一种晶圆承接台的制作方法

本实用新型涉及半导体检测设备技术领域，更具体的说是涉及一种晶圆承接台。

背景技术：

在半导体、集成电路制造领域晶圆需要承片台来承载以便进行升降旋转完成相关工艺。而现有的承片台部件将旋转和升降设计为一体，不仅设计精度较低，而且维修较为麻烦，最重要的是承片台总高度较高，重心靠上，在高速检测时，运动不稳定。

因此，能否提供一种重心更低且运动更稳定的承片台是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种晶圆承接台，承接台的升降和旋转分开设计，降低了整体的重心，且易于维护。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

晶圆承接台包括：底座；导轨，所述导轨垂直固定在所述底座上；以及箱体，所述箱体滑动连接在所述导轨上；旋转机构,所述旋转机构设在所述箱体内部且其驱动端伸出所述箱体；以及承片台，所述承片台位于所述箱体上方，且固定在所述旋转机构的驱动端。

本实用新型由于采用了在同一箱体上将承接台的升降和旋转分开设计，降低了承接台的高度使承接台的运动更加稳定。

进一步的，所述晶圆承接台还包括升降机构，所述升降机构安装在所述底座上，其驱动端与所述箱体固定连接。

采用上述进一步方案的有益效果是：实现箱体的升降，结构简单且可靠。

进一步的，所述升降机构包括传动丝杆、同步带轮和丝杠螺母；所述传动丝杆通过轴承座安装在所述箱体内部，且所述传动丝杆两端伸出所述箱体外部，所述传动丝杆一端固定连接所述同步带轮，另一端与固定安装在所述箱体上的所述丝杠螺母传动连接。

采用上述进一步方案的有益效果是：通过传动丝杆和丝杠螺母配合实现箱体的升降，结构简单且可靠。

进一步的，所述升降机构还包括升降同步带和升降电机，所述升降电机固定在所述底座上，所述升降同步带一端固定连接所述升降电机的输出轴，另一端连接所述同步带轮。

采用上述进一步方案的有益效果是：采用升降电机可实现箱体升降，不用再手动进行调节，节省了人力。

进一步的，所述旋转机构包括旋转电机、蜗杆、涡轮和承片台连接件；所述旋转电机安装在所述箱体一侧；所述蜗杆一端与旋转电机的输出轴连接；所述涡轮与所述蜗杆传动连接；所述承片台连接件与所述涡轮固定连接；所述承片台固定在所述承片台连接件的上端。

采用上述进一步方案的有益效果是：承片台旋转和箱体升降分开设计，相互独立不会相互影响且降低了设备的重心。

进一步的，所述晶圆承接台还包括定位轴和顶出机构，所述定位轴的下端固定在所述底座上；所述定位轴上端穿过所述箱体；所述顶出机构下端与所述定位轴固定连接，所述顶出机构上端与所述承片台活动连接。

采用上述进一步方案的有益效果是：配合承片台在箱体下降到最低位置时，将晶圆顶出。

进一步的，所述顶出机构包括立柱座和接片立柱；所述立柱座固定在所述定位轴的上端；所述接片立柱固定在所述立柱座上，其上端活动穿设在所述承片台上设置的通孔内。

采用上述进一步方案的有益效果是：方便在箱体降低到最低位置时，将晶圆顶出，便于机械手拿取。

进一步的，所述承片台连接件包括旋转盘、旋转盘盖和绝缘盘；所述旋转盘由第一旋转部和第二旋转部组成，所述第一旋转部和所述第二旋转部一体连接；所述第一旋转部和所述第二旋转部套接在所述定位轴上，且所述第一旋转部位于所述涡轮和所述定位轴之间，所述涡轮和所述第一旋转部由螺栓固定连接；所述第二旋转部和所述旋转盘盖由螺栓固定连接；所述绝缘盘通过螺栓和所述旋转盘盖固定连接。

采用上述进一步方案的有益效果是：以定位轴为中心旋转结构进行旋转，使顶出机构可很好的配合承片台进行工作。

进一步的，所述立柱座和所述旋转盘之间的所述定位轴上套设有弹簧，所述弹簧常止抵在所述立柱座和所述旋转盘上。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种晶圆承接台，通过将升降和旋转两维运动分开设计，使运动互不干扰；降低了设备整体的高度使运动更加的稳定。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1附图为本实用新型提供剖面结构示意图；

