1.一种激光SE电池的制备方法,其特征在于,它包括以下步骤:
1)用金刚线切割硅片至所需形状;
2)将切割好的硅片置于碱性混合液中制绒;
3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理;
4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上;
5)置于扩散炉,300~500℃通入POCl3混合物2~3min;
6)冷却,取出硅片,涂抹有机溶剂,对硅片表面进行激光扫描;
7)对激光扫描过的硅片用酸性混合液进行刻蚀;
8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜,丝网印刷,完成正面栅线和背面铝背场的烧结。
2.根据权利要求1所述的激光SE电池的制备方法,其特征在于,所述步骤1)硅片为P型多晶硅片。
3.根据权利要求1所述的激光SE电池的制备方法,其特征在于,所述步骤2)碱性混合液由以下重量百分比的组分组成:NaOH2~4%、乙二醇5~10%、SnCl21~3%,余量为水。
4.根据权利要求1所述的激光SE电池的制备方法,其特征在于,所述步骤3)中盲孔的孔深为100~150μm,盲孔的孔径为50~100μm。
5.根据权利要求1所述的激光SE电池的制备方法,其特征在于,所述步骤5)POCl3混合物由以下重量百分比的组分组成:POCl350~70%,O25~10%,余量为N2。
6.根据权利要求1所述的激光SE电池的制备方法,其特征在于,所述步骤6)中有机溶剂由以下重量百分比的组分组成:三乙基氧化磷1~5%,磷酸三辛基酯10~15%,余量为异丙醇。
7.根据权利要求1所述的激光SE电池的制备方法,其特征在于,所述步骤6)扫描所用仪器为飞秒激光器。
8.根据权利要求1所述的激光SE电池的制备方法,其特征在于,所述步骤7)酸性混合液由以下重量百分比的组分组成:HF1~3%、H2O25~10%,NH4F5~15%,余量为水。