一种用于硅片流水运输的机械手结构的制作方法

本实用新型涉及多晶制绒清洗机技术领域，特别涉及一种用于硅片流水运输的机械手结构。

背景技术：

多晶制绒清洗机是太阳能行业中硅片制造环节的一种重要的自动化设备,它的主要作用是将多线切割机生产出来的多晶硅或者单晶硅片清洗干净并进行烘干，以达到进行最终硅片包装的目的。硅片清洗机一般由清洗槽、机械手、人机界面和电控柜等几部分组成。使用时，先将插在载片盒中的硅片手动放在订制的提篮中，设备通过传送装置并通过设备的机械手将提篮依次放在每个清洗槽中进行清洗，最后进入烘干炉进行烘干而得到干燥且干净的硅片，从而进入下一道工序进行包装。在清洗机整个的生产运行过程中，装载着载片盒的提篮在不同水槽内的运动需要靠机械手来完成。现有的机械手的运动有两个方向,一个是按照设备纵向轴线水平移动,每个水槽作为一个工位，自动状态下机械手会停在相应的工位；另一个方向是沿着机械手自身的与地面垂直的方向上下运动,目的是对提篮进行升降操作。机械手水平运动的机械结构是齿轮齿条式的,由伺服电机带动齿轮,通过齿轮齿条副的啮合实现行走,垂直运动的机械结构是滚珠丝杠式，由直线导轨支撑的。因此,机械手对于此设备的作用非常重要，其运行的准确性和稳定性都必须有可靠的保证才能使整个设备可靠地运行。

图1是现有技术的一种机械手结构，包括横管10，升降管20，挂钩30，提篮40，横向移动导轨50，横向驱动装置60和纵向驱动装置70，挂钩30设置在横管上，挂钩用于勾住提篮，硅片放置在提篮中。横管设置在升降管20上方，纵向驱动装置驱动升降管在纵向移动，横向驱动装置驱动机械手沿横向移动导轨50运动。但是，由于横管与升降管固定连接，使得横管不能在水平方向移动，机械手只能用于设计尺寸的清洗机，使用范围受到限制。

技术实现要素：

本实用新型为了解决现有技术的问题，提供了一种能够调整横管伸出长度，结构较稳固，制造成本较低的一种用于硅片流水运输的机械手结构。

具体技术方案如下：一种用于硅片流水运输的机械手结构，包括升降管，横管和升降装置，所述升降管与升降装置连接，横管设置在升降管上方，机械手结构包括滑动座，气缸组件，顶板和连接板，气缸组件设置在滑动座上，滑动座设置在顶板上，所述横管设置在滑动座上，顶板与升降管一端连接，所述连接板设置在横管之间，气缸组件包括气缸和伸缩杆，伸缩杆一端与气缸连接，另一端与连接板连接，气缸固定在顶板上。

以下为本实用新型的附属技术方案。

作为优选方案，横管底部设有卡槽，所述滑动座包括滑轨，滑轨设置在滑动座上方，所述卡槽与滑轨配接。

作为优选方案，所述滑轨包括顶部和底部，顶部的长度大于底部的长度。

作为优选方案，所述滑动座有多个，每根横管至少设置两个滑动座。

本实用新型的技术效果：本实用新型的一种用于硅片流水运输的机械手结构能够调节横管的伸出长度，提升了机械手的使用便利性，扩大了使用范围；此外，其结构稳固，横管运动平稳，便于在现有结构上进行改进，有效降低了制造成本。

附图说明

图1是现有技术的用于硅片流水运输的机械手结构。

图2是本实用新型一种用于硅片流水运输的机械手结构的示意图。

图3是本实用新型一种用于硅片流水运输的机械手结构的俯视图。

具体实施方式

下面，结合实例对本实用新型的实质性特点和优势作进一步的说明，但本实用新型并不局限于所列的实施例。

如图2和图3所示，本实施例的一种用于硅片流水运输的机械手结构，其在现有技术基础上进行改进，机械手结构包括升降管1，横管2和升降装置3，所述升降管2与升降装置3连接，横管2设置在升降管1上方。通过升降装置3使得升降管1纵向移动，升降装置3的结构可采用现有技术的纵向驱动装置70。机械手结构包括滑动座4，气缸组件5，顶板6和连接板7，气缸组件5设置在滑动座4上，滑动座4设置在顶板6上。所述横管2设置在滑动座4上，顶板6与升降管1一端连接，所述连接板设置在横管之间。气缸组件5包括气缸51和伸缩杆52，伸缩杆52一端与气缸51连接，另一端与连接板7连接，气缸51固定在顶板上。上述技术方案中，通过升降装置驱动升降管，使得升降管能够在竖直方向移动。升降管带动顶板运动，从而使顶板上的横管也能升降。当需要调节横管伸出长度时，通过气缸和推动伸缩杆移动，使得连接板能够带动横管在滑动座上滑动，从而调整横管的长度。通过上述技术方案，能够调整横管上的提篮的横向位置，使得机械手能够在硅片流水运输时，根据不同位置距离，调整提篮的水平方向的位置，提升了机械手的使用便利性。

如图2和图3所示，进一步的，横管2底部设有卡槽21，所述滑动座4包括滑轨41，滑轨设置在滑动座上方，所述卡槽21与滑轨41配接。通过上述技术方案，使得横管能够相对滑动座滑动。所述滑轨41包括顶部411和底部412，顶部411的长度大于底部412的长度，使得滑轨呈梯形，从而防止横管从滑轨上脱落。所述滑动座4有多个，每根横管2至少设置两个滑动座4，从而使横管2的移动更稳定。

本实施例的一种用于硅片流水运输的机械手结构能够调节横管的伸出长度，提升了机械手的使用便利性，扩大了使用范围；此外，其结构稳固，横管运动平稳，便于在现有结构上进行改进，有效降低了制造成本。

需要指出的是，上述较佳实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。