专利名称：曝光印相用原版的制作方法
技术领域：
本发明涉及曝光印相用原版的制作方法，并涉及例如在用光腐蚀的方法来制作彩色显象管用荫罩时，用以在该荫罩的两个面上所形成的感光膜上印上预定图形的一对曝光印相用原版的制作方法。
荫罩型彩色显象管如图2的所示，具有由面板1及漏斗2所组成的管壳3，面对由在该面板1的内面所形成的三色荧光体层构成荧光面4在其内侧装有荫罩5。该荫罩5是用来选择从配设在漏斗2的管颈6内的电子枪7所射出的三个电子束，以便正确地轰击上述三色荧光体层，且在面向上述荧光面4的荫罩本体9上如图2所示，按预定的排列方式形成多个圆形或狭缝形等的电子束通过孔10。该各电子束通过孔10的断面形状为荧光面一侧的开口11比电子枪一侧的开口12大，且两侧的开口11、12要同轴，并形成在其中间部分上具有最小直径部分的鼓形。
历来，此荫罩5的电子束通过孔10是用光腐蚀的方法形成的。即通过在由低碳钢等所制成的板状的荫罩坯料的两个面上形成感光膜，并将形成了与上述电子束通过孔的各开口相对应的图形的一对原版紧贴在该两面的感光膜上进行曝光，在两面的感光膜上印上原版的图形。且使曝光后的感光膜显影，并除去未感光的部分，形成具有与上述原版的图形相对应的图形的抗蚀膜。接着从两面对形成了该抗蚀膜的荫罩坯料进行腐蚀，形成贯通于两面之间的开孔以作为电子束通过孔。
可是，为了用上述方法使两面的开口11、12如图3所示形成同轴的电子束通过孔，必须如图4所示，在曝光时要使一对原版14a、14b的图形同轴重合后紧贴荫罩坯料15的两面的感光膜16而配置。但是要使在各原版14a、14b上所形成的图形在整个面上都完全重合，这在原版的制作技术上是极其困难的。
即，上述一对原版14a、14b如图5A所示，通过光绘图器即原画的图形描绘装置在负型干板上描绘电子束通过孔的一方的开口(例如与荧光面一侧开口相应的图形)，使其显影并形成第1负图形17a，接着将此第1负图形17a紧贴印在同一个负型干板上，再经显影而形成正图形18a。且以此正图形为原始图形紧贴印到负型干板上，经显影形成第2负图形19(a)，作为第1曝光印相用原版14a。又，即使就具有与电子枪一侧的开口相对应的图形16的第2曝光印相用原版14b的图形来说，如图5(B)中的对应符号17b～19b所示，仅仅是用光绘图器进行描绘并显影后所得到的图形17b的大小不同而已，故可用同一工序形成。
用上述工序制作一对曝光印相用原版14a、14b的理由有二第一点理由是由于通过使第1负图形17a、17b经反转而成为正图形18a、18b可以很容易地找出图形尺寸上的很小的偏差或因图形的凹凸等的缺点而引起的不均匀现象。即由光绘图器所形成的负图形17a、17b因透光率大而难以找到不均匀现象或缺点，而正图形18a、18b因透光率小，故可以比较容易地找出图形的不均匀现象或缺点。第二点理由是由于如以正图形18a、18b为原始图形，则可任意地制作多个直接使用于荫罩的曝光印相的曝光印相用原版14a、14b。
以前，就一般民用彩色显象管的荫罩来说通过用上述方法所制作的一对原版，已可形成所需形状和精度的电子束通过孔。但是就显示管等的必需具有高析象度的彩色显象管的荫罩来说，与上述一般民用的彩色显象管的荫罩相比，由于电子束通过孔的排列间距小，随之电子束的通过孔的开口直径也小，已达到高精度化，故用上述方法所制作的原版来形成所需形状和精度的电子束通过孔是很困难的。
其理由是如图6所示用于制造高析象度彩色显象管用荫罩的一对曝光印相用原版，由于第1原版图形(即对应于电子束通过孔的荧光面一侧的开口的图形19a)和第2原版图形(即对应于电子枪一侧的开口的图形19b)之差S(裕度)小，故两图形19a、19b的偏差影响较大，且无法使其重合在低于偏差的容许误差3μm。
