技术总结
本实用新型提供一种TEM样品格栅及TEM样品放置装置，所述TEM样品格栅至少包括：承载主体，包括基底及位于所述基底一侧向外延伸的立柱，所述立柱适于附连样品；夹持凸块，位于所述基底表面，适于夹持以便移动所述承载主体；安装通孔，位于所述基底上。本实用新型设置夹持凸块，易于镊子夹取TEM样品格栅，防止误夹样品而导致样品灾难性的损失；通过设计TEM样品放置装置，与TEM样品格栅相配合安装固定，提高样品的装载效率；增加缓冲装置、安装凸块和盖体，保证了样品从FIB系统真空腔室运输到TEM的过程中的安全性，进而提高了TEM样品的质量。
技术研发人员：张琦
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201620852005
技术研发日：2016.08.08
技术公布日：2017.01.25