一种GaAs基改良窗口层结构的黄绿光LED及其制造方法与流程

文档序号:14557753阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种GaAs基改良窗口层结构的黄绿光LED及其制造方法,属于光电子技术领域,结构由下至上包括GaAs衬底、GaAs低温缓冲层、Bragg反射镜层、AlInP下限制层、多量子阱发光区、AlInP上限制层、P型(Alx2Ga1‑x2)y2In1‑y2P第一窗口层和P型GaP第二窗口层。通过在常规黄绿光LED结构中利用MOCVD设备增加一层晶格匹配的高质量窗口层,形成改良的双层窗口层,既能避免第一窗口层的氧化,又能提升原普通结果一层窗口层的质量不高的问题,起到增加电流扩展的良率及光学窗口层的作用,提高了器件的可靠性、稳定性。

技术研发人员:李志虎;张新;于军;王成新;徐现刚
受保护的技术使用者:山东浪潮华光光电子股份有限公司
技术研发日:2016.11.22
技术公布日:2018.05.29
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