半导体装置及其制造方法与流程

文档序号:11262725阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供能够容易地获得稳定的连接的半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置包括:布线基板、第1半导体元件、第2半导体元件、凸块、粘接部和树脂部。第2半导体元件设置在布线基板与第1半导体元件之间。凸块设置在第1、第2半导体元件之间,将第1、第2半导体元件电连接。粘接部具有第1弹性模量,设置在第1、第2半导体元件之间而将第1、第2半导体元件粘接。树脂部具有比第1弹性模量高的第2弹性模量。树脂部的第1部分设置在第1、第2半导体元件之间。在树脂部的第2部分与布线基板之间,配置第1、第2半导体元件。树脂部的第3部分在与从布线基板朝向第1半导体元件的第1方向交叉的第2方向上与第1、第2半导体元件重叠。

技术研发人员:前田竹识;福田昌利;松岛良二;青木秀夫
受保护的技术使用者:东芝存储器株式会社
技术研发日:2016.08.19
技术公布日:2017.09.19
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