一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法与流程

技术特征：
1.一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将硅片放入含有金属离子的溶液中浸泡，使硅片表面涂覆一层金属纳米颗粒；(2)使上述步骤(1)中硅片表面涂覆的金属纳米颗粒形成团簇；(3)用第一化学腐蚀液腐蚀硅片表面，形成多孔质层结构；所述第一化学腐蚀液为HF和氧化剂的混合溶液，即可得到晶体硅太阳能电池的绒面结构；所述步骤（2）中，将步骤(1)中的溶液进行加热，使硅片表面涂覆的金属纳米颗粒形成团簇；或者，将步骤(1)中的表面涂覆有金属纳米颗粒的硅片置于惰性气体气氛中加热使硅片表面涂覆的金属纳米颗粒形成团簇。2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤（2）中的加热温度在50~1000℃，并持续5~500秒。3.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中，采用油浴的加热方法使溶液温度保持在50~1000℃。4.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中，采用红外加热方法使惰性气体气氛的温度达到50~1000℃。5.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中含有金属离子的溶液中还包含HF。6.根据权利要求1或5所述的晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中，所述溶液中金属离子浓度小于等于1E-3mol/L，或者，溶液中金属离子浓度大于1E-3mol/L的同时HF的浓度小于等于1E-2mol/L。7.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中，所述第一化学腐蚀液中，HF的浓度为1~15mol/L，氧化剂的浓度为0.05~0.5mol/L，腐蚀温度为25~90℃，时间为1~10min。8.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)之后，还包括如下步骤：(4)采用第一清洗液去除残留金属颗粒；所述第一清洗液选自以下4种溶液中的一种：盐酸和双氧水的混合液、氨水和双氧水的混合液、硝酸、氨水；所述硝酸的质量浓度为5~69%；所述氨水的体积浓度为1~30%；所述第一清洗液的温度为20~80℃；(5)然后用第二化学腐蚀液进行表面刻蚀；所述第二化学腐蚀液为氢氟酸和硝酸，其中氢氟酸的浓度为1~15mol/L，硝酸的浓度为0.05~0.5mol/L；或者所述第二化学腐蚀液为碱液，所述碱液选自氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液、氨水或四甲基氢氧化铵的任意一种或多种；(6)然后将上述硅片放入第二清洗液中进行清洗；所述第二清洗液为盐酸和双氧水的混合液、氨水和双氧水的混合液中的任意一种混合液；(7)然后将上述硅片放入氢氟酸溶液中浸渍。9.根据权利要求1至8中任一所述的方法制备得到的晶体硅太阳能电池的绒面结构。