显示基板及其制作方法以及显示装置的制造方法_2

文档序号:9275638阅读:来源:国知局
层8中的漏极电连接。
[0081]优选地,源漏层8包括第一钛金属层、铝金属层和第二钛金属层,铝金属层设置在第一钛金属层和第二钛金属层之间,具体的,三者厚度关系为Ti/AL/Ti (700A/4000A/700A)。
[0082]通过两层钛金属层包裹铝金属层,可以保证源漏极9具有良好的导电性能和机械性能,以保证显示基板工作时驱动电路的正常运行。
[0083]优选地,还包括:
[0084]粘结剂11,设置在上基板3与间隔层7之间,用于粘接上基板3和间隔层7。可以牢靠地粘接上基板3和下基板2。
[0085]如图5所示,优选地,在粘结剂11的内侧和/或外侧还设置有隔离层12。可以防止有像素中的有机发光材料受到污染。
[0086]需要说明的是,本实施例中的显示基板可以是LTPS基板,其中还包括有机发光材料等结构,图中并未示出,在此不再赘述。
[0087]另外,本实施例中的源漏层8和第一电极10可以形成二极管结构,并进一步与像素20的驱动电路中的其他6个晶体管和一个电容形成6T1C结构(等效电路图如图6所示),具有良好的补偿效果,可以有效解决阈值电压和载流子迀移率对驱动电路稳定性和均匀性造成的影响。
[0088]本发明还提出了一种显示装置,包括上述任一项的显示基板。
[0089]需要说明的是,本实施例中的显示装置可以为:电子纸、手机、平板电脑、电视机、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。
[0090]如图7所示,根据本发明一个实施例的显示基板制作方法,包括:
[0091]SI,在下基板I之上形成多个像素20 ;
[0092]S2,在多个像素的相邻像素20之间,形成与多个像素的上基板相接触的像素界定层2,用于界定每个像素20,以及支撑上基板3和下基板I之间的间隙。
[0093]优选地,像素界定层2的材料为聚酰亚胺树脂。
[0094]优选地,在下基板I之上形成多个像素20包括:
[0095]在下基板I之上形成缓冲层4,如图8所示,
[0096]在缓冲层4之上形成有源层;
[0097]在有源层之上形成栅绝缘层5,如图9所示;
[0098]在栅绝缘层5之上形成栅线6,如图10所示;
[0099]在栅线6之上形成间隔层7,如图11所示;
[0100]在间隔层7之上形成源漏层8,如图12所示;
[0101]在源漏层8之上形成平坦层9,如图13所示;
[0102]在平坦层9之上形成第一电极10。如图14所示。
[0103]优选地,在下基板之上形成多个像素20包括:
[0104]在栅绝缘层5中形成第一过孔,在间隔层7中形成第二过孔,以使源漏层8通过第一过孔和第二过孔与有源层电连接;
[0105]在平坦层9中形成第三过孔,以使第一电极10通过第三过孔与源漏层8中的漏极电连接。
[0106]优选地,在间隔层7之上形成源漏层8包括:
[0107]在间隔层7之上形成第一钛金属层;
[0108]在第一钛金属层之上形成铝金属层;
[0109]在铝金属层之上形成第二钛金属层。
[0110]优选地,还包括:
[0111]在上基板3与间隔层7之间形成粘结剂11,用于粘接上基板3和间隔层7。
[0112]优选地,还包括:
[0113]在粘结剂11的内侧和/或外侧形成隔离层12。
[0114]其中,上述流程所采用的形成工艺例如可包括:沉积、溅射等成膜工艺和刻蚀等构图工艺。
[0115]以上结合附图详细说明了本发明的技术方案,像素界定层和隔垫物采用两套工艺分别单独形成,工艺较为复杂。通过本发明的技术方案,由于像素界定层既可以界定每个像素,还可以支撑上基板和下基板之间的间隙,相当于同时起到了现有技术中像素界定层和隔垫物的作用,节省了一道制作隔垫物的工艺,简化了制作流程,并且像素界定层比现有技术中隔垫物的横截面积大,可以更好地支撑上基板和下基板之间的间隙。
[0116]需要指出的是,在附图中,为了图示的清晰可能夸大了层和区域的尺寸。而且可以理解,当元件或层被称为在另一元件或层“上”时,它可以直接在其他元件上,或者可以存在中间的层。另外,可以理解,当元件或层被称为在另一元件或层“下”时,它可以直接在其他元件下,或者可以存在一个以上的中间的层或元件。另外,还可以理解,当层或元件被称为在两层或两个元件“之间”时,它可以为两层或两个元件之间惟一的层,或还可以存在一个以上的中间层或元件。通篇相似的参考标记指示相似的元件。
[0117]在本发明中,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上,除非另有明确的限定。
