4所示)，在第二介质层12上形成正性光刻胶。图3所示为图1中的掩膜板2对准上述具有正性光刻胶的半导体衬底的俯视图。对所述光刻胶曝光、显影，得到图案化的光刻胶13(参照图4所示)；所述曝光过程中采用的掩膜板2(参照图1所示)为经光学临近修正后的掩膜板，其中，掩膜板2具有金属线图案对应区20及位于金属线图案对应区20中的散射条201 (Scattering Bar, SB)，所述散射条201的位置与导电插塞10对应。
[0043]具体地，如图3所示，散射条201为长条状，长度方向沿与导电插塞10连接处的金属线图案对应区20的走向，上述与导电插塞10连接处的金属线图案对应区20的走向也即导电插塞10连接处的金属线图案对应区20的边界延伸方向；散射条201的中心与所述导电插塞10的中心的连线AB垂直于与导电插塞10连接处的金属线图案对应区20的走向。图4为对图3中的结构曝光显影后的半导体结构俯视图。研究表明，上述形状的散射条201对导电插塞10处的光刻胶的光强分布改善，有利于形成既能避免导电插塞10未完全覆盖的问题，又不容易出现崩塌的图形化光刻胶13 (参见图4所示)。
[0044]需要说明的是，为显示散射条201、导电插塞10以及金属线图案对应区20的对应关系，图3中的第二介质层12显示了透视效果。
[0045]本实施例中，由于光刻胶为正性光刻胶，因而，掩膜板2上金属线图案对应区20为透光区域，散射条201区域不透光，如图4所示，在光源下曝光后，透光区域的光刻胶变性易溶于显影液，在后续显影后被清除，除金属线图案对应区20外的区域为不透光区域，在后续显影后被保留形成图案化的光刻胶13。上述过程中，散射条201区域虽然不透光，但通过控制其尺寸，使其在曝光过程中仅起调整位于导电插塞10处的光刻胶的光强分布，并不显影出对应的图案化光刻胶，上述调整的光强分布能使得一方面曝光后的图案化光刻胶13具有一定程度收缩，完全暴露导电插塞10，其后填充的金属线图案能完全覆盖该导电插塞10，另一方面又使得图案化光刻胶13收缩程度不至于过大造成该图案化光刻胶13崩塌剥落，其后填充的相邻金属线图案不连通。在具体实施过程中，散射条201的宽度范围为15纳米-30纳米，相邻金属线图案之间的间距范围为30纳米-100纳米。
[0046]其它实施例中，对于光刻胶为负性光刻胶时，掩膜板2中对应金属线图案对应区20不透光，所述散射条201区域透光。上述负性光刻胶在曝光显影后形成的图案化光刻胶13也能完全暴露导电插塞10,同时不会造成相邻金属线图案连通。
[0047]一个实施例中，经光学临近修正后的掩膜板2的获取方法为:
[0048]设定所述散射条201的初始位置、长度及宽度；
[0049]对包含散射条201的金属线图案对应区20进行光学临近修正，若所述金属线图案对应区20满足需求，则将所述金属线图案对应区20的形状、尺寸以及散射条201的位置、长度及宽度作为修正后的掩膜板；若所述金属线图案对应区20不满足需求，则调整所述散射条201的初始位置、长度及宽度，重复对包含散射条201的金属线图案对应区20进行光学临近修正直至满足需求。
[0050]具体地，掩膜板2上的金属线图案对应区20满足需求为以该掩膜板2曝光、显影，所形成的图形化光刻胶13为掩膜刻蚀第二介电层12，所形成的沟槽内填充的金属线图案完全覆盖所述导电插塞10且相邻金属线图案不连通。
[0051]上述调整散射条201的初始位置、长度及宽度过程中，可以在三者所有可选值范围，固定某一或某两值，步进第三个值直至获得满足需求的掩膜板光学临近修正参数。
[0052]其它实施例中，经光学临近修正后的掩膜板2也可以通过:先按经验值获取金属线图案对应区20的最佳初始值，然后在散射条201的位置、长度及宽度可选值范围内逐步步进，以获得满足需求的金属线图案对应区20，此时则将金属线图案对应区20的形状、尺寸以及散射条201的位置、长度及宽度作为修正后的掩膜板。
[0053]之后，以图案化的光刻胶13为掩膜刻蚀第二介质层12形成沟槽(未图示)，在沟槽内填充金属得到金属线图案。
[0054]具体地，本步骤包括例如采用灰化法去除光刻胶残留物，填入金属后化学机械研磨去除沟槽外的多余金属。上述刻蚀的方法、参数可以参照现有的方法、参数，沟槽内填充的金属也为现有的金属材质。
[0055]可以理解的是，由于对图案化的光刻胶13的形状控制，因而以其为掩膜刻蚀第二介质层12形成的沟槽也完全暴露了导电插塞10，相邻沟槽之间的第二介质层12也不至于收缩过大造成填充的金属线图案连通。
[0056]图5是本发明另一个实施例的经光学临近修正后的掩膜板制作金属互连结构过程中的俯视图。可以看出，与图3中的掩膜板的区别在于，散射条201具有两个，且走向一致，具体地，沿长度方向平行分布。可以理解的是，为达到形成既暴露导电插塞10，又不出现崩塌剥落问题的图案化光刻胶13，可以设置多个散射条201。
[0057]图6是本发明又一个实施例的经光学临近修正后的掩膜板制作金属互连结构过程中的俯视图。可以看出，与图3中的半导体衬底相比，导电插塞10具有2个，相应的，掩膜板的区别在于，并非对每一导电插塞10分别设置散射条201进行光强分布调整，而是将散射条201设置为一连续的长条状，所述连续长条状的长度方向沿与所述多个导电插塞10连接处的金属线图案对应区20的走向。上述方案使得散射条201的制作成本较低。
