密封构件的制作方法
【专利摘要】本发明公开一种密封构件。本发明涉及的密封构件(100)的特征在于，包括：主体部(110)；以及冷却部(111)，其包括供制冷剂在主体部(110)内部移动的流路。因此，具有可以提高使用极限温度的效果。
【专利说明】
密封构件
技术领域
[0001]本发明涉及一种密封构件。更加详细而言，涉及一种使制冷剂循环于密封构件的内部而提高使用温度的密封构件。
【背景技术】
[0002]基板处理装置用于制造平板显示器，大致分为沉积(Vapor Deposit1n:气相沉积)装置和退火(Annealing)装置。
[0003]沉积装置是用于形成构成平板显示器核心结构的透明传导层、绝缘层、金属层或娃层的装置，其具有诸如LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposit1n:低压化学气相沉积)或PECVD(Plasma_Enhanced Chemical Vapor Deposit1n:等离子体增强化学气相沉积)等的化学气相沉积装置和诸如溅射(Sputtering)等的物理气相沉积装置。
[0004]而且，退火装置是将膜沉积于基板后改善被沉积的膜的特性的装置，其进行热处理，使得被沉积的膜结晶或相变。
[0005]图1示出现有的基板处理装置。图1的(a)是现有的基板处理装置的侧剖视概略图，图1的(b)是图1的(a)示出的密封构件10的立体图。
[0006]作为一例，现有的基板处理装置包括本体I，本体I的内部形成腔室3，该腔室3为投入基板并进行处理的空间。本体I的前面形成有与腔室3连通且供基板进出的出入口 5，并且设置有用于开闭出入口 5的门7。为了形成并维持腔室3的内部的气氛，在基板处理装置中，有必要设置对出入口 5与腔室3之间进行密封的密封构件1。这样，出入口 5外侧的本体I的前面部位可以设置密封构件10，其被门7压缩而密封腔室3。参照图1的(b)，密封构件10的截面形状可以形成为大致圆形。
[0007]应用于上述现有的基板处理装置的密封构件10大都由Viton(FPM)?等橡胶材料构成。因此，通常在15?200°C的较低温环境中使用，而在高温环境中需使用由并非橡胶材料的2KALREZ (FFPM) ?、全氟(FFPM)等特殊材料构成的密封构件1，但是其价格昂贵，并且由特殊材料构成的密封构件10的使用环境也有受限于300°C左右的问题。甚至，在高温环境中，密封构件10会因扭曲、腐败、撕裂等变形而发生裂缝。这时，异物流入腔室3内，腔室3的热量向外部泄露，因此存在基板处理步骤的可靠性降低的缺点。
[0008]与密封构件有关的在先技术公开于韩国公开专利公报第10-2012-0044227号等。
[0009]与基板处理装置有关的在先技术公开于韩国公开专利公报第10-2010-0008722号等。
【发明内容】
[0010]发明所要解决的技术问题
[0011]本发明是为了解决上述现有技术的各种问题而提出的，其目的在于提供一种密封构件，其使制冷剂循环于密封构件的内部而提高使用温度。
[0012]另外，本发明的目的在于提供一种密封构件，其通过防止密封构件的变形来防止密封构件的部位上发生裂缝，从而能够提高基板处理步骤的可靠性。
[0013]解决问题的技术方案
[0014]为了实现上述目的，本发明的一实施例涉及的密封构件的特征在于包括:主体部；以及冷却部，包括供制冷剂在所述主体部内部移动的流路。
[0015]可以包括从所述主体部的至少一侧连通至所述冷却部的第一管以及第二管。
[0016]所述制冷剂可以通过所述第一管供给至所述冷却部，并且所述冷却部的所述制冷剂可以通过所述第二管排出。
[0017]所述密封构件的所述主体部的截面形状可以是圆形或四边形。
[0018]发明效果
[0019]根据上述的本发明，具有以下效果，即使制冷剂循环于密封构件的内部，从而能够提高使用温度。
