专利名称：半导体器件的制备方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体器件的制备方法，并且更具体而言，涉及一种包括金属硅化物层的半导体器件的制备方法。
背景技术：
近来，根据半导体行业的发展和用户的需求，电子仪器需要更高的集成化和性能化，因此作为电子仪器核心部件的半导体器件也需要高集成化和性能化。然而，很难实现高集成化的半导体器件的精细结构。例如，如果降低设计规则以实现精细结构，就难以获得所需的特性，因为导电图案(pattern)的电阻增加。
发明内容
抟术问是页本发明的一个目的在于通过提供包括金属硅化物层的半导体器件的制备方法来解决上述常见问题。本发明的其他目的从以下详细描述和附图而变得更清晰。
_7] 技术方案根据一个实施例，半导体器件的制备方法包括如下步骤:在形成有多晶硅图案的基底上形成绝缘层使得多晶硅图案露出；相对于绝缘层，在露出的多晶硅图案上选择性地形成硅晶种(seed)层；在形成有所述硅晶种层的基底上形成金属层；以及通过对形成有金属层的基底进行热处理，形成金属硅化物层。在形成所述硅晶种层的步骤之前，所述制备方法还可以包括:用含有氢基(hydrogen radical)的溶液对形成有所述绝缘层的基底进行预处理。在所述进行预处理的步骤中，可以将氢原子键合在露出于基底上的绝缘层和多晶硅图案上。含有氢基的溶液可以为选自HF、稀释的氢氟酸(DHF, diluted hydrogenfluoride)、缓冲的氧化物刻蚀剂(BOE, Buffered Oxide Etchant)溶液中的一种或多种溶液。形成所述绝缘层的步骤可以包括如下步骤:在基底上形成多晶硅图案；在所述基底上形成绝缘材料以覆盖所述多晶硅图案；以及移除部分所述绝缘材料以使所述多晶硅图
案露出。在形成所述硅晶种层的步骤中，可以向装载有所述基底的腔室内部提供选自SiH4、Si2H6、Si3H8 和 Si4Hltl 中的一种或多种原料气(source gas)。在形成所述硅晶种层的步骤中，可以将所述基底保持在500°C至650°C的温度。在形成所述娃晶种层的步骤中，腔室内部的压力可以保持为5Torr至20Torr。所述金属层可以为选自T1、Co和Ni中的一种或多种金属。
在形成所述金属硅化物层的步骤之后，所述制备方法还可以包括移除残留的金属层的步骤。所述绝缘层可以由氧化物或氮化物形成。在形成所述硅晶种层的步骤中，在键合在所述绝缘层和多晶硅图案上的氢原子中，可以用硅原子选择性地仅取代键合在所述多晶硅上的氢原子。在形成所述硅晶种层的步骤中，可以通过利用氢和氧或氢和氮、与氢和硅之间的键能之差，在所述露出的多晶硅图案上选择性地形成所述硅晶种层。有益.效果根据本发明一个实施例的半导体器件的制备方法，可以使电压损失最小化以使半导体器件具有稳定的特性。特别地，当半导体器件是包括闪存单元(flash cell)的非易失性存储器件，则其通过将具有最小功率降(power down)的电压提供至闪存单元而使得能够具有稳定的数据编程/擦除特性。为此，形成金属硅化物层使得其更多地覆盖多晶硅图案的上面，由此更能够使由金属硅化物层和多晶硅图案制备的导电图案中可能产生的功率降最小化。
图1是表示本发明一个实施例的半导体器件的制备方法的流程图。图2是示意性的剖视图，其表示用于制备本发明一个实施例的半导体器件的半导体制备装铬。图3是剖视图，其表示本发明一个实施例的多晶硅图案形成的步骤。图4是剖视图，其表示本发明一个实施例的绝缘材料形成的步骤。图5是剖视图，其表示本发明一个实施例的绝缘层形成的步骤。图6是剖视图，其表示预处理基底的步骤，在该基底上形成有本发明一个实施例的绝缘层。图7是表示预处理的基底断面的概念图，在该基底上形成有本发明一个实施例的
