一种高温扩散设备的制作方法

文档序号:11836277阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高温扩散设备,包括设备主体(1)、高温加热管(2)、加热丝(3)、抽气泵(4)、石英进气口(5)、硅片放置槽(11)、石英出气口(13)和出气孔(14),其特征在于:所述设备主体(1)下方固定有电器控制箱(7),所述高温加热管(2)外部设置有保温层(6),且保温层(6)外部设置有设备主体(1),所述加热丝(3)外部安装有高温加热管(2),所述抽气泵(4)下方连接有电器控制箱(7),且左侧固定有设备主体(1),所述石英进气口(5)左侧安装有石英进气管(12),且石英进气管(12)上方设置有晶舟(9),所述电器控制箱(7)内部安装有散热孔(8),所述散热孔(8)左侧设置有散热风扇(15),且散热风扇(15)上方安装有设备主体(1),所述晶舟(9)左侧连接有晶舟固定架(10),且晶舟固定架(10)外部固定有保温层(6),所述硅片放置槽(11)外部安装有晶舟(9),所述石英出气口(13)右侧连接有设备主体(1),所述出气孔(14)下方连接有石英进气管(12)。

2.根据权利要求1所述的一种高温扩散设备,其特征在于:所述设备主体(1)内部四周均设置有保温层(6)。

3.根据权利要求1所述的一种高温扩散设备,其特征在于:所述抽气泵(4)与设备主体(1)连接方式为无缝连接。

4.根据权利要求1所述的一种高温扩散设备,其特征在于:所述晶舟(9)共设置有三个,且位置为上下对称。

5.根据权利要求1所述的一种高温扩散设备,其特征在于:所述出气孔(14)均匀密布在石英进气管(12)上。

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