硅片自动纠正装置的制作方法

文档序号:12724970阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片自动纠正装置,包括机架(1)及设置在机架(1)上的框架(2),所述机架(1)上设置有用于驱动框架(2)上升或者下降的第一驱动装置(3),其特征在于:还包括控制单元(4)、推板(5)、接近开关(6)、第一微动开关(8)和第二微动开关(9),所述框架(2)倾斜设置在所述机架(1)上,所述机架(1)的一端设有用于输送硅片的输送带(10),所述机架(1)上设有用于驱动输送带(10)转的第二驱动装置(11),所述框架(2)上设有用于插设插片盒的插槽(201),所述框架(2)位于所述输送带(10)的输出端,所述接近开关(6)位于所述输送带(10)的输出端,所述推板(5)位于机架(1)远离输送带(10)的一端,所述机架(1)上设有用于驱动推板(5)靠近或者远离框架(2)的第三驱动装置(7),所述第一微动开关(8)设置在所述机架(1)上,所述第一微动开关(8)位于框架(2)靠近推板(5)的一侧,所述框架(2)的两侧均设有第二微动开关(9),所述推板(5)内开设有卡槽(501),所述第二微动开关(9)设置在所述卡槽(501)的底部,所述卡槽(501)底部的两侧均设了所述第二微动开关(9),所述第一微动开关(8)、第二微动开关(9)、接近开关(6)、第一驱动装置(3)、第二驱动装置(11)和第三驱动装置(7)均与控制单元(4)信号连接。

2.根据权利要求1所述的硅片自动纠正装置,其特征在于:所述输送带(10)与所述框架(2)之间设有连接板(12),所述连接板(12)上开设有导向孔(13),所述导向孔(13)的一端与所述输送带(10)的输出端相对应,所述导向孔(13)的另一端与框架(2)相对应。

3.根据权利要求2所述的硅片自动纠正装置,其特征在于:所述导向孔(13)具有依次连接的导向段(13-1)和限位段(13-2),所述限位段(13-2)为相互平行的直线段,所述导向段(13-1)为与限位段(13-2)倾斜的斜面,所述斜面由一端向另一端逐渐向内倾斜,所述导向段(13-1)靠近所述输送带(10)。

4.根据权利要求1所述的硅片自动纠正装置,其特征在于:所述第一驱动装置(3)、第三驱动装置(7)均为气缸,所述第二驱动装置(11)为电机。

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