一种发光二极管外延片的制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种发光二极管外延片的制备方法，属于半导体技术领域。所述制备方法包括：升高温度将衬底在纯氢气气氛下进行热处理；降低温度沉积缓冲层；进行多个阶段的升温，再生长过渡层，过渡层为从二维生长先转为三维生长再转为二维生长的AlGaN层，同一层AlGaN层的生长压力恒定，至少两层AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低，同一阶段的温度恒定，且不同阶段的温度随时间的增长而升高；升高温度沉积非掺杂GaN层；生长N型层；交替生长InGaN层和GaN层，形成多量子阱层；生长P型电子阻挡层；生长P型层；生长P型接触层。本发明适应大尺寸外延片的生产。
【专利说明】
_种发光二极管外延片的制备方法
技术领域
[0001]本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种发光二极管外延片的制备方法。
【背景技术】
[0002]发光二极管(Light Emitting D1des，简称LED)具有体积小、颜色丰富多彩、使用寿命长等优点，是信息光电子新兴产业中极具影响力的新产品，广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。
[0003]随着人力成本的不断提高，LED芯片厂商已经逐步超大尺寸外延工艺(大于2英寸的外延片)发展，以提高生产效率(如6英寸外延片为4英寸外延片的2倍、3英寸外延片的3-4倍、2英寸外延片的8-9倍)，降低生产成本。
[0004]在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题:
[0005]GaN基外延片与蓝宝石衬底之间存在晶格常数和热膨胀系数失配，相比常规尺寸外延片(2英寸)，大尺寸外延片会产生更多的位错和缺陷，对LED器件的发光效率和抗静电能力造成不良影响。
【发明内容】
[0006]为了解决现有技术产生位错和缺陷的问题，本发明实施例提供了一种发光二极管外延片的制备方法。所述技术方案如下:
[0007]本发明实施例提供了一种发光二极管外延片的制备方法，所述制备方法包括:
[0008]升高温度将衬底在纯氢气气氛下进行热处理；
[0009]降低温度沉积缓冲层；
[0010]进行多个阶段的升温，再生长过渡层，所述过渡层为从二维生长先转为三维生长再转为二维生长的AlGaN层，同一层所述AlGaN层的生长压力恒定，至少两层所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低，同一所述阶段的温度恒定，且不同所述阶段的温度随时间的增长而升高；
[0011]升高温度沉积非掺杂GaN层；
[0012]生长掺杂Si的GaN层，形成N型层；
[0013]交替生长InGaN层和GaN层，形成多量子阱层；
[0014]生长掺杂Mg的AlGaN层，形成P型电子阻挡层；
[0015]生长掺杂Mg的GaN层，形成P型层；
[0016]生长掺杂Mg的GaN层，形成P型接触层，所述P型接触层的厚度小于所述P型层的厚度。
[0017]可选地，所述过渡层中所有所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低。
[0018]可选地，所述过渡层中所有所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而先降低再升尚O
[0019]可选地，所述过渡层中所有所述AlGaN层的生长压力分为两种，两种生长压力的所述AlGaN层交替层叠形成所述过渡层。
[0020]可选地，所述过渡层中所有所述AlGaN层分为至少两组，每组包括至少三种生长压力的所述AlGaN层，每组中所有所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低。
[0021]可选地，所述过渡层中所有所述AlGaN层分为至少两组，每组包括至少三种生长压力的所述AlGaN层，每组中所有所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而先降低再升高。
[0022]可选地，所述AlGaN层的厚度为10?500nm。
[0023]可选地，所述过渡层的厚度小于或等于1.5μπι。
[0024]可选地，所述升高温度将衬底在纯氢气气氛下进行热处理，包括:
[0025]进行多个阶段的升温，再将所述衬底在纯氢气气氛下进行热处理，同一所述阶段的温度恒定，且不同所述阶段的温度随时间的增长而升高。
[0026]可选地，所述衬底的尺寸为3英寸、4英寸、6英寸、8英寸或者2英寸。
[0027]本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是:
