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一种倒装芯片的清洗装置的制作方法
文档序号:14952097
发布日期:2018-07-17 22:47
阅读:
来源:国知局
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一种倒装芯片的清洗装置的制作方法
技术特征:
技术总结
本发明公开了一种倒装芯片的清洗装置,该清洗装置包括:旋转台,用于放置待清洗的倒装芯片,且带动所述倒装芯片旋转;喷淋件,用于向放置在所述旋转台上的所述倒装芯片喷洒清洁液,以冲洗并去除所述倒装芯片的助焊剂。通过上述方式,本发明能够快速、有效的去除芯片与基板之间残留的助焊剂。
技术研发人员:
卢海伦;周锋;施陈
受保护的技术使用者:
通富微电子股份有限公司
技术研发日:
2017.12.29
技术公布日:
2018.07.17
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