1.一种三维螺旋电感，包括衬底(1)，其特征在于：
在衬底(1)的正面结构中，形成有立体螺旋构型的导电线圈(2)；所述导电线圈(2)的厚度小于衬底(1)的厚度；
螺旋构型的导电线圈(2)具有内端头(201)和外端头(202)；所述导电线圈(2)的内端头(201)和外端头(202)分别通过贯穿衬底(1)的导电通孔(3)连接至衬底(1)的背面。
2.如权利要求1所述的三维螺旋电感，其特征在于：
在衬底(1)背面设有与导电通孔(3)下端连接的线圈电连接端(4)。
3.如权利要求1或2所述的三维螺旋电感，其特征在于：
所述导电线圈(2)位于衬底正面结构的空腔(5)中，导电线圈(2)的走线之间，以及导电线圈(2)外围一圈的衬底(1)材料被去除；导电线圈(2)底部与空腔(5)底部的衬底(1)保持连接，
或导电线圈(2)部分埋于衬底正面结构的空腔(5)底部的衬底(1)中。
4.如权利要求3所述的三维螺旋电感，其特征在于：
在衬底(1)的正面设有盖帽(6)，所述盖帽(6)封闭住所述空腔(5)。
5.如权利要求4所述的三维螺旋电感，其特征在于：
盖帽(6)的材料为金属、陶瓷、硅、玻璃或者环氧树脂。
6.如权利要求4所述的三维螺旋电感，其特征在于：
盖帽(6)与衬底(1)的连接方式为胶粘接、阳极键合或者玻璃融合。
7.如权利要求4所述的三维螺旋电感，其特征在于：
空腔(5)内保持真空。
8.如权利要求1或2所述的三维螺旋电感，其特征在于：
衬底(1)的材料为玻璃、陶瓷或它们的混合物。
9.如权利要求1或2所述的三维螺旋电感，其特征在于：
导电线圈(2)的螺旋构型为方形，六角形，八角形或圆形。