图2附图为本实用新型提供的另一剖面结构示意图；

图3附图为本实用新型提供的正面结构示意图；

图4附图为本实用新型提供的右视结构示意图；

图5附图为本实用新型提供的旋转盘结构示意图；

图6附图为本实用新型提供的旋转盘盖结构示意图。

附图中各标号所代表的部件为：

1、底座，2、升降机构，21、传动丝杆，22、同步带轮，23、丝杠螺母，24、升降同步带，25、升降电机，3、箱体，4、定位轴，5、顶出机构，51、接片立柱，52、立柱座，6、通孔，7、承片台，8、旋转机构，81、承片台连接件，811、绝缘盘，812、旋转盘盖，813、旋转盘，8131、第一旋转部，8132、第二旋转部，82、涡轮，83、蜗杆，84、旋转电机，9、导轨。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1至图4所示，本实用新型实施例公开了一种晶圆承接台，包括：

底座1；导轨9，导轨9垂直固定在底座1上；箱体3，箱体3 滑动连接在导轨9上；旋转机构8,旋转机构8设在箱体3内部且其驱动端伸出箱体3；以及承片台7，承片台7位于箱体3上方，且固定在旋转机构8的驱动端。

升降机构2安装在底座1上，其驱动端与箱体3固定连接。具体的，升降机构2包括传动丝杆21、同步带轮22和丝杠螺母23。其中，传动丝杆21通过轴承座安装在箱体3内部，且传动丝杆21两端伸出箱体3外部，传动丝杆21一端固定连接同步带轮22，另一端与固定安装在箱体3上的丝杠螺母23传动连接。升降机构2还包括升降同步带24和升降电机25，升降电机25固定在底座1上，升降同步带 24一端固定连接升降电机25的输出轴，另一端连接同步带轮22。

旋转机构8包括旋转电机84、蜗杆83、涡轮82和承片台连接件 81；旋转电机84安装在箱体3一侧；蜗杆83一端与旋转电机84的输出轴连接；涡轮82与蜗杆83传动连接；承片台连接件81与涡轮 82固定连接；承片台7固定在承片台连接件81的上端。

承片台连接件81包括旋转盘813、旋转盘盖812和绝缘盘811；旋转盘813由第一旋转部8131和第二旋转部8132组成，第一旋转部 8131和第二旋转部8132一体连接；第一旋转部8131和第二旋转部8132套接在定位轴4上，且第一旋转部8131位于涡轮82和定位轴4 之间，涡轮82和第一旋转部8131由螺栓固定连接；第二旋转部8132 和旋转盘盖812由螺栓固定连接；绝缘盘811通过螺栓和旋转盘盖 812固定连接。

定位轴4的下端固定在底座1上；定位轴4上端穿过箱体3；顶出机构5下端与定位轴4固定连接，顶出机构5上端与承片台7活动连接。顶出机构5包括立柱座52和接片立柱51；立柱座52固定在定位轴4的上端；接片立柱51固定在立柱座52上，其上端活动穿设在承片台7上设置的通孔6内。

通过将承片台7的旋转和升降平行设置，使承片台7的旋转和升降分开设计降低了设备的重心和结构设计的难度，且便于维修和保养。

参照图1、图5和图6所示，在本实用新型的另一具体实施例中，立柱座52和旋转盘813之间的定位轴4上套设有弹簧(图中未示出)，弹簧常止抵在立柱座52和旋转盘813上，由于旋转盘813是和箱体 3是一体的并随箱体3上下运动，而立柱座52和定位轴4连接，弹簧可防止定位轴4向下滑动，同时在定位轴4与底座1连接的另一端固定一挡片，防止定位轴4随箱体3向上运动，通过弹簧和挡片相互配合就可使定位轴4固定。

本实用新型提供的晶圆承接台降低了设备整体高度使运动更稳定；且旋转和升降两维运动分开设计互不干扰，具有承片、接片两种功能，方便使用。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。