[0028]通过将形成从二维生长先转为三维生长再转为二维生长的多层AlGaN层中至少两层AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低，利用高压有利于晶体的纵向生长(即三维生长)，低压有利于晶体的横向生长(即二维生长)，使缓冲层的晶粒在过渡层的多重结晶下，从单晶开始慢慢变大形成岛核，有效减少底层的线错位密度和V型位错向量子阱延伸，有利于外延生长底层时释放应力，提高皇晶生长时底层的生长质量，为后续量子阱的生长提高良好的底层条件，有利于空穴和电子的辐射复合，提高LED的发光效率，特别适用于大尺寸外延片的生产。而且先进行多个阶段的升温，同一阶段的温度恒定，且不同阶段的温度随时间的增长而升高，温场稳定、受热均匀，有利于底层温场的均匀性和稳定性，降低因热膨胀系数的差异而引起的张应力，缓解晶格失配产生的应力，改善外延片的翘曲度，降低外延片的位错和缺陷密度，改善晶体质量，提高空穴的注入效率和器件的发光效率，减少破片率，适应大尺寸外延片的生产。
【附图说明】
[0029]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1是本发明实施例一提供的一种发光二极管外延片的制备方法的流程图；
[0031]图2a是本发明实施例一提供的温度速率保持不变的示意图；
[0032]图2b是本发明实施例一提供的温度速率逐渐减小的示意图；
[0033]图2c是本发明实施例一提供的温度速率逐渐增大的示意图；
[0034]图3是本发明实施例二提供的一种发光二极管外延片的制备方法的流程图；
[0035]图4是本发明实施例二提供的过渡层生长压力变化的示意图；
[0036]图5是本发明实施例三提供的过渡层生长压力变化的示意图；
[0037]图6是本发明实施例四提供的过渡层生长压力变化的示意图。
【具体实施方式】
[0038]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
[0039]实施例一
[0040]本发明实施例提供了一种发光二极管外延片的制备方法，参见图1，该制备方法包括:
[0041 ]步骤101:升高温度将衬底在纯氢气气氛下进行热处理。
[0042]可选地，该步骤101可以包括:
[0043]进行多个阶段的升温，再将衬底在纯氢气气氛下进行热处理。
[0044]在本实施例中，同一阶段的温度恒定，且不同阶段的温度随时间的增长而升高。
[0045]可选地，不同阶段的温度的升高速率可以保持不变(如图2a所示)、逐渐减小(如图2b所示)或者逐渐升高(如图2c所示)。
[0046]可选地，相邻两个阶段的温度的差值可以根据外延生长的要求设定，以选取匹配外延片生长的最优值。
[0047]优选地，相邻两个阶段的温度的差值可以为定值。
[0048]优选地，相邻两个阶段的温度的差值可以各不相同。
[0049]可选地，各个阶段占用的时间可以根据外延生长的要求设定，以选取匹配外延片生长的最优值。
[0050 ]优选地，各个阶段占用的时间可以为定值。
[0051]优选地，各个阶段占用的时间可以各不相同。
[0052]具体地，衬底的尺寸可以为3英寸、4英寸、6英寸、8英寸或者2英寸。
[0053]具体地，衬底的材料可以采用蓝宝石、S1、SiC、GaN、AlN、ZnO、GaAs、金属中的任一种。
[0054]需要说明的是，热处理的目的是清洁衬底表面。
[0055]步骤102:降低温度沉积缓冲层。
[0056]步骤103:进行多个阶段的升温，再生长过渡层。
[0057]在本实施例中，过渡层为从二维生长先转为三维生长再转为二维生长的多层AlGaN层。同一层AlGaN层的生长压力恒定，至少两层AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低。同一阶段的温度恒定，且不同阶段的温度随时间的增长而升高。具体地，AlGaN层为AlxGa1-XN层，CK I ο
[0058]可选地，不同阶段的温度的升高速率可以保持不变(如图2a所示)、逐渐减小(如图2b所示)或者逐渐升高(如图2c所示)。
[0059]可选地，相邻两个阶段的温度的差值可以根据外延生长的要求设定，以选取匹配外延片生长的最优值。
[0060]优选地，相邻两个阶段的温度的差值可以为定值。
[0061]优选地，相邻两个阶段的温度的差值可以各不相同。
[0062]可选地，各个阶段占用的时间可以根据外延生长的要求设定，以选取匹配外延片生长的最优值。
[0063 ]优选地，各个阶段占用的时间可以为定值。
[0064]优选地，各个阶段占用的时间可以各不相同。
[0065]需要说明的是，热处理之前进行多个阶段的升温的方式与生长过渡层之前进行多个阶段的升温的方式可以相同，也可以不同。例如，热处理之前进行多个阶段的升温的速率逐渐升高，生长过渡层之前进行多个阶段的升温的速率保持不变。
[0066]在本实施例的一种实现方式中，过渡层中所有AlGaN层的生长压力可以随时间的增长而降低。
[0067]在本实施例的另一种实现方式中，过渡层中所有AlGaN层的生长压力可以随时间的增长而先降低再升高。
[0068]在本实施例的又一种实现方式中，过渡层中所有AlGaN层的生长压力可以分为两种，两种生长压力的AlGaN层交替层叠形成过渡层。
[0069]在本实施例的又一种实现方式中，过渡层中所有AlGaN层可以分为至少两组，每组包括至少三种生长压力的AlGaN层，每组中所有AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低。
