InP阻变存储材料的制备方法和应用与流程

文档序号:18483016发布日期:2019-08-20 23:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.InP阻变存储材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将单晶InP片作为靶材装入脉冲激光设备腔体内;

(2)将表面沉积有电极的基片装入脉冲激光设备腔体内;

(3)将脉冲激光设备腔体内抽真空,真空度为5×10-8Pa;

(4)将基片加热至350~450℃;

(5)利用脉冲激光沉积的方法在基片上沉积InP薄膜;所述脉冲激光沉积参数为:靶材与基片的间距为6~8cm,激光的工作频率1~5Hz,能力密度为1~3J/cm2;所得InP薄膜的厚度为10~65nm;

(6)将沉积了InP薄膜的基片真空条件下进行快速热退火处理,得到InP阻变存储材料。

2.根据权利要求1所述的InP阻变存储材料的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中的基片为绝缘无机材料。

3.根据权利要求1所述的InP阻变存储材料的制备方法,其特征在于:所述步骤(6)中快速热退火工艺为:退火温度600~800℃,退火时间5~120秒。

4.一种权利要求1所述的方法制备得到的InP阻变存储材料在阻变存储器中的应用,其特征在于:InP阻变存储材料用于制备InP基阻变存储器件,制备步骤为:将InP阻变存储材料表面覆盖硬掩膜版,硬掩膜版厚度为100nm,然后放入磁控溅射设备中,沉积金属电极,去除掩膜版,获得InP基阻变存储器件。

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