[0020]本发明还具有如下效果，即通过防止密封构件的变形来防止密封构件的部位上发生裂缝，从而能够提高基板处理步骤的可靠性。
【附图说明】
[0021]图1的(a)是现有的基板处理装置的侧剖视概略图。
[0022]图1的(b)是图1的(a)示出的的密封构件的立体图。
[0023]图2是本发明的一实施例涉及的密封构件的立体图以及俯视剖视放大图。
[0024]图3是本发明的另一实施例涉及的密封构件的立体图以及俯视剖视放大图。
[0025]附图标记
[0026]100，100:密封构件
[0027]110:主体部
[0028]113:侧孔
[0029]115:阻隔膜
[0030]120:第一管
[0031]130:第二管
【具体实施方式】
[0032]对于后述的本发明的详细说明，参照了例示出能够实施本发明的特定实施例的附图。这些实施例充分详细说明，以使本领域的技术人员能够实施本发明。应当理解为，本发明的各种实施例虽彼此不同，但是无需相互排斥。例如，这里所记载的特定形状、结构以及特性与一实施例相关，在不超出本发明的精神以及范围的情况下，可以由其他实施例实现。另外，应当理解为，各公开的实施例内的个别结构要素的位置或配置在不超出本发明的精神以及范围的情况下可以变更。因此，后述的详细说明并非旨在限定本发明，本发明的范围仅以权利要求书和其等同的所有范围限定。附图中的相似的附图标记在多方面表示相同或相似的功能，为了方便起见，长度以及面积、厚度等和其形状有可能被夸大示出。
[0033]在本实施例的说明中，所谓的基板的处理应当理解为，是包括对基板加热及冷却的步骤、用于将规定的膜沉积于基板的全部步骤、用于对沉积于基板上的规定的膜进行退火、使其结晶或相变的全部热处理步骤等的概念。
[0034]而且，需要指出的是，本发明的密封构件并非限定为必须用于基板处理装置，需要密封的装置均能适用。
[0035]下面，参照附图，对本发明的一实施例涉及的密封构件进行详细说明。
[0036]图2是本发明的一实施例涉及的密封构件100的立体图(图2的(a))以及俯视剖视放大图(图2的(b))。
[0037]参照图2，第一实施例涉及的密封构件100可以包括主体部110以及冷却部111。
[0038]主体部110构成密封构件100的主体。主体部110作为密封构件100的外壳，介于基板处理装置等的出入口和开闭出入口的门之间，可以进行充分的密封。主体部110中，作为以往密封构件10的材料的橡胶，可以包括能够在15?200°C的环境中使用的Viton(FPM)?等，作为特殊材料，可以包括能够在小于等于260°C的环境中使用的TEFLON?等。
[0039]冷却部111可以提供使制冷剂在主体部110的内部移动的流路。由于液体或气体状态的制冷剂可以在冷却部111中流动，使得制冷剂的冷气能够传递给主体部110。因此，即便是在高温的环境中，密封构件100的主体部110发生变形的可能性也大幅降低。
[0040]虽然图2的(b)示出了冷却部111以中空状态形成于主体部110的内部，但是冷却部111也可以形成为在主体部110的内部插入管的状态。只是，在本说明书假设中空状态的冷却部111进行说明。主体部110和冷却部111的截面形状可以是圆形。
[0041]虽然冷却部111可以形成于整个主体部110，但是可以在局部形成阻隔膜115，以使与外部的制冷剂供给单元(未图示)及制冷剂排出单元(未图示)之间的流动顺畅。隔着阻隔膜115，在一侧，流入制冷剂后，使其朝向相反于与阻隔膜115对置方向的方向流动，而在另一侧，制冷剂可以从与阻隔膜115对置的方向流入后，向外部排出。
[0042]优选，阻隔膜115的材料与主体部110相同，并且与主体部110形成为一体。即，并非单独地将阻隔膜115插入主体部111，而是优选，以中空状态直接形成冷却部111，使得主体部110包括阻隔膜115。当然，也可以不形成阻隔膜115，而是在整个主体部110形成冷却部111。