在研究了此一对原版的图形的偏差的发生原因之后，得出的结果是，判明出该原因为在制作一对原版时的最初的光绘图器的描绘上有问题。即如图7(A)及7(B)所示，在用光绘图器在干板上描绘与电子束通过孔的开口相对应的图形17a、17b时，一对原版均是在相同的方向(即从第1列向第n列的方向依次描绘，由于光绘图器的功能及精度关系，例如在第n列所示的最外列的图形的排列形成完全相同的偏差状态。该偏差量在用例如20英寸的彩色显象管时为5-7μm。光绘图器是在其一个面上涂覆感光乳剂的干板和光源之间，配置具有预定形状的通孔的荫罩，一边对于干板和光源作相对移动，一边使来自光源的光断续地照射到感光膜上，从而描绘形成多个点状的感光部，并通过使此干板显影来制作负图形的原版。在干板方面有称之谓正型，从负图形形成负图形的非反转型，和称之谓负型，使负图型反转为正图形或将正图形反转为负图形而印上的反转型。且在用上述光绘图器描绘时，两图形17a、17b都是使干板的乳剂面在上面而进行描绘的。且，其后对干板的乳剂面反复进行的复印是在使干板的乳剂面成面对面下进行的，而如图8及图9所示，在将制成的一对曝光印相用原版14a、14b实际使用于荫罩的曝光印相时是使形成有图形19a、19b的乳剂面20a、20b能与荫罩坯料的两面的感光膜紧贴般面对面后进行使用。其结果是在荫罩的曝光印相时，作成第1原版14a的第1列和第2列原版14b的第n列相对，由于上述的偏差，该相对的第1原版14a的第1列的图形19a和第2原版14b的第n列的图形不再重合。
如上所述，先前使用于彩色显象管用荫罩的曝光的一对的原版，分别用光绘图器在正型干板上描绘与荫罩的电子束通过孔的开口相对应的图形，一旦设此为正图形，则以此正图形为原始图形，即制作实际使用于荫罩的曝光的原版。但如用这样的方法制作一对曝光印相用原版，会在两原版之间形成图形偏离，特别是像高析象度彩色显象管用荫罩那样，电子束通过孔的排列间距小，随之要以预定的形状和精度形成开口直径小的电子束通过孔是很困难的。
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于得到使用于在被曝光部件的两面上所形成的感光膜上印上预定的图形的一对曝光印相用的原版的各图形能高精度地重合在一起的曝光印相用原版的制作方法。
在曝光印相用原版的制作方法中，该方法为在由面对或紧贴在板状被曝光部件的两面上所形成的感光膜上而进行配置的第1、第2原版所组成的一对曝光印相用原版的各个版上形成同轴的负图形，且作成就第1原版来说，从用光绘图器所描绘出的负图形形成正图形或负图形，并通过紧贴印相从该图形形成上述曝光印相用原版的负图形，同时就第2原版来说，使用正型干板从用光绘图器描绘出的负图形直接形成上述曝光印相用原版的负图形。第2原版使用正型干板，而就第1原版来说，则可使用任何一个型式的干板。
如上所述，在一对曝光印相用原版中，如作成就第1原版来说从用光绘图器描绘的负图形形成正图形、并通过反转紧贴印相从此正图形形成曝光印相用原版的负图形、且就第2原版来说、使用正型干板从用光绘图器描绘出的负图形直接形成曝光印相用原版的负图形，则即使在由光绘图器描绘出的两个负图形上有偏差，但就使乳剂面相对而使用的曝光印相用原版来说，可使两图形能以高精度进行重合。
以下参照附图并根据实施例对本发明进行说明。
在
图1中表示作为本发明的一实施例的使用于彩色显象管用荫罩的曝光印相的一对原版的制作法。如图1(A)所示，一对原版中，就第1原版来说，和已有的原版的制作方法相同，用光绘图器在负型的干板上描绘对应于荫罩的电子束通过孔的荧光面侧开口的图形，对其进行显影，形成第1负图形17a。接着和同一负型干板的乳剂面面对面地对此第1负图形17a紧贴印相、进行显影而形成正图形18a。且，以此正图形18a为原始图形，同样地和负型干板的乳剂面面对面地紧贴印相、进行显影而形成第2负图形19a，并作为第1曝光印相用原版。
与此相反、就第2原版来说，首先用光绘图器在负型干板上描绘对应于荫罩的电子束通过孔的电子枪一侧的开口的图形，对其进行显影而形成第1负图形17b。接着，和正型干板的乳剂面面对面地紧贴印上此第1负图形17b，进行显影，直接形成第2负图形19b，并作为第2曝光印相用原版14b。
可是，如上所述，如用描绘第1负图形→反转为正图形→反转为第2负图形的方法制作第1曝光印相用原版14a，且另一方面用描绘第1负图形→复制第2负图形的方法制作第2曝光印相用原版14b来制作一对曝光印相用原版14a、14b，则即使在用光绘图器描绘出的图形上存在同一方向的偏差，而对于最终还是使乳剂面相互间面对面后所使用的、并使用于荫罩的曝光印相的一对原版14a、14b此担捎谕夹 9a、19b的偏差为同一方向、故能使两图形19a、19b高精度地重合在一起。
