外部层221与所述第二内部层222之间可形成有第二辅助存储部22a。所述存储部C可以形成在所述第一内部层212与所述第二内部层222之间。因此，本发明涉及的内部容器2，即使所述第一内部层212或所述第二内部层222被损坏，也能够通过所述第一外部层211和所述第二外部层221来防止存储于所述存储部C中的流体向外部泄漏。而且，本发明涉及的内部容器2，即使所述第一外部层211和所述第二外部层221被损坏，也能够通过所述第一内部层212和所述第二内部层222来防止异物等流入所述存储部C。所以，本发明涉及的流体供给装置1，能够双重防止存储于所述存储部C的流体向所述内部容器2的外部泄漏或异物等流入所述存储部C，从而能够防止发生材料费损失等，可提高作业稳定性。虽然未图不，所述第一外部层211、第一内部层212、第二外部层221和第二内部层222分别可以由结合多个层的多层结构形成。例如，所述第一外部层211和所述第二外部层221可以由三个层结合的三层结构形成，所述第一内部层212和所述第二内部层222可以由五个层结合的五层结构形成。因此，本发明涉及的流体供给装置I可以提高所述内部容器2所具有的强度，从而能够降低所述内部容器2因外力损坏的危险。另外，本发明涉及的流体供给装置1，由于具有多层结构形成的所述第一外部层211、第一内部层212、第二外部层221和第二内部层222，能够降低所述内部容器2所具有的透湿性，从而能够防止流体从所述内部容器2泄漏，也能够防止异物等渗透至所述内部容器2。所述第一外部层211和所述第二外部层221可以形成为，将聚乙烯(PE)材质的多个薄膜结合而成的多层结构，所述第一内部层212和所述第二内部层222可以形成为，将聚乙烯(PE)材质的多层薄膜和尼
龙(nylon)材质的多层薄膜结合而成的多层结构。虽然未图示，本发明涉及的内部容器2还可以包括辅助层。所述辅助层可以位于所述第一外部层211与所述第一内部层212之间，也可以位于所述第二外部层221和所述第二内部层222之间。所以，本发明涉及的流体供给装置I能够双重防止存储于所述存储部C的流体向所述内部容器2的外部泄漏或异物等流入所述存储部C，从而能够防止发生材料费损失等，可进一步提高作业稳定性。参照图3和图4，本发明涉及的流体供给装置I可以包括第一壳体7和第二壳体8。所述第一壳体7以使所述连接部4位于其内侧的方式结合在所述外部容器3上。所述第一壳体7也可以与所述外部容器3 —体形成。所述第一壳体7可以包括第一支承面71、连接凹槽72和第一把持孔73。所述第一支承面71可以被所述制造系统100所具有的设置面300支承。所述第一支承面71被所述制造系统100所具有的设置面300支承时，本发明涉及的流体供给装置I设置成使所述通道机构31位于重力方向(B箭头方向)侧。即，本发明涉及的流体供给装置I能够设置成使存储于所述内部容器2中的流体向重力方向(B箭头方向)移动并从所述内部容器2排出的形态。所述连接凹槽72可以贯穿所述第一壳体7的侧壁而形成。在所述第一支承面71被所述制造系统100所具有的设置面300支承的状态下，所述第一连接单元5通过所述连接凹槽72与所述制造系统100所具有的连接装置结合。所述第一把持孔73可以贯穿所述第一壳体7的侧壁而形成。所述第一把持孔73在与形成有所述连接凹槽72的位置不同的位置贯穿所述第一壳体7的侧壁。本发明涉及的流体供给装置I可以通过所述第一把持孔73容易搬运。所述第一壳体7也可以包括多个所述第一把持孔73，所述第一把持孔73可以沿所述第一壳体7的圆周方向彼此隔开规定间距形成。所述第二壳体8与所述外部容器3结合。在所述外部容器3的一侧可结合有所述第一壳体7，在另一侧结合有所述第二壳体8。所述第二壳体8也可以与所述外部容器3 —体形成。所述第二壳体8可以包括第二支承面81和第二把持孔82。
所述第二支承面81可以被地面(未图示)支承。本发明涉及的流体供给装置1，在执行向所述制造系统100供给流体的功能时，如图4所示，所述第一支承面71被所述制造系统100所具有的设置面300支承，但在其他情况下，所述第二支承面81也可以被地面支承。例如，搬运本发明涉及的流体供给装置I时，所述第二支承面81也可以被地面支承。所述第二把持孔82可以贯穿所述第二壳体8的侧壁而形成。本发明涉及的流体供给装置I可以通过所述第二把持孔82容易搬运。所述第二壳体8也可以包括多个所述第二把持孔82，所述第二把持孔82可以沿所述第二壳体8的圆周方向彼此隔开规定间距形成。
以上说明的本发明并不仅限于上述的实施例和附图，对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不超出本发明的技术思想的范围内，可以进行各种替换、变形和变更。
权利要求
