TEM样品格栅及TEM样品放置装置的制作方法

文档序号:12772384阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种TEM样品格栅,其特征在于,至少包括:

承载主体,包括基底及位于所述基底一侧向外延伸的立柱,所述立柱适于附连样品;

夹持凸块,位于所述基底表面,适于夹持以便移动所述承载主体;

安装通孔,位于所述基底上。

2.根据权利要求1所述的TEM样品格栅,其特征在于,所述夹持凸块由所述基底的一部分经剪裁后弯折而成,且所述夹持凸块与所述基底的表面相垂直。

3.根据权利要求1所述的TEM样品格栅,其特征在于,所述夹持凸块焊接或插接于所述基底的表面,且与所述基底的表面相垂直。

4.根据权利要求1所述的TEM样品格栅,其特征在于,所述立柱的数量为多个,多个所述立柱沿所述基底的边缘平行间隔分布。

5.根据权利要求1所述的TEM样品格栅,其特征在于,所述立柱的顶部设有辨识标记。

6.一种TEM样品放置装置,其特征在于,包括:

至少一个如权利要求1至5任一项所述的TEM样品格栅;

底座,所述底座划分为至少一个适于放置所述TEM样品格栅的放置区域,所述放置区域表面对应于所述安装通孔的位置设有安装凸块,且所述放置区域对应于所述立柱的位置设有凹槽;

盖体,与所述底座相适配,且扣置于所述底座的外围。

7.根据权利要求6所述的TEM样品放置装置,其特征在于,所述TEM样品格栅的数量及所述放置区域的数量均为多个,且所述TEM样品格栅的数量与所述放置区域的数量相同。

8.根据权利要求6所述的TEM样品放置装置,其特征在于,所述底座包括本体及位于所述本体上表面的缓冲层,所述安装凸块顶部贯穿所述缓冲层且突出于所述缓冲层的上表面,所述凹槽位于所述缓冲层内。

9.根据权利要求8所述的TEM样品放置装置,其特征在于,所述缓冲层为硅胶层。

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