本发明属于晶圆生产技术领域,尤其涉及一种晶圆id识别系统及其识记方法。
背景技术:
晶圆(wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,每一片晶圆都有一个编号,即晶圆id(waferid)。
实际中,部分晶圆生产厂商会将晶圆id刻在晶圆背面,如图1所示。对于这类晶圆,在进行晶圆研磨前,就必须把晶圆id写在晶圆正面,才能保证研磨后,晶圆id不丢失,以便在贴片时,通过晶圆id读取晶圆图(wafermap),来区别晶圆测试为良品或不良品。
传统地,一般采用手动模式,将刻在晶圆背面的晶圆id写在晶圆正面。其操作步骤是:操作员手动查看刻在晶圆背面的晶圆id,记住后,翻转到晶圆正面,将晶圆id手写到晶圆正面,之后复检。手动模式的优点是:不需要投入额外的设备,费用低;缺点是:效率低,人工记忆不可靠,容易出错,且若不小心撞坏晶圆,会导致产品报废。
为了提高操作效率,现有技术提出了一种晶圆id自动刻录机,该晶圆id自动刻录机的视觉系统会自动识别出传送过来的晶圆背面的晶圆id,自动翻转后,采用激光打印技术将识别出的晶圆id印在晶圆正面,之后将物料送出。虽然其执行效率高且准确率高,但成本过高,一台晶圆id自动刻录机需要差不多300000rmb,高额的成本限制了其应用范围。
技术实现要素:
本发明实施例的目的在于提供一种晶圆id识别系统,旨在解决现有技术采用的晶圆id自动刻录机成本过高的问题。
本发明实施例是这样实现的,一种晶圆id识别系统,所述系统包括:
带有缺口的工作台;
图像传感器,用于通过所述工作台上的缺口摄取刻在晶圆背面的晶圆id;
显示器,用于显示所述图像传感器摄取到的晶圆id,操作员将显示的晶圆id写在对应的晶圆的正面。
本发明实施例的另一目的在于提供一种如上所述的晶圆id识别系统的识记方法,所述方法包括以下步骤:
s1:操作员将晶圆放置在工作台上,并使得刻在晶圆背面的晶圆id对准所述工作台上的缺口;
s2:图像传感器通过所述工作台上的缺口摄取所述晶圆id,并将摄取到的所述晶圆id发送给显示器;
s3:所述显示器接收所述晶圆id并显示;
s4:操作员将所述显示器显示的晶圆id写在对应的晶圆的正面。
本发明实施例提供的晶圆id识别系统中,图像传感器通过工作台上的缺口摄取刻在晶圆背面的晶圆id,之后发送到显示器显示。相对于传统的手动模式,提高了工作效率,操作简单,避免了人工操作失误造成的产品损失;且相对于现有的晶圆id自动刻录机,降低了实现成本,总造价只需3000rmb左右即可实现,成本约为晶圆id自动刻录机的1/100,低廉的成本使得其可在行业内实现大范围推广应用。
附图说明
图1是晶圆id刻在晶圆背面时的示意图;
图2是本发明实施例提供的晶圆id识别系统的结构图;
图3是本发明实施例提供的旋转盘的结构图;
图4是采用旋转盘时的晶圆id识别系统的结构示意图;
图5是本发明实施例提供的晶圆id识别系统的识记方法的流程图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
本发明提出了一种晶圆id识别系统,包括工作台、图像传感器和显示器。图像传感器通过工作台上的缺口摄取刻在晶圆背面的晶圆id,之后发送到显示器显示。以下将详细说明:
图2示出了本发明实施例提供的晶圆id识别系统的结构。
本发明实施例提供的晶圆id识别系统包括:带有缺口的工作台1;图像传感器2,用于通过工作台1上的缺口摄取刻在晶圆背面的晶圆id;显示器3,用于显示图像传感器2摄取到的晶圆id,操作员将显示的晶圆id写在对应的晶圆的正面。
其中,工作台1用以放置晶圆,为了方便图像传感器2对晶圆id的摄取,本发明实施例中,工作台1优选为可绕轴心转动的旋转盘,如图3所示,旋转盘上带有缺口11,此时的晶圆id识别系统的结构如图4所示。这样,操作员在操作时,将晶圆id对准缺口11,之后转动旋转盘,使得晶圆id通过缺口11对准图像传感器2,即可方便的实现晶圆id的摄取,而无需对图像传感器2的安装位置进行规制,操作更方便。
其中,图像传感器2优选为电荷耦合元件(charge-coupleddevice,ccd),当然也可以选择其它类型的图像传感器,例如金属氧化物半导体元件(complementarymetal-oxidesemiconductor,cmos)等。
图5示出了本发明实施例提供的如上所述的晶圆id识别系统的识记方法的流程,包括以下步骤:
s1:操作员将晶圆放置在工作台1上,并使得刻在晶圆背面的晶圆id对准工作台1上的缺口。
s2:图像传感器2通过工作台1上的缺口摄取晶圆id,并将摄取到的晶圆id发送给显示器3。
s3:显示器3接收晶圆id并显示。
s4:操作员将显示器3显示的晶圆id写在对应的晶圆的正面。
本发明实施例中,若工作台1选用如图3所示的可绕轴心转动的旋转盘,则在步骤s1和步骤s2之间,还包括以下步骤:
s5:操作员转动旋转盘,以使得晶圆id通过缺口对准图像传感器2。
综上所述,本发明实施例提供的晶圆id识别系统中,图像传感器2通过工作台1上的缺口摄取刻在晶圆背面的晶圆id,之后发送到显示器3显示,相对于传统的手动模式,提高了工作效率,操作简单,避免了人工操作失误造成的产品损失;且相对于现有的晶圆id自动刻录机,降低了实现成本,总造价只需3000rmb左右即可实现,成本约为晶圆id自动刻录机的1/100,低廉的成本使得其可在行业内实现大范围推广应用。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。