绝缘层。图8是剖视图，其表示形成本发明一个实施例的硅晶种层的步骤。图9是概念图，其表示形成有本发明一个实施例的硅晶种层的断面。图10是剖视图，其表示形成本发明一个实施例的金属层的步骤。图11是剖视图，其表示形成本发明一个实施例的金属硅化物层的步骤。图12是剖视图，其表示移除本发明一个实施例的残留金属层的步骤。实施方式下面，参考附图详细描述根据本发明技术实质的实施例。但是，本发明可以以多种不同的形式实施并且不应理解为限制于本发明阐述的实施例；而是，提供这些实施例以使本公开更充分和完全，并且将本发明的概念完全地传达至本领域技术人员。在附图中，相同的参考数字始终表示相同的元件。此外，在附图中的各种元件和区域均为示意性地绘制。因此，本发明不限于附图中所绘的相对尺寸或间隔。图1是表示本发明一个实施例的半导体器件的制备方法的流程图。参考图1，准备基底(SlO)。上述基底还可以包括用于形成半导体器件的个别结构元件。例如，在上述基底上可以包括阱区(well region)、被器件分离膜限定的活化区域等。多晶硅图案在基底上形成(SllO)。其他层可以在上述多晶硅图案的下部形成以形成图案。即包括多晶硅的多层结构图案可以在上述基底上形成。多层结构的图案例如可以包括隧道(tunneling)绝缘层图案、电荷储存层图案、阻挡绝缘层图案，和多晶硅图案。为形成上述多层结构的图案，将隧道绝缘层、电荷储存层、阻挡绝缘层和多晶硅层依次层叠在基底上，然后可以进行光刻过程和刻蚀过程。在上述基底上形成绝缘层以使上述多晶硅图案露出(S120)。为露出多晶硅图案，形成覆盖多晶硅图案的绝缘材料并且然后，移除某些绝缘材料以使多晶硅图案露出。在该情况下，绝缘材料可以保留以使其他层即基底、阻挡绝缘层图案等除多晶硅图案之外的层不露出。随后，将形成有用于露出上述多晶硅图案的绝缘层的基底用含有氢基的溶液预处理(S130)。上述含有氢基的溶液可以是HF溶液、稀释的氟化氢(DHF)溶液或缓冲的氧化物刻蚀剂(BOE)溶液。如果用含有上述氢基的溶液进行预处理，则氢原子可以键合在上述多晶硅图案和上述绝缘层上。随后，在上述多晶硅图案上形成硅晶种层(S140)。为形成上述硅晶种层，可以只将键合在多晶硅图案的氢原子选择性地被硅原子取代。在形成有上述娃晶种层的基底上形成金属层(S150)。金属层例如可以由耐火金属形成。通过对形成有金属层的基底进行热处理，将上述金属层与上述硅晶种层和上述多晶硅图案进行反应，由此形成金属硅化物层(S160)。随后，转变为金属硅化物层后移除残留金属层(S170)。结果，在上述多晶硅图案上形成上述金属硅化物层。随后，通过选择性的二次热处理，能够使上述金属硅化物层更致密化(S180)。图2是示意性的剖视图，其表示用于制备本发明一个实施例的半导体器件的半导体制备装铬。参考图2，在半导体制备装铬10的腔室11中形成有用于导入反应气体的导入口
12。通过导入口 12导入的反应气体，其可以通过喷头13而喷射至腔室11内部。将作为沉积目标的基底100铬于卡盘14上，该卡盘14通过卡盘支座16支撑。如果需要，卡盘14通过对基底100加热可以使基底100保持在规定的温度。沉积通过该装铬进行，并且反应气体可以通过排出口 17排出。半导体制备装铬10可以用于图1中所述的晶种层的形成(S140)和金属层的形成(S150)。或者，半导体制备装铬10可以用于图1中所述的晶种层的形成(S140)。例如半导体制备装络10可以为化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition)装铬。图3是剖视图，其表示本发明一个实施例的多晶硅图案形成的步骤。参考图3，在基底100上形成多晶硅图案240。例如，基底100可以包括半导体基底例如硅或化合物半导体晶片。或者，基底100可以包括不同于半导体的基底材料等，例如玻璃、金属、陶瓷和石英。在基底100上与多晶硅图案240 —起形成隧道绝缘层图案210、电荷储存层图案220、和阻挡绝缘层图案230使得这些配铬在基底100和多晶硅图案240之间，由此能够形成多层结构200。例如隧道绝缘层图案210可以为二氧化硅膜、具有高介电常数的绝缘膜、具有高介电常数的金属氧化物膜或其组合。在电荷储存层图案220中待储存的电荷，其可以从基底100通过隧道绝缘层图案210转移。在该情况下，在电荷储存层图案220中待储存的电荷可以通过热电子或F-N隧道而通过隧道绝缘层图案210。电荷储存层图案220可以为导体或捕获型(trap-type)绝缘层。如果电荷储存层图案220是导体，则随后待形成的半导体器件可以为通常的闪存。如果电荷储存层图案为导体，则电荷储存层图案220可以由多晶硅形成。