技术特征：
技术总结
一种制造薄膜电化学装置的方法可包括以下步骤：在基板上沉积膜堆叠结构，所述膜堆叠结构包括阴极集电体(CCC)、阴极、电解质、阳极及阳极集电体(ACC)；对堆叠结构进行激光裸片图案化以形成已裸片图案化的堆叠结构；对已裸片图案化的堆叠结构进行激光图案化以暴露出已裸片图案化的堆叠结构中的每一个已裸片图案化的堆叠结构的CCC层及ACC层中的至少一个的接触区域，对已裸片图案化的堆叠结构进行激光图案化的步骤形成装置堆叠结构；在元件堆叠结构上沉积毯覆式封装层；对毯覆式封装层进行激光图案化以暴露出装置堆叠结构中每一个装置堆叠结构的ACC层及CCC层的接触区域，毯覆式封装层的激光图案化步骤形成已封装的装置堆叠结构；及通过对装置堆叠结构及已封装的装置堆叠结构中的一个或多个进行热像分析以识别热点。
技术研发人员：秉-圣·利奥·郭;埃里克·恩格;立钟·孙
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.05.11
技术公布日：2018.02.23