[0070]在本实施例的又一种实现方式中，过渡层中所有AlGaN层可以分为至少两组，每组包括至少三种生长压力的AlGaN层，每组中所有AlGaN层的生长压力随时间的增长而先降低再升高。
[0071 ] 可选地，AlGaN层的厚度可以为10?500nm。
[0072]可选地，过渡层的厚度可以小于或等于1.5μπι。
[0073]步骤104:升高温度沉积非掺杂GaN层。
[0074]步骤105:生长掺杂Si的GaN层，形成N型层。
[0075]步骤106:交替生长InGaN层和GaN层，形成多量子阱层。
[0076]步骤107:生长掺杂Mg的AlGaN层，形成P型电子阻挡层。
[0077]步骤108:生长掺杂Mg的GaN层，形成P型层。
[0078]步骤109:生长掺杂Mg的GaN层，形成P型接触层。
[0079]在本实施例中，P型接触层的厚度小于P型层的厚度。
[0080]在实际应用中，还可以对外延片中除过渡层之外的其它层先进行多个阶段的温度调整再生长，如非掺杂GaN层。具体地，该步骤104可以包括:进行多个阶段的升温，再沉积非掺杂GaN层，同一阶段的温度恒定，且不同阶段的温度随时间的增长而升高。
[0081]本发明实施例通过将形成从二维生长先转为三维生长再转为二维生长的多层AlGaN层中至少两层AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低，利用高压有利于晶体的纵向生长(即三维生长)，低压有利于晶体的横向生长(即二维生长)，使缓冲层的晶粒在过渡层的多重结晶下，从单晶开始慢慢变大形成岛核，有效减少底层的线错位密度和V型位错向量子阱延伸，有利于外延生长底层时释放应力，提高皇晶生长时底层的生长质量，为后续量子讲的生长提尚良好的底层条件，有利于空穴和电子的福射复合，提尚LED的发光效率，特别适用于大尺寸外延片的生产。而且先进行多个阶段的升温，同一阶段的温度恒定，且不同阶段的温度随时间的增长而升高，温场稳定、受热均匀，有利于底层温场的均匀性和稳定性，降低因热膨胀系数的差异而引起的张应力，缓解晶格失配产生的应力，改善外延片的翘曲度，降低外延片的位错和缺陷密度，改善晶体质量，提高空穴的注入效率和器件的发光效率，减少破片率，适应大尺寸外延片的生产。
[0082]实施例二
[0083]本发明实施例提供了一种发光二极管外延片的制备方法，本实施例提供的制备方法是实施例一提供的制备方法的具体实现。在实施例中，以高纯氢气(H2)或氮气(N2)作为载气，以三甲基镓(TMGa)、三甲基铝(TMAl)、三甲基铟(TMIn)和氨气(NH3)分别作为Ga、Al、In、N源，采用硅烷(SiH4)、二茂镁(Cp2Mg)分别作为N型、P型掺杂剂。参见图3，该制备方法包括:
[0084]步骤201:将衬底先升温到500 °C，再升温到800 °C并稳定30s，再升温到1000 °C并稳定30s，再升温到1300°C并稳定1min，在纯氢气气氛下进行热处理。
[0085]步骤202:降低温度至625 °C或540 °C，沉积一层厚度为30nm的GaN层，形成缓冲层。
[0086]步骤203:先升温到800 °C并稳定30s，再升温到1000°C并稳定30s，再升温到1205 °C并稳定300s，交替在900mbar的压力下生长一层10nm的AlGaN层和在300mbar的压力下生长一层10nm的AlGaN层(如图4所示)，形成过渡层。
[0087]在本实施例中，过渡层包括10层AlGaN层。
[0088]步骤204:升高温度至1255°C，沉积厚度为1.5μπι的非掺杂GaN层。
[0089]步骤205:生长厚度为2μπι的掺杂Si的GaN层，形成N型层。
[0090]步骤206:交替生长8层InGaN层和8层GaN层，形成多量子阱层。
[0091 ] 在本实施例中，InGaN层的厚度为3nm，InGaN层的生长温度为880°C ;GaN层的厚度为12nm，GaN层的生长温度为960°C。需要说明的是，由于In对温度敏感，容易在高温下挥发，为了便于In的生长，InGaN层的生长温度要低一些，而GaN层要求晶体质量要好，因此温度要适当高些。
[0092]步骤207:在970°C的温度下，生长50nm的掺杂Mg的AlGaN层，形成P型电子阻挡层。
[0093]步骤208:在1090°C的温度下，生长200nm的生长掺杂Mg的GaN层，形成P型层。
[0094]步骤209:在1120°C的温度下，生长1nm的生长掺杂Mg的GaN层，形成P型接触层。
[0095]在本实施例中，P型接触层的厚度小于P型层的厚度。
[0096]需要说明的是，上述步骤可以采用金属有机化学气相沉积设备实现，外延生长结束后，对生长的外延片进行清洗、沉积、光刻和刻蚀等半导体加工工艺，即可制成单颗芯片。
