技术特征：
技术总结
本发明公开了一种二维材料/半导体异质结垂直隧穿场效应晶体管及制备方法，通过能带设计使得关态时该器件形成交错式能带结构，即二维材料和半导体材料之间不存在隧穿窗口，能获得极低的关态电流。施加栅压能够调控二维材料/半导体异质结处的能带对准方式，使得器件在开态时形成错层式能带结构，有效隧穿势垒高度为负值，同时，载流子从源区隧穿到沟道区，能够实现直接隧穿，可以获得大的开态电流。该器件采用高掺杂的三维半导体材料作为源区材料，其与金属源电极等势，同时由于二维材料的厚度超薄，栅压可调控二维材料以及二维材料/半导体异质结界面处的能带，所以可获得理想的栅控能力。本发明制备工艺简单，与传统的半导体工艺兼容性大。
技术研发人员：黄如;贾润东;黄芊芊;赵阳;王慧敏;陈诚
受保护的技术使用者：北京大学
技术研发日：2017.06.15
技术公布日：2017.10.13