如果电荷储存层图案220为捕获型绝缘层，则随后待形成的半导体器件可以为电荷捕获闪存(CTF，Charge Trap Flash)。如果电荷储存层图案为捕获型绝缘层，则电荷储存层图案220可以包括氮化物。阻挡绝缘层图案230可以阻挡电荷使得储存在电荷储存层图案220中的电荷不流出至多晶硅图案240。阻挡绝缘层图案230可以考虑与隧道绝缘层图案210的电容器偶合和绝缘特性而确定其材料和厚度。阻挡绝缘层图案230可以为具有高介电常数的绝缘膜、二氧化硅膜、具有高介电常数的金属氧化物膜、或其组合。如果随后待形成的半导体器件为非易失性存储器件，则多晶硅图案240可以起到门电极的作用。为形成隧道绝缘层图案210、电荷储存层图案220、阻挡绝缘层图案230、和多晶硅图案240，可以在形成隧道绝缘层图案(未图示)、电荷储存层(未图示)、阻挡绝缘层(未图示)、和多晶硅层(未图示)之后进行光刻过程和刻蚀过程。图4是剖面图，其表示形成本发明一个实施例的绝缘材料的步骤。参考图4，在形成有多晶硅图案240的基底100上形成绝缘材料300a，使得其完全覆盖多晶硅图案240。例如绝缘材料300a可以形成为二氧化硅膜或氮化硅膜。图5是剖视图，其表示本发明一个实施例的绝缘层形成的步骤。参考图4和图5，移除部分绝缘材料300a以形成绝缘层300。为形成绝缘层300，可以在形成绝缘材料300a后进行回蚀(etch-back)过程。或者，为形成绝缘层300，可以在形成绝缘材料300a后进行平面化过程例如化学机械抛光(CMP, Chemical MechanicalPolishing)。如果进行回蚀过程以形成绝缘层300，则绝缘层300可以根据位铬具有不同的厚度。例如绝缘层300可以形成为:与多层结构200相邻的部分与多层结构200之间的中间部分相比更厚。此外，多晶硅图案240的顶部和侧面的一部分可以从绝缘层300中露出。如果进行化学机械抛光(CMP)以形成绝缘层300，则绝缘层300可以相对于基底100的顶部具有相同的厚度(虽未图示)。例如绝缘层300可以具有与多层结构200相同或类似的厚度。此外，仅多晶硅图案240的顶部可以从绝缘层300中露出。图6是剖视图，其表示预处理基底的步骤，在该基底上形成有本发明一个实施例的绝缘层。参考图6，将形成有绝缘层300的基底100用含有氢基的溶液预处理。上述含有氢基的溶液可以为HF、DHF或BOE溶液。图7是表示预处理的基底断面的概念图，在该基底上形成有本发明一个实施例的
绝缘层。
参考图7，如果将形成有绝缘层300而使得多晶硅图案240露出的基底用含有氢自由基的溶液预处理使得多晶硅图案240露出，氢原子(H)键合在多晶硅图案240和绝缘层300露出的表面上。S卩，氢原子(H)键合是为了使在多晶硅图案240包含的硅原子(Si)中露出在表面的那些满足四价键。此外，绝缘层300包含的氧原子(O)或氮原子(N)中露出在表面的那些与氢原子(H)键合。如上所述，可以将在露出的表面上键合氢原子(H)称为H基钝化处理。为使氢原子(H)键合在多晶硅图案240和绝缘层300的露出的表面，可以通过含有氢基的溶液来移除多晶硅240和绝缘层300的一部分。或者，在多晶硅图案240上形成的自然氧化物膜可以通过含有氢基的溶液而移除。图8是剖视图，其表示形成本发明一个实施例的硅晶种层的步骤。参考图8，在从绝缘层300中露出的多晶硅图案240的表面上选择性地形成硅晶种层400。S卩，硅晶种层400在多晶硅图案240的露出的表面上形成，但是并没有在绝缘层300的露出的表面上形成。然而，尽管可以在与多晶硅图案240相邻的绝缘层300的表面上形成部分硅晶种层400，但这不过是在多晶硅图案240上形成的晶种层400覆盖绝缘层300表面的一部分，并且其可以不是从绝缘层300的表面形成的。如图6所述的预处理可以在硅晶种层400前的约两个小时内进行以使键合的氢原子(H)可以保持，该预处理在形成有绝缘层300的基底100上用含有氢基的溶液进行。图9是概念图，其表示形成有本发明一个实施例的硅晶种层的截面。参考图7和图9，键合在多晶硅图案240上的氢原子⑶被硅原子(Si)取代，由此在多晶硅图案240上形成硅晶种层400。