后的多晶 硅片，具有均匀的化学损伤层，损伤层的厚度为5-6ym。
[0093] 图7为金刚线切割的多晶硅片经本实施例1的制绒工艺（致孔一孔修饰一常规制 绒）处理后得到的金刚线切割多晶硅片制绒产品的绒面SEM图，从图7可以看出，所述多晶 硅片制绒产品的绒面大小分布均匀，绒面呈圆形。并对所得硅片的反射率进行了测定，在 400nm-1000nm波段下的平均反射率为24%。将上述制绒后的金刚线切割的多晶硅片制成 电池，测得该电池的效率为17. 95%。
[0094] 对比实施例1
[0095] 为了突出本发明的制绒工艺的效果，作为对比，取金刚线切割的多晶硅片，用浓度 为10%的稀HF溶液进行清洗，去除硅片表面的油污及氧化层，之后将清洗后的多晶硅片只 采用常规制绒工艺进行处理（同实施例1中的常规制绒步骤），得到制绒后的多晶硅片。
[0096] 采用扫描电镜观察常规制绒工艺处理后的金刚线切割多晶硅片，其绒面结构如图 4所示，从图4可看出，绒面较浅，形状非常不规则，有的呈虫孔状，还可见明显的线痕纹理。 并对硅片的反射率进行了测定，在400nm-1000nm波段下的平均反射率为29%，说明硅片的 陷光作用大大降低。
[0097] 将上述只经过常规制绒处理的金刚线切割的多晶硅片制成电池，测得该电池的效 率为 17. 66%。
[0098] 实施例2
[0099] 一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法，包括如下步骤：
[0100] (1)配制第一、第二处理液：
[0101] 将氢氟酸、双氧水、硝酸银和水混合，得到第一处理液，其中，银离子的摩尔浓度为 15ymol/L，氢氟酸、双氧水、水的体积比为3 :13 :8,氢氟酸的质量浓度为49%，双氧水的质 量浓度为30% ;
[0102] 将硝酸、氢氟酸和水混合，得到第二处理液B，其中，硝酸、氢氟酸与水的体积比 30 ：1 ：100 ；
[0103] (2)预处理：
[0104] a?制备多孔硅结构：
[0105] 取金刚线切割的多晶硅片，用浓度为10%的稀HF溶液进行清洗，去除硅片表面的 油污及氧化层，之后将硅片置于所述第一处理液中进行预处理，处理温度为34°C，处理时间 为5min，并用去离子水冲淋2min，得到多孔结构的多晶硅片；
[0106] (2)修饰多孔结构：
[0107] 取步骤（a)所述的多孔结构的多晶硅片，置于所述第二处理液B中，在常温下处理 4min，之后再用去离子水冲洗2min，得到多孔结构修饰后的多晶硅片，即制绒预处理多晶硅 片。
[0108] 取经上述预处理方法处理得到的制绒预处理多晶硅片，进行如下常规制绒处理：
[0109] 配制混合酸溶液，常规制绒工艺的酸配方为：硝酸、氢氟酸、水的体积比9 :3 :7,在 上述混合酸溶液中进行制绒，制绒温度为8°C，时间为90-150S;再用质量浓度5%的KOH溶 液常温处理25-40S，去除硅片表面的纳孔硅，最后采用氢氟酸与盐酸的混合溶液（氢氟酸、 盐酸与水的体积比为3 :5 :12)处理50-90S，除去硅片表面的各种金属离子杂质，得到制绒 后的金刚线切割多晶硅片，即金刚线切割多晶硅片制绒产品。
[0110] 对本实施例2所得金刚线切割多晶硅片制绒产品的反射率进行了测定，在 400nm-1000nm波段下的平均反射率为24. 5%。之后将上述金刚线切割多晶硅片制绒产品 制成电池，测得该电池的效率为17. 91%。
[0111] 其他实施例
[0112] 按实施例2所述的技术方案，对实施例3-6中金刚线切割的多晶硅片进行制绒， 只是具体参数略有不同，请参见表1，之后对制绒后的硅片（即金刚线切割多晶硅片制绒产 品）进行了反射率的测定，并将多晶硅片制成电池，对电池的效率进行测试，详见表1。
[0113] 按实施例1所述的技术方案，对实施例7-10中金刚线切割的多晶硅片进行制绒， 只是具体参数略有不同，请参见表1，之后对制绒后的硅片（即金刚线切割多晶硅片制绒产 品）进行了反射率的测定，并将多晶硅片制成电池，对电池的效率进行测试，详见表1。
[0114] 表 1
[0115]
【主权项】