[0043]为了使制冷剂能够供给至冷却部111并从其排出，可以包括从主体部110的至少一侧连通至冷却部111的第一管120以及第二管130。
[0044]第一管120的一端部通过侧孔113与冷却部111连通，另一端部与外部的制冷剂供给单元(未图示)连接，从而能够接收制冷剂。
[0045]第二管130的一端部通过侧孔113与冷却部111连通，另一端部与外部的制冷剂排出单元(未图示)连接，从而能够向外部排出在冷却部111循环的制冷剂。
[0046]如图2所示，第一管120和第二管130可以构成为，形成于冷却部111的相同侧，由第一管120供给的制冷剂在整个主体部110循环后，排出至第二管130，也可以构成为，形成于冷却部111的彼此相反侧，由第一管120供给的制冷剂分成冷却部111的左右两个支流，在主体部110循环后，排出至第二管130。
[0047]图2所示的密封构件100的制造方法如下。首先，准备内部中空或内部包括有管的橡胶等材料。接下来，利用粘合剂，将两侧粘合连接为圆形之后，从侧面插入第一管120和第二管130。然后，封装第一管120以及第二管130与主体部110之间，从而可以完成密封构件100的制造。
[0048]图3是本发明的另一实施例涉及的密封构件100’的立体图(图3的(a))以及俯视剖视放大图(图3的(b))。图3中省略了与图2相同结构的说明，仅就不同点进行说明。
[0049 ]图3中的密封构件100 ’中，主体部110 ’和冷却部111’的截面形状为四边形。密封构件100 ’的制造方法如下。首先，用塑料材料形成包括冷却部111 ’的主体部110 ’。接下来，利用通过热量实现的粘合，将整体形状构成为四边形后，从侧面插入第一管120’和第二管130’。然后，封装第一管120’及第二管130’与主体部110’之间，从而可以完成密封构件100，。
[0050]当用橡胶材料构成图2的密封构件100时，难以将截面形状形成为方方正正的四边形，相反，图3的密封构件100’由塑料材料构成，由于截面形状形成为四边形，因此可以使用平整的密封构件100’。
[0051]如上所述，本发明的密封构件100在主体部110的内部形成可以使制冷剂移动的冷却部111，从而可以对主体部110传递制冷剂的冷气，因此在高于能够应用主体部110材料的固有温度的温度下也能使用。而且，由于能够恰当地管理密封构件100的温度，能够提高耐久性，通过防止密封构件100的变形来防在密封构件100的部位上发生裂缝，从而能够提高基板处理步骤的可靠性。
[0052]如上所述，通过优选实施例对本发明进行了说明，但是并非限定于所述实施例，在不超出本发明的精神的范围内，该发明所属技术领域的普通技术人员可进行各种变形和变更。应视为这样的变形例以及变更例均属于本发明的权利要求书范围内。
【主权项】
1.一种密封构件，其特征在于，包括:主体部；以及冷却部，包括供制冷剂在所述主体部内部移动的流路。2.根据权利要求1所述的密封构件，其特征在于，包括从所述主体部的至少一侧连通至所述冷却部的第一管以及第二管。3.根据权利要求2所述的密封构件，其特征在于，所述制冷剂通过所述第一管被供给至所述冷却部，所述冷却部中的所述制冷剂通过所述第二管排出。4.根据权利要求1所述的密封构件，其特征在于，所述密封构件的所述主体部的截面形状为圆形或四边形。
【文档编号】H01L23/473GK106098636SQ201610278751
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年4月28日 公开号201610278751.9, CN 106098636 A, CN 106098636A, CN 201610278751, CN-A-106098636, CN106098636 A, CN106098636A, CN201610278751, CN201610278751.9
【发明人】李炳一, 康浩荣, 廉贤真
【申请人】泰拉半导体株式会社