的端部60s之上的光电转换膜30的厚度T24大于第二区域R2中的光电转换膜30的厚度T22。
[0108]因此，太阳能电池142也允许例如抑制在端部1s和端部60s处的漏电流的生成，并且提高光电转换效率。
[0109]在如图6(c)中示出的太阳能电池143中，省略了绝缘层62和绝缘部64。在太阳能电池143中，异物66的端部66s之上的上部中间层50的厚度T31大于第二区域R2中的上部中间层50的厚度T32。在太阳能电池143中，下部电极10的端部1s之上的上部中间层50的厚度T33大于第二区域R2中的上部中间层50的厚度T32。在太阳能电池143中，导电层60的端部60s之上的上部中间层50的厚度T34大于第二区域R2中的上部中间层50的厚度T32。
[0110]因此，太阳能电池143也允许例如抑制在端部1s和端部60s处的漏电流的生成，并且提高光电转换效率。
[0111]图7是示出根据第一实施例的另一太阳能电池的示意截面图。
[0112]如图7中示出的，太阳能电池151还包括密封膜68。密封膜68设置在层叠体SB上。换言之，密封膜68设置在上部电极20上。例如使用热固化或紫外线固化环氧树脂将密封膜68接合到上部电极20。密封膜68保护光电转换膜30等使其例如免受氧气和湿气影响。设置密封月旲68允许例如提尚太阳能电池151的耐久性。
[0113]通过在金属片或树脂膜的表面上设置无机材料或金属制成的层所获得的膜例如可以用作密封膜68。可用的树脂膜的示例包括聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)、乙烯乙烯醇(EVOH)、环烯烃(CO)、乙烯乙酸乙烯酯(EVA)、聚碳酸酯(PC)或聚醚砜(PES)的膜，或含有这些中的两种或更多种的多层膜。可用的无机材料或金属的示例包括二氧化娃、二氧化钛、氧化错、氮化娃、氮化硼和铝中的至少任何一种。密封膜68还可以包含例如干燥剂或氧吸收剂。因此，例如能够进一步提高太阳能电池151的耐久性。
[0114]图8是示出根据第一实施例的另一太阳能电池的部分的示意截面图。
[0115]在如图8中示出的示例中，绝缘部64不覆盖异物66的上端66a的部分。以这种方式，仅需要将绝缘部64设置在异物66的端部66s和上部电极20之间。然而，如以上讨论的，绝缘部64设置在异物66的整体之上。这允许合理抑制异物66中的漏电流的生成。
[0116]各种太阳能电池110至113、121至123、131至135、141至143以及151的配置可以根据需要来组合。例如，可以接受设置绝缘部64，并且将第一区域Rl中的光电转换膜30的厚度增加为超过第二区域R2中的光电转换膜30的厚度。第一区域Rl中的光电转换膜30、下部中间层40以及上部中间层50的厚度可以比其在第二区域R2中的厚度更大。
[0117]接着，将描述用于制造太阳能电池110的方法。此处，将描述用于制造太阳能电池110的方法。
[0118]图9(a)至9(d)和图10(a)至10(d)是示出制造根据第一实施例的太阳能电池的过程的示例的示意截面图。
[0119]如图9(a)中示出的，为了制造太阳能电池110，首先经由诸如溅射法的膜形成处理、图案化处理等在基板5的上表面5a上形成下部电极10。
[0120]如图9(b)中示出的，经由膜形成处理、图案化处理等在下部电极10的第二部分1b上形成导电层60。在形成了导电层60之后，使用光学传感器70检测下部电极10上的异物66。光学传感器70例如包括发光部71和受光部72。发光部71用检查光照射检查对象。受光部72接收反射出检查对象的检查光。具体地，光学传感器例如是反射式传感器。
[0121]光学传感器70例如电连接到附图中未示出的控制单元。光学传感器70也例如安装到能够在X轴方向和Y轴方向上移动的移动机构。控制单元例如改变光学传感器70和基板5的相对位置以执行对构成检查对象的基板5的上表面5a的整体的检测。可以通过移动基板5或通过移动基板5和光学传感器70两者来执行对上表面5a的整体的检测。
[0122]对导电层60的设计图案例如预存在控制单元中。如以上讨论的，基板5和下部电极10具有光透过性。因此，控制单元将来自受光部72的光接收数据和用于设计图案的数据进行比较，并且如果受光部72在不存在设计图案的位置接收到检查光，则确定在此位置存在异物66。因此，光学传感器70能够检测存在或不存在异物66。传感器也能够检测诸如异物66的位置或大小的信息。控制单元例如在服务器等中存储检测到的异物66的位置、大小等的检查信息。
[0123]如图9(c)中示出的，由液滴分配器单元80将修复液82至少分配到检测到的异物66的端部66s上。例如，喷墨头或分配器被用作液滴分配器单元80。液滴分配器单元80也可以是能够分配修复液82的任何装置。在该示例中，例如，诸如光敏性聚酰亚胺的绝缘材料被用在修复液82中。在这个例子中，修复液82包含绝缘材料。
