半导体结构、扇出型封装结构及其制备方法与流程

文档序号:12307784阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种半导体结构、扇出型封装结构及其制备方法,所述半导体结构包括:衬底;剥离胶层,位于所述衬底的上表面;塑封材料层,位于所述剥离胶层的上表面;半导体芯片,塑封于所述塑封材料层内,且正面朝向倒装键合于所述剥离胶层的上表面;环氧树脂层,塑封于所述塑封材料层内。本发明的半导体结构在剥离胶层与半导体芯片之间设置环氧树脂层,在将改半导体结构用于封装结构时,去除衬底和剥离胶层之后,再将环氧树脂层剥离,可以使得半导体芯片的正面无任何胶残留,便于半导体结构与重新布线层的电连接,可以确保形成的封装结构的性能。

技术研发人员:陈彦亨;林正忠
受保护的技术使用者:中芯长电半导体(江阴)有限公司
技术研发日:2017.08.02
技术公布日:2017.10.27
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