氧化物半导体薄膜的制作方法及应用与流程

文档序号:15739798发布日期:2018-10-23 22:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种氧化物半导体薄膜的制作方法,其特征在于,包括:

对基底进行疏水处理,获得改性基底;

配制电子墨水:向氧化物半导体的前驱体溶液中加入功能试剂,获得电子墨水;其中,所述功能试剂兼具亲水性和提高粘度作用;

将所述电子墨水印刷在所述改性基底的表面,形成墨滴;

待所述墨滴干燥后,对所述墨滴进行退火处理,在所述改性基底上获得氧化物半导体薄膜。

2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述功能试剂为聚乙烯吡咯烷酮,所述聚乙烯吡咯烷酮的相对分子质量为40000或1300000。

3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,当所述功能试剂为相对分子质量为40000的聚乙烯吡咯烷酮时,在所述电子墨水中的功能试剂的物质的量浓度为0.1mg/mL~0.5mg/mL;

当所述功能试剂为相对分子质量为1300000的聚乙烯吡咯烷酮时,在所述电子墨水中的功能试剂的物质的量浓度为0.05mg/mL~0.5mg/mL。

4.根据权利要求3所述的制作方法,其特征在于,所述改性基底的接触角为48°~56°。

5.根据权利要求1-4任一所述的制作方法,其特征在于,所述氧化物半导体的前驱体溶液为金属硝酸盐的水溶液。

6.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述金属硝酸盐的水溶液包括In(NO3)3水溶液、Ga(NO3)3水溶液、Zn(NO3)2水溶液中的至少一种。

7.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述氧化物半导体的前驱体溶液的浓度为0.01mol/L~0.05mol/L。

8.根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,所述墨滴的干燥温度及退火温度均不低于200℃、且不高于氧化物半导体的前驱体的最高活化温度。

9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,所述墨滴的干燥温度及退火温度均为200℃~350℃。

10.一种氧化物薄膜晶体管,其特征在于,所述氧化物薄膜晶体管以采用如权利要求1-9任一所述的制作方法获得的氧化物半导体薄膜作为有源层。

11.一种氧化物薄膜晶体管的制作方法,包括:介质层的制作步骤、有源层的制作步骤、栅极的制作步骤、源极和漏极的制作步骤;其特征在于,在所述有源层的制作步骤中,以所述介质层作为基底,采用如权利要求1-9任一所述的氧化物半导体薄膜的制作方法。

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