[0118]以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种显示基板,其特征在于,包括: 多个像素,设置于下基板之上; 像素界定层,设置于所述多个像素的相邻像素之间,与所述多个像素的上基板相接触,用于界定每个像素,还用于支撑所述上基板和所述下基板之间的间隙。2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述像素界定层的材料为聚酰亚胺树脂。3.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,每个像素包括: 设置在所述下基板之上的缓冲层; 设置在所述缓冲层之上的有源层; 设置在所述有源层上的栅绝缘层; 设置在所述栅绝缘层之上的栅线; 设置在所述栅线之上的间隔层; 设置在所述间隔层之上的源漏层; 设置在所述源漏层之上的平坦层; 设置在所述平坦层之上的第一电极。4.根据权利要求3所述的显示基板,其特征在于,在所述栅绝缘层中设置有第一过孔,在所述间隔层中设置有第二过孔,所述源漏层通过所述第一过孔和所述第二过孔与所述有源层电连接; 在所述平坦层中设置有第三过孔,所述第一电极通过所述第三过孔与所述源漏层中的漏极电连接。5.根据权利要求3所述的显示基板,其特征在于,所述源漏层包括第一钛金属层、铝金属层和第二钛金属层,所述铝金属层设置在所述第一钛金属层和第二钛金属层之间。6.根据权利要求3所述的显示基板,其特征在于,还包括: 粘结剂,设置在所述上基板与所述间隔层之间,用于粘接所述上基板和所述间隔层。7.根据权利要求6所述的显示基板,其特征在于,在所述粘结剂的内侧和/或外侧还设置有隔离层。8.—种显示装置,其特征在于,包括权利要求1至7中任一项所述的显示基板。9.一种显示基板制作方法,其特征在于,包括: 在下基板之上形成多个像素; 在所述多个像素的相邻像素之间,形成与所述多个像素的上基板相接触的像素界定层,用于界定每个像素,以及支撑所述上基板和所述下基板之间的间隙。10.根据权利要求9所述的显示基板制作方法,其特征在于,所述像素界定层的材料为聚酰亚胺树脂。11.根据权利要求9所述的显示基板制作方法,其特征在于,所述在下基板之上形成多个像素包括: 在所述下基板之上形成缓冲层; 在所述缓冲层之上形成有源层; 在所述有源层之上形成栅绝缘层; 在所述栅绝缘层之上形成栅线; 在所述栅线之上形成间隔层; 在所述间隔层之上形成源漏层; 在所述源漏层之上形成平坦层; 在所述平坦层之上形成第一电极。12.根据权利要求11所述的显示基板制作方法,其特征在于,所述在下基板之上形成多个像素包括: 在所述栅绝缘层中形成第一过孔,在所述间隔层中形成第二过孔,以使所述源漏层通过所述第一过孔和所述第二过孔与所述有源层电连接; 在所述平坦层中形成第三过孔,以使所述第一电极通过所述第三过孔与所述源漏层中的漏极电连接。13.根据权利要求11所述的显示基板制作方法,其特征在于,所述在所述间隔层之上形成源漏层包括: 在所述间隔层之上形成第一钛金属层; 在所述第一钛金属层之上形成铝金属层; 在所述铝金属层之上形成第二钛金属层。14.根据权利要求11所述的显示基板制作方法,其特征在于,还包括: 在所述上基板与所述间隔层之间形成粘结剂,用于粘接所述上基板和所述间隔层。15.根据权利要求14所述的显示基板制作方法,其特征在于,还包括: 在所述粘结剂的内侧和/或外侧形成隔离层。
【专利摘要】本发明涉及一种显示基板及其制作方法以及显示装置,上述显示基板包括:多个像素,设置于下基板之上;像素界定层,设置于多个像素的相邻像素之间,与多个像素的上基板相接触,用于界定每个像素,还用于支撑上基板和下基板之间的间隙。通过本发明的技术方案,由于像素界定层既可以界定每个像素,还可以支撑上基板和下基板之间的间隙,相当于同时起到了现有技术中像素界定层和隔垫物的作用,节省了一道制作隔垫物的工艺,简化了制作流程,并且像素界定层比现有技术中隔垫物的横截面积大,可以更好地支撑上基板和下基板之间的间隙。
【IPC分类】H01L21/77, H01L27/12
【公开号】CN104992945
【申请号】CN201510284300
【发明人】尚跃东, 杨文斌
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年5月28日
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