1.一种半导体场效应正反馈器件,其特征在于,由以下几个部分组成:
不掺杂或是弱掺杂的衬底(1);
位于衬底(1)上的绝缘埋层(2);
位于绝缘埋层(2)上的沟道区(3)、沟道区(3)两侧的第一低掺杂区域(6)、第二低掺杂区域(7),以及重掺杂的阴极区域(10)和反型重掺杂的阳极区域(11);
覆盖沟道(3)的栅氧化层(4),以及栅氧化层(4)上的栅极(5);
栅极两侧的第一侧墙(8)和第二侧墙(9);
此外,还包括:与阴极区域(10)接触的阴极金属接触(12),与阳极区域(11)接触的阳极金属接触(13),与栅极(5)接触的栅极金属接触(14)。
2.如权利要求1所述的半导体场效应正反馈器件,其特征在于,是基于绝缘层上硅或者建立在绝缘层上的其他半导体。
3.如权利要求1所述的半导体场效应正反馈器件,其特征在于,器件结构对称,使用栅极侧墙作为离子注入的掩蔽,以自对称的方式形成阳极和阴极掺杂区域。
4.如权利要求1所述的半导体场效应正反馈器件,其特征在于,沟道为不掺杂或者弱掺杂。
5.如权利要求1所述的半导体场效应正反馈器件,其特征在于,栅极两边为低掺杂的区域,而阳极和阴极为重度反型掺杂,即一方为n+型而另一方为p+型掺杂。