又，如上所述，如一旦不用反转为正图形的方法来制作第2曝光印相用原版14b，则很难找出因有关图形尺寸的微量离散或图形的凹凸等的缺点而产生的不均匀性，而这通过例如使用正型干板、并用对第2负图形19b或由光绘图器描绘出的第1负图形17b进行反转紧贴印相的方法来形成正图形，并可根据此正图形进行检查。
作为一具体实例，作为使用于20英寸高析象度彩色显象管用荫罩的曝光的一对曝光印相用原版，备有点状的图形，用上述方法制作其第1、第2原版的图形直径分别为0.130mm、0.060mm、其图形间距为0.250mm的原版的结果是可将一对原版的图形偏差在整个面积上都抑制到低于3μm。
又，在上述实施例中，是就一对原版中、设第1原版的图形为与荫罩的电子束通过孔的荧光面侧开口相对应的大直径的图形、并设第2原版的图形为与其电子枪一侧的开口相对应的小直径的图形而叙述的，但本发明的曝光印相用原版的制作方法也可以形成为第1原版的图形为对应于电子束通过孔的电子枪一侧的开口的小直径的图形而第2原版的图形为对应于其荧光面一侧的开口的大直径的图形。
又，本发明并不限于使用于彩色显象管用荫罩的曝光的曝光印相用原版，也能适用于向着或紧贴在其他的板状被曝光部件的两面上所形成的感光膜上进行配置的一对曝光印相用原版的制作。
当在由向着或紧贴在板状被曝光部件的两面上所形成的感光膜进行配置的第1、第2原版所组成的一对曝光印相用原版的各个原版上形成同轴的负图形之际，如就第1原版而言、从用光绘图器描绘的负图形形成正的或负的图形并从此正或负的图形通过反转紧贴印相形成曝光印相用原版的负图形、同时就第2原版而言，使用正型的干板从用光绘图器描绘出的负图形直接形成曝光印相用原版的负图形，则即使在由光绘图器描绘出的两个负图形上存在偏差，对于使乳剂面面对面后使用的曝光印相的曝光印相用原版而言，也能使图形高精度地进行重合。
图1为作为本发明的一实施例的使用于彩色显象管用荫罩的曝光印相的一对曝光印相用原版的制作方法的说明图，其中图1(A)为第1原版的制作法的说明图，图1(B)为第2原版的制作方法的说明图，
图2为彩色显象管的结构的说明图;
图3为表示其荫罩的电子束通过孔的形状的剖视图;
图4为表示在荫罩曝光时，紧贴在荫罩坯料的两面上所形成的感光膜而进行配置的一对曝光印相用的原版的配置的图;
图5为使用于已有的彩色显象管用荫罩的曝光印相的一对曝光印相用原版的制作方法的说明图，其中图5(A)为第1原版的制作方法的说明图，图5(B)为第2原版的制作方法的说明图;
图6为表示一对曝光印相用原版的图形的裕度的图;
图7为用光绘图器描绘出的图形的偏差的说明图，其中图7(A)表示为了制作第1原版而描绘的图形的偏差的图，图7(B)表示为了制作第2原版而描绘的图形的偏差的图;
图8及图9分别为用以说明在一对曝光印相用原版之间所产生的图形的偏差情况的图。
14a……第1原版14b……第2原版17a……第1负图形17b……第2负图形18a……正图形19a、19b……第2负图形
权利要求
1.一种曝光印相用原版的制作方法，其特征在于当在由面向或紧贴在板状被曝光部件的两面上所形成的感光膜而进行配置的第1、第2原版所组成的一对曝光印相用原版的各原版上形成同轴的负图形之际，就上述第1原版而言从用光绘图器描绘出的负图形形成正图形或负图形，并通过紧贴印相从此图形形成上述曝光印相用原版的负图形，本蜕鲜龅 原版而言，使用正型干板从用光绘图器描绘的负图形直接形成上述曝光印相用原版的负图形。
全文摘要
一种曝光印相用原版的制作方法，当在由面向或紧贴在板状被曝光部件的两面上所形成的感光膜而进行配置的第1、第2原版所组成的一对原版上形成同轴的负图形之际，就第1原版而言从用光绘图器绘出的负图形形成正或负图形，并通过紧贴印相从此图形形成原版的负图形；同时就第2原版而言，使用正型干板从用光绘图器绘出的负图形直接形成原版的负图形。此方法可用于制造高析象度的彩色显象管用荫罩。
文档编号H01L31/0203GK1038547SQ89103278
公开日1990年1月3日 申请日期1989年3月31日 优先权日1988年3月31日
发明者田中裕, 工藤诚 申请人:东芝株式会社