技术总结
本发明公开了一种高温扩散设备，包括设备主体、高温加热管、加热丝、抽气泵、石英进气口、硅片放置槽、石英出气口和出气孔，所述高温加热管外部设置有保温层，所述加热丝外部安装有高温加热管，所述抽气泵下方连接有电器控制箱，所述散热孔左侧设置有散热风扇，且散热风扇上方安装有设备主体，所述晶舟左侧连接有晶舟固定架，所述硅片放置槽外部安装有晶舟。该高温扩散设备底部设置有散热孔和散热风扇，由于需要将加热丝加热到很高的温度，所以电器也会相应的产生很多热量，散热孔和散热风扇可以将电器产生的热量及时排出，增加了设备的使用寿命，设备主体内部四周均设置有保温层，一定程度的防止了设备内部的热量流失，节约了能源。
技术研发人员：孙显强
受保护的技术使用者：温州市赛拉弗能源有限公司
文档号码：201610735384
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2016.11.23