如图所示，硅晶种层400可以包含:取代键合在多晶娃图案240上的氢原子(H)的娃原子(Si)和在取代氢原子(H)的娃原子(Si)上的娃原子(未图不)。硅晶种层400可以只形成在多晶硅图案240上，而不在绝缘层300上形成。S卩，如果形成娃晶种层400,则键合在多晶娃图案240上的氢原子(H)可以被娃原子(Si)取代,但是键合在绝缘层300上的氢原子(H)可以保持原样。因此，硅晶种层400可以相对于绝缘层300选择性地形成在多晶硅图案240上。例如，绝缘层300可以形成为二氧化硅膜或氮化硅膜。根据键合而结合的原子种类，氢原子⑶可以具有不同的用于结合的键能。例如，氢和氧(H-0)、氢和氮(H-N)、以及氢和硅(H-Si)的结合键能分别为4.8eV、4.0eV和3.3eV。因此，如果调节用于形成硅晶种层的加工条件，则可以选择性地移除键合的氢原子(H)。即，如果在合适的加工条件下提供硅前体以形成硅晶种层400，则可以分离具有最低键能的氢和硅(H-Si)之间的键，同时可以保持具有相对高键能的氢和氮(H-N)之间或氢和硅(H-O)之间的键。通过以上，如果在只分离具有最低键能的氢和硅(H-Si)之间的键的加工条件下提供硅前体，则只可以在多晶硅图案240上选择性地形成硅晶种层400。为形成硅晶种层400，例如基底100的温度可以保持在500°C至650°C。此外，为了形成硅晶种层400，腔室内部的压力可以保持在5至20Torr。
为形成娃晶种层400,娃基(Silicon-based)气体可以用作娃前体。例如上述娃前体可以包含硅基气体例如SiH4、Si2H6、Si3H8或Si4H10。上述硅前体可以以5至20sccm的流量提供20至160秒。氮气(N2)或氢气(H2)可以作为载气同时提供以提供上述硅前体。上述载气可以以5000至30000sccm的流量提供。如果增加形成硅晶种层400期间的腔室内部压力，则可以降低上述硅前体的提供时间。即，腔室内部压力和上述硅前体的供给时间可以形成反比。图10是剖视图，其表示形成本发明一个实施例的金属层的步骤。参考图10,可以形成金属层500以覆盖形成有娃晶种层400的基底100。金属层500可以由耐火金属形成。例如金属层500可以为T1、Co或Ni。图11是剖视图，其表示形成本发明一个实施例的金属硅化物层的步骤。参考图11，通过对形成有金属层500的基底100进行热处理，在多晶硅图案240上形成金属娃化物层600。金属娃化物层600可以通过包含于金属层500的金属原子与图10所述的包含于多晶娃晶种层400和多晶娃图案240的娃原子结合而形成。为了形成金属硅化物层600，可以进行热处理过程例如快速热处理过程(RTP，Rapid Thermal Processing)。例如金属娃化物层 600 可以由 TiSi2、CoSi2 或 NiSi 形成。如果金属层500由Ti形成，则可以形成具有电阻率低于C49_TiSi2的C54_TiSi2相的金属娃化物层600。此外,如果金属层由Co形成,则可以形成具有电阻率低于Co2Si或CoSi的CoSi2的金属硅化物层600。另外，如果金属层由Ni形成，则可以形成具有电阻率低于NiSi2的NiSi的金属硅化物层600。如果形成图10中所示的硅晶种层400，则可以形成更多地覆盖多晶硅图案400的顶部的金属硅化物层600。如果闪存单元例如多层结构200包含在多晶硅图案400和基底100之间，则需要高电压。因此，如果金属硅化物层600更多地覆盖多晶硅图案400的顶部，则可以使电压降最小化。通过该方法，对通过相同的多晶硅图案400来连接有多个闪存单元的半导体器件(例如NAND闪存)而言，可以具有稳定的数据编程/擦除特性。图12是剖视图，其表示移除本发明一个实施例的残留金属层的步骤。参考图11和图12，移除形成金属硅化物层600后残留的金属层500。为移除残留的金属层500，可以对金属硅化物层600和绝缘层300使用具有刻蚀选择比的刻蚀过程。通过该过程，相对于绝缘层300，可以在基底100上仅露出金属硅化物层600和多晶硅图案400。随后，视需要选择性地进行二次热处理。二次热处理可以用于更大地降低已形成的金属硅化物层600的电阻率。