去除柔性基板中气泡的方法与流程

文档序号:12749608阅读:来源:国知局

技术特征:

1.去除柔性基板中气泡的方法,所述柔性基板包括玻璃基板,以及设置在玻璃基板上的ITO层,还包括涂布在所述ITO层的表面的PI层,其特征在于,包括下列步骤:

(a)将所述柔性基板放置在涡流加热装置上,其中玻璃基板紧贴所述涡流加热装置;

(b)开始涡流加热,使ITO层升温,促使所述PI层内部的气泡上升至所述PI层表面后破裂去除。

2.根据权利要求1所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,所述步骤(b)中,加热功率为500~2000W,加热时间为1~5min。

3.根据权利要求2所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,所述步骤(b)中,加热功率为1000W,所述加热时间为2min。

4.根据权利要求1所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,在所述步骤(b)后还包括步骤(c)对PI层进行固化,采用加热炉对PI层进行加热固化。

5.根据权利要求4所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,所述步骤(c)中,所述加热固化温度为300~500℃。

6.根据权利要求4所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,所述步骤(c)中,所述加热固化温度采用持续升温方式到达。

7.根据权利要求6所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,所述步骤(c)中,所述升温速率为4~10℃/min。

8.根据权利要求6所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,所述步骤(c)中,持续升温方式至少包括两段升温区间。

9.根据权利要求1所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,所述PI层的厚度为7~20μm。

10.根据权利要求9所述的去除柔性基板中气泡的方法,其特征在于,所述PI层的厚度为12μm。

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