技术总结
本发明公开了一种利用真空罐加速抽真空的装置，所述装置包括真空泵(1)、第一管道(4)、第一阀门(5)和第二阀门(6)；待抽真空腔室(2)通过第一管道(4)连通真空泵(1)；所述装置设有真空罐(3)，所述真空罐(3)通过第二管道(7)分别连通待抽真空腔室(2)与真空泵(1)；所述第一阀门(5)设置在第二管道(7)上，控制真空罐(3)与其它装置联通；所述第二阀门(6)设置在待抽真空腔室(2)与真空罐(3)之间的第一管道(4)上；加速抽真空的方法是先利用气体的自由膨胀原理，将腔体内部的气体分子数量迅速减小，之后再使用真空泵抽取剩余空气，从而缩短腔体抽真空的所需时间,提高设备产能，提高了生产效率、降低了成本。
技术研发人员：胡彬;潘景伟;胡磊
受保护的技术使用者：江苏微导纳米装备科技有限公司
文档号码：201610944204
技术研发日：2016.11.02
技术公布日：2017.01.11