[0058]图7是本发明再一个实施例的经光学临近修正后的掩膜板制作金属互连结构过程中的俯视图。可以看出，与图6中的掩膜板的区别在于，散射条201具有两个，且走向一致。可以理解的是，为达到形成即暴露导电插塞10，又不出现崩塌剥落问题的图案化光刻胶13，可以设置多个走向一致的连续长条状散射条201。
[0059]本发明中，各实施例采用递进式写法，各实施例中的相同结构及其做法参照前述实施例中的结构及制作方法。
[0060]虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
【主权项】
1.一种金属互连结构的制作方法，所述金属互连结构包括位于下层的导电插塞及位于上层、完全覆盖所述导电插塞的金属线图案，其特征在于，所述制作方法包括: 提供半导体衬底，所述半导体衬底上具有导电插塞及其间填充的第一介质层； 形成覆盖所述导电插塞及第一介质层的第二介质层，在所述第二介质层上形成光刻胶，对所述光刻胶曝光、显影，得到图案化的光刻胶；所述曝光过程中采用的掩膜板为经光学临近修正后的掩膜板，所述掩膜板具有金属线图案对应区及位于金属线图案对应区中的散射条，所述散射条的位置与导电插塞对应； 以所述图案化的光刻胶为掩膜刻蚀所述第二介质层形成沟槽，在所述沟槽内填充金属得到金属线图案。2.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述散射条为长条状，所述散射条的长度方向沿与所述导电插塞连接处的金属线图案对应区的走向，所述散射条的中心与所述导电插塞的中心的连线垂直于与所述导电插塞连接处的金属线图案对应区的走向。3.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，对于某一个所述导电插塞，所述散射条包括走向一致的多个。4.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述导电插塞具有多个，所述散射条为连续的长条状，所述连续长条状的长度方向沿与所述多个导电插塞连接处的金属线图案对应区的走向。5.根据权利要求4所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述连续长条状散射条包括走向一致的多个。6.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述散射条的宽度范围为15纳米-30纳米。7.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述相邻金属线图案之间的间距范围为30纳米-100纳米。8.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述光刻胶为正性光刻胶，所述掩膜板中金属线图案对应区透光，所述散射条区域不透光。9.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述光刻胶为负性光刻胶，所述掩膜板中金属线图案对应区不透光，所述散射条区域透光。10.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，经光学临近修正后的掩膜板的获取方法为: 设定所述散射条的初始位置、长度及宽度； 对包含散射条的金属线图案对应区进行光学临近修正，若所述金属线图案对应区满足需求，则将所述金属线图案对应区的形状、尺寸以及散射条的位置、长度及宽度作为修正后的掩膜板；若所述金属线图案对应区不满足需求，则调整所述散射条的初始位置、长度及宽度，重复对包含散射条的金属线图案对应区进行光学临近修正直至满足需求。11.根据权利要求10所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述金属线图案对应区满足需求为所述金属线图案完全覆盖所述导电插塞且相邻金属线图案不连通。
【专利摘要】一种金属互连结构的制作方法，本发明在形成金属线图案的掩膜板中，不仅包括金属线图案对应区，还包括位于金属线图案对应区的散射条，对两者进行光学临近修正得到修正后的掩膜板。上述方案利用散射条改变位于导电插塞处的光刻胶的光强分布，使得曝光后的图案化光刻胶一方面具有一定程度收缩，以该图案化光刻胶为掩膜刻蚀第二介质层所形成的沟槽完全暴露出导电插塞，在其内填充的金属线图案能完全覆盖该导电插塞，另一方面又使得图案化的光刻胶收缩程度不至于过大造成该光刻胶崩塌剥落，对应沟槽内填充的相邻金属线图案不连通。
【IPC分类】H01L21/768
【公开号】CN105226007
【申请号】CN201410265013
【发明人】赵保军
【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2014年6月13日
【公告号】US20150364415