[0124]液滴分配器单元80例如电连接到附图中未示出的控制单元。连接到液滴分配器单元80的控制单元可以是与连接到光学传感器70的控制单元相同的控制单元或不同的控制单元。例如，如果光学传感器70和液滴分配器单元80并入到相同设备中，则光学传感器70和液滴分配器单元80被连接到相同的控制单元。例如，如果光学传感器70和液滴分配器单元80并入到不同设备中，则光学传感器70和液滴分配器单元80被连接到不同的控制单元。
[0125]液滴分配器单元80也安装在移动机构等上。类似于光学传感器70，液滴分配器单元80在平行于X-Y平面的方向上相对于基板5改变其位置。
[0126]例如，控制单元经由网络读取存储在服务器等中的检查信息。如果光学传感器70和液滴分配器单元80连接到相同的控制单元，则可以将检查信息存储在控制单元中。
[0127]基于读取的检查信息，控制单元将修复液82分配到检测到的异物66的端部66s之上。在该示例中，修复液82被分配到异物66的整体之上。由此，在异物66之上形成绝缘部64。形成绝缘部64时分配到异物66之上的修复液82的量不限于是一滴，而可以是多滴。例如基于包含在检查信息中的异物66的大小以及修复液82的单滴中液体的预存量，控制单元计算形成绝缘部64所必要的修复液82的滴数，并且根据计算的结果分配若干滴修复液82。如果在多个位置检测到异物66，则修复液82被分配到异物66的多个位置中的每个位置之上以在异物66的多个位置中的每个位置之上形成绝缘部64。
[0128]如图9(d)中示出的，经由膜形成处理、图案化处理等在基板5、下部电极10和导电层60之上形成绝缘层62。在该示例中，在形成了绝缘部64之后形成绝缘层62。也可以接受反向执行该过程并且在形成了绝缘层62之后形成绝缘部64。
[0129]如图10(a)中示出的，经由膜形成处理、图案化处理等在下部电极10、绝缘层62和绝缘部64之上形成下部中间层40。
[0130]如图10(b)中示出的，经由膜形成处理、图案化处理等在下部中间层40上形成光电转换膜30。
[0131]如图10(c)中示出的，经由膜形成处理、图案化处理等在光电转换膜30上形成上部中间层50。
[0132]如图10(d)中示出的，经由膜形成处理、图案化处理等在上部中间层50上形成上部电极20。
[0133]由此，在基板5的上表面5a上形成层叠体SB，从而完成太阳能电池110。
[0134]例如，类似于以上描述的那样执行流程直到形成导电层60并检测异物66之后，形成绝缘层62，并且然后形成下部中间层40。之后将修复液82分配到下部中间层40之上以形成绝缘部64。
[0135]由此，能够形成以上描述的太阳能电池111。
[0136]例如，类似于以上描述的那样执行流程直到形成导电层60并检测异物66之后，形成绝缘层62，形成下部中间层40，并且然后形成光电转换膜30。之后将修复液82分配到光电转换膜30之上以形成绝缘部64。
[0137]由此，能够形成以上描述的太阳能电池112。
[0138]例如，类似于以上描述的那样执行流程直到形成导电层60并检测异物66之后，形成绝缘层62，形成下部中间层40，形成光电转换膜30，并且然后形成上部中间层50。之后将修复液82分配到上部中间层50之上以形成绝缘部64。
[0139]由此，能够形成以上描述的太阳能电池113。
[0140]图11(a)至11(c)是示出用于制造根据第一实施例的另一太阳能电池的过程的示例的示意截面图。
[0141]如图11(a)中示出的，类似于以上描述的那样执行流程直到形成导电层60并检测异物66之后，形成绝缘层62和下部中间层40，并且然后在下部中间层40上形成厚度基本均勾的光电转换膜30。液滴分配器单元80然后将包含与光电转换膜30相同材料的修复液82分配到光电转换膜30上。更具体地，将包含与第一半导体层30η相同材料的修复液82分配到光电转换膜30上。这使得异物66的端部66s之上的光电转换膜30的厚度Tl大于第二区域R2中的光电转换膜30的厚度T2。
[0142]由此，能够形成以上描述的太阳能电池121。
[0143]如图11(b)中示出的，类似于以上描述的那样执行流程直到形成导电层60并检测异物66之后，形成绝缘层62，并且然后在下部电极10上形成厚度基本均匀的下部中间层40。液滴分配器单元80然后将包含与下部中间层40相同材料的修复液82分配到下部中间层40上。例如，包含T1x的修复液82被分配到下部中间层40上。这使得异物66的端部66s之上的下部中间层40的厚度T3大于第二区域R2中的下部中间层40的厚度T4。
[0144]由此，能够形成以上描述的太阳能电池122。
[0145]如图11(a)中示出的，类似于以上描述的那样执行流程直到形成导电层60并检测异物66之后，形成绝缘层62、下部中间层40和光电转换膜30，并且然后在光电转换膜30上形成厚度基本均匀的上部中间层50。液滴分配器单元80然后将包含与上部中间层50相同材料的修复液82分配到上部中间层50上。例如，包含聚(3，4-亚乙基二氧基噻吩)聚苯乙烯磺酸(PED0T/PSS)的修复液82被分配到上部中间层50上。这使得异物66的端部66s之上的上部中间层50的厚度T5大于第二区域R2中的上部中间层50的厚度T6。
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