1. 一种金刚线切割多晶娃片的制绒预处理液，其特征在于，包括第一处理液和第二处 理液，所述第一处理液为氨氣酸、双氧水、金属盐和水的混合溶液，其中，氨氣酸、双氧水、水 的体积比为1-5:10-15:5-10,所述第一处理液中，金属离子的摩尔浓度为5-100 y mol/L ; 所述第二处理液包括第二处理液A或第二处理液B，所述第二处理液A包括硝酸和强 碱，其中，硝酸的质量浓度为5-30%，强碱的质量浓度为1-10%，所述第二处理液B为硝酸、 氨氣酸和水的混合溶液，其中，硝酸、氨氣酸与水的体积比10-50 ;0. 1-5 ;50-150。
2. 如权利要求1所述的制绒预处理液，其特征在于，所述第一处理液中，金属盐包括硝 酸铜、硝酸银、硝酸钮、氯化铜、氯金酸和氯销酸中的一种。
3. -种金刚线切割多晶娃片的制绒预处理方法，其特征在于，包括如下步骤： (1) 配制第一、第二处理液： 将氨氣酸、双氧水、金属盐和水混合，得到第一处理液，其中，氨氣酸、双氧水、水的体积 比为1-5:10-15:5-10,所述第一处理液中，金属离子的摩尔浓度为5-100 y mol/L ; 分别配制硝酸和强碱溶液，得到第二处理液A,其中，硝酸的质量浓度为5-30%，强碱 的质量浓度为1-10 %;将硝酸、氨氣酸和水混合，得到第二处理液B，其中，硝酸、氨氣酸与水 的体积比 10-50 ;0. 1-5 ;50-150 ; (2) 预处理； a. 制备多孔娃结构： 取金刚线切割的多晶娃片进行清洗，之后置于所述第一处理液中进行预处理，处理温 度为10-50°C，处理时间为2-lOmin，得到多孔结构的多晶娃片； b. 修饰多孔结构； 取步骤（a)所述多孔结构的多晶娃片，置于所述第二处理液A或第二处理液B中，在常 温下进行表面多孔结构的修饰，修饰时间为2-12min，得到多孔结构修饰后的多晶娃片，即 制绒预处理多晶娃片。
4. 如权利要求3所述的制绒预处理方法，其特征在于，步骤（1)所述第一处理液中，金 属离子的摩尔浓度为10-30 ymol/L。
5. 如权利要求3所述的制绒预处理方法，其特征在于，步骤（1)所述第一处理液中，氨 氣酸、双氧水、水的体积比为2-4:12-14:6-9。
6. 如权利要求3所述的制绒预处理方法，其特征在于，步骤（1)所述第二处理液A中， 硝酸的质量浓度为10-20%，强碱的质量浓度为3-8%。
7. 如权利要求3所述的制绒预处理方法，其特征在于，步骤（1)所述第二处理液A中， 所述强碱为K0H或化0H。
8. 如权利要求3所述的制绒预处理方法，其特征在于，步骤（1)所述第二处理液B中， 硝酸、氨氣酸与水的体积比20-40 ;0. 5-3 ;80-120。
9. 如权利要求3所述的制绒预处理方法，其特征在于，所述步骤（a)中，处理温度为 20-34°C，处理时间为4-8min。
10. -种制绒预处理娃片，其特征在于，所述制绒预处理娃片是按权利要求3-9所述的 制绒预处理方法制得。
11. 一种金刚线切割多晶娃片的制绒方法，其特征在于，包括如权利要求3-9所述的制 绒预处理方法，在所述制绒预处理方法之后，进一步包括常规制绒。
12.-种金刚线切割多晶娃片制绒产品，其特征在于，所述金刚线切割多晶娃片制绒产 品是按权利要求11所述的制绒方法制得。
【专利摘要】本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液，所述制绒处理液包括第一处理液和第二处理液A或B，第一处理液为氢氟酸、双氧水、金属盐和水的混合溶液，所述处理液A包括硝酸和强碱，所述处理液B为硝酸、氢氟酸和水的混合溶液。本发明还提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法，采用所述预处理液在所述硅片的表面进行处理，形成均匀的损伤层，得到制绒预处理硅片。本发明还提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，对所述制绒预处理硅片进行常规制绒处理，在所述硅片表面形成均匀、低反射率的绒面，得到金刚线切割多晶硅片制绒产品。本发明还提供了一种制绒预处理硅片和金刚线切割多晶硅片制绒产品。
【IPC分类】H01L31-18, C30B33-10
【公开号】CN104576830
【申请号】CN201410842460
【发明人】章金兵, 付红平, 彭也庆
【申请人】江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年12月30日