[0097]本发明实施例通过将形成从二维生长先转为三维生长再转为二维生长的多层AlGaN层中至少两层AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低，利用高压有利于晶体的纵向生长(即三维生长)，低压有利于晶体的横向生长(即二维生长)，使缓冲层的晶粒在过渡层的多重结晶下，从单晶开始慢慢变大形成岛核，有效减少底层的线错位密度和V型位错向量子阱延伸，有利于外延生长底层时释放应力，提高皇晶生长时底层的生长质量，为后续量子讲的生长提尚良好的底层条件，有利于空穴和电子的福射复合，提尚LED的发光效率，特别适用于大尺寸外延片的生产。而且先进行多个阶段的升温，同一阶段的温度恒定，且不同阶段的温度随时间的增长而升高，温场稳定、受热均匀，有利于底层温场的均匀性和稳定性，降低因热膨胀系数的差异而引起的张应力，缓解晶格失配产生的应力，改善外延片的翘曲度，降低外延片的位错和缺陷密度，改善晶体质量，提高空穴的注入效率和器件的发光效率，减少破片率，适应大尺寸外延片的生产。
[0098]实施例三
[0099]本发明实施例提供了一种发光二极管外延片的制备方法，本实施例提供的制备方法与实施例二提供的制备方法的不同之处在于，过渡层中各层AlGaN层的生长压力从900mbar开始，一层降低10mbar (如图5所示)。
[0100]实施例四
[0101]本发明实施例提供了一种发光二极管外延片的制备方法，本实施例提供的制备方法与实施例二提供的制备方法的不同之处在于，各层AlGaN层的生长压力从最中间的250mbar开始，两边一层升高250mbar (如图6所示)。
[0102]上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。
[0103]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种发光二极管外延片的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括: 升高温度将衬底在纯氢气气氛下进行热处理； 降低温度沉积缓冲层； 进行多个阶段的升温，再生长过渡层，所述过渡层为从二维生长先转为三维生长再转为二维生长的AlGaN层，同一层所述AlGaN层的生长压力恒定，至少两层所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低，同一所述阶段的温度恒定，且不同所述阶段的温度随时间的增长而升高； 升高温度沉积非掺杂GaN层； 生长掺杂Si的GaN层，形成N型层； 交替生长InGaN层和GaN层，形成多量子阱层； 生长掺杂Mg的AlGaN层，形成P型电子阻挡层； 生长掺杂Mg的GaN层，形成P型层； 生长掺杂Mg的GaN层，形成P型接触层，所述P型接触层的厚度小于所述P型层的厚度。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述过渡层中所有所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述过渡层中所有所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而先降低再升高。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述过渡层中所有所述AlGaN层的生长压力分为两种，两种生长压力的所述AlGaN层交替层叠形成所述过渡层。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述过渡层中所有所述AlGaN层分为至少两组，每组包括至少三种生长压力的所述AlGaN层，每组中所有所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而降低。6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述过渡层中所有所述AlGaN层分为至少两组，每组包括至少三种生长压力的所述AlGaN层，每组中所有所述AlGaN层的生长压力随时间的增长而先降低再升高。7.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，所述AlGaN层的厚度为10?500nmo8.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，所述过渡层的厚度小于或等于 1.5μηι ο9.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，所述升高温度将衬底在纯氢气气氛下进行热处理，包括: 进行多个阶段的升温，再将所述衬底在纯氢气气氛下进行热处理，同一所述阶段的温度恒定，且不同所述阶段的温度随时间的增长而升高。10.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，所述衬底的尺寸为3英寸、4英寸、6英寸、8英寸或者2英寸。
【文档编号】H01L33/00GK106098871SQ201610591175
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年7月25日 公开号201610591175.3, CN 106098871 A, CN 106098871A, CN 201610591175, CN-A-106098871, CN106098871 A, CN106098871A, CN201610591175, CN201610591175.3
【发明人】杨兰, 万林, 胡加辉
【申请人】华灿光电（浙江）有限公司