例如，如果金属硅化物层600为T1-硅化物，则为了将如C49-TiSi2的非C54-TiSi2的相全部转变为C54_TiSi2相，可以进行二次热处理。在该情况下，二次热处理可以在高于图11所述的热处理过程的温度下进行。此外，如果金属硅化物层600例如为Co-硅化物，则为了将如Co2Si或CoSi的非CoSi2的相全部转变为CoSi2相，可以进行二次热处理。在该情况下，二次热处理可以在高于图11所述的热处理过程的温度下进行。然而，如果金属硅化物层600例如为N1-硅化物，当如Ni3S1、Ni31Sil2、Ni5Si2、Ni2S1、Ni3Si2的非NiSi的相残留时，为了将这些转变为NiSi相，可以进行二次热处理。但是，在该情况下，为了不形成NiSi2相，可以在与所述T1-硅化物或Co-硅化物的情况相比相对低的温度下进行热处理。尽管本发明通过示例的实施例而详细地描述，但是其他形式的实施例也是可以的。因此，以下所述的权利要求的技术实质和范围不限于示例的实施例。工业应用本发明可适用于如沉积过程的各种形式的半导体制备方法。
权利要求
1.一种半导体器件的制备方法，所述方法包括如下步骤: 在形成有多晶硅图案的基底上形成绝缘层使得多晶硅图案露出； 相对于绝缘层，在所述露出的多晶硅图案上选择性地形成硅晶种层； 在形成有所述硅晶种层的所述基底上形成金属层；以及 通过对形成有所述金属层的所述基底进行热处理，形成金属硅化物层。
2.权利要求1的半导体器件的制备方法，其特征在于，还包括如下步骤: 在形成所述硅晶种层的步骤之前，用含有氢基的溶液对形成有所述绝缘层的基底进行预处理。
3.权利要求2的半导体器件的制备方法，其特征在于， 在所述进行预处理的步骤中，将氢原子键合在露出于所述基底上的绝缘层和多晶硅图案上。
4.权利要求2的半导体器件的制备方法，其特征在于， 所述含有氢基的溶液为选自HF、稀释的氢氟酸(DHF)、缓冲的氧化物刻蚀剂(BOE)溶液中的一种或多种溶液。
5.权利要求1的半导体器件的制备方法，其特征在于，形成所述绝缘层的步骤包括如下步骤: 在基底上形成多晶娃图案； 在所述基底上形成绝缘材料以覆盖所述多晶硅图案；以及 移除部分所述绝缘材料以使所述多晶硅图案露出。
6.权利要求1的半导体器件的制备方法，其特征在于， 在形成所述硅晶种层的步骤中，向装载有所述基底的腔室内部提供选自SiH4、Si2H6,Si3H8和Si4Hltl中的一种或多种原料气。
7.权利要求6的半导体器件的制备方法，其特征在于， 在形成所述硅晶种层的步骤中，将所述基底保持在500°C至650°C的温度。
8.权利要求6的半导体器件的制备方法，其特征在于， 在形成所述硅晶种层的步骤中，所述腔室内部的压力保持为5Torr至20TOrr。
9.权利要求1的半导体器件的制备方法，其特征在于， 所述金属层为选自T1、Co和Ni中的一种或多种金属。
10.权利要求1的半导体器件的制备方法，其特征在于，还包括如下步骤: 在形成所述金属硅化物层的步骤之后，移除残留的金属层。
11.权利要求3的半导体器件的制备方法，其特征在于， 所述绝缘层由氧化物或氮化物形成。
12.权利要求10的半导体器件的制备方法，其特征在于， 在形成所述硅晶种层的步骤中，在键合在所述绝缘层和多晶硅图案上的氢原子中，用硅原子选择性地仅取代键合在所述多晶硅上的氢原子。
13.权利要求12的半导体器件的制备方法，其特征在于， 在形成所述硅晶种层的步骤中，通过利用氢和氧或氢和氮、与氢和硅之间的键能之差，在所述露出的多晶硅图案上选择性地形成所述硅晶种层。
全文摘要
本发明提供了一种包含金属硅化物层的半导体器件制备方法。本发明一个实施例的半导体器件的制备方法包括以下步骤在形成有多晶硅图案的基底上形成绝缘层使得多晶硅图案露出；相对于绝缘层，在露出的多晶硅图案上选择性地形成硅晶种层；在形成有硅晶种层的基底上形成金属层；以及通过对形成有金属层的基底进行热处理，形成金属硅化物层。
文档编号H01L21/24GK103081064SQ201180042743
公开日2013年5月1日 申请日期2011年8月30日 优先权日2010年9月6日
发明者金海元, 禹相浩, 赵星吉, 张吉淳 申请人:株式会社Eugene科技