1.一种流体供给装置，其特征在于，包括 内部容器，用于存储制造系统中所使用的流体； 外部容器，在其内侧设置有所述内部容器； 连接部，与所述外部容器结合，并设置有用于将存储于所述内部容器中的流体供给到制造系统的第一连接单元；以及 第一壳体，包括第一支承面，该第一支承面被制造系统所具有的设置面支承； 所述外部容器包括通道机构，该通道机构将所述连接部和所述内部容器连通，当向制造系统供给流体时，使所述通道机构沿着重力方向面向制造系统所具有的设置面， 所述第一壳体以所述连接部位于内侧的方式与上述外部容器结合。
2.根据权利要求I所述的流体供给装置，其特征在于， 所述连接部包括，与所述外部容器结合的结合机构以及与所述结合机构结合的探头机构； 所述探头机构包括第一流入孔，使存储于所述内部容器中的流体流入；通道孔，与所述第一流入孔连通，用于使通过所述第一流入孔流入的流体向所述第一连接单元移动； 所述第一连接单元以与所述通道孔连通的方式结合在所述探头机构上。
3.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 所述结合机构包括用于支承所述探头机构的支承构件， 所述探头机构包括用于被所述支承构件支承的突出构件。
4.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 所述通道机构包括用于紧固在所述结合机构的第一紧固构件， 所述结合机构包括用于紧固在所述第一紧固构件的第二紧固构件。
5.根据权利要求2所述的流体供给装置，其特征在于， 在所述连接部设置有第二连接单元，通过该第二连接单元供给气体以向所述内部容器施力； 所述结合机构包括第一连接孔，该第一连接孔与所述内部容器和所述外部容器之间的空间连通，从而将通过所述第二连接单元供给的气体供给到所述内部容器和所述外部容器之间的空间； 所述探头机构包括第二连接孔，该第二连接孔分别与所述第二连接单元和所述第一连接孔连通。
6.根据权利要求I所述的流体供给装置，其特征在于，所述第一连接单元包括 第一连接主体，形成有排出孔，该排出孔用于向制造系统供给从所述内部容器排出的流体； 开闭构件，与所述第一连接主体结合，并且能够在闭合所述排出孔的第一位置和开放所述排出孔的第二位置之间移动； 弹性构件，对所述开闭构件提供向闭合所述排出孔的方向的弹力。
7.根据权利要求I所述的流体供给装置，其特征在于， 所述连接部包括探头机构，该探头机构的一侧与所述内部容器连通，而另一侧与所述第一连接单元连通； 所述探头机构包括通道孔，用于使存储于所述内部容器中的流体向所述第一连接单元移动；第一流入孔，与所述通道孔连通，用于使存储于所述内部容器中的流体流入；第二流入孔，与所述通道孔连通，用于使存储于所述内部容器中的流体流入； 所述第一流入孔形成在所述探头机构的一端上，所述第二流入孔形成在从所述探头机构的一端向另一端的方向上并与所述第一流入孔隔开的位置上。
8.根据权利要求7所述的流体供给装置，其特征在于， 所述探头机构被设置成，使所述第二流入孔位于所述内部容器的内侧， 所述第二流入孔倾斜形成为，与所述内部容器连通的入口比与所述通道孔连通的出口更接近于所述探头机构的一端。
9.根据权利要求I所述的流体供给装置，其特征在于， 所述内部容器包括第一容器构件、第二容器构件以及密封部，该密封部使所述第一容器构件和所述第二容器构件结合，并在所述第一容器构件和所述第二容器构件之间形成用于存储制造系统所使用的流体的存储部； 所述密封部形成为，使所述存储部具有N个边，其中N是大于4的整数。
10.根据权利要求9所述的流体供给装置，其特征在于， 所述第一容器构件包括第一外部层和第一内部层，该第一外部层形成所述内部容器的外侧的一表面，该第一内部层位于所述第一外部层的内侧； 所述第二容器构件包括第二外部层和第二内部层，该第二外部层形成所述内部容器的外侧的另一表面，该第二内部层位于所述第二外部层的内侧； 所述存储部形成在所述第一内部层和所述第二内部层之间。
全文摘要
本发明涉及一种流体供给装置，其包括内部容器，用于存储在制造系统中使用的流体；外部容器，在内侧设置有所述内部容器；连接部，与所述外部容器结合，并设置有用于将存储于所述内部容器中的流体供给到制造系统的第一连接单元；所述外部容器包括通道机构，该通道机构将所述连接部和所述内部容器连通，当向制造系统供给流体时，使所述通道机构朝向重力方向并面向制造系统所具有的设置面上。本发明能够减少向制造系统供给流体之后残留在内部容器中的流体量，从而能够消减材料费损失等，并通过省略作为一次性消耗品的汲取管结构，提高作业便利性和作业稳定性的同时，可降低制造成本和维护成本。
文档编号H01L21/205GK102844837SQ201180018944
公开日2012年12月26日 申请日期2011年4月11日 优先权日2010年4月12日
发明者李普煐 申请人:Lds公司