用于在二维的、快速退火的环境中直接曝光止焊漆的直接曝光装置的制作方法

文档序号:15577472发布日期:2018-09-29 05:48阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明一般性地涉及一种曝光装置,尤其用于对用止焊漆覆层的基底进行曝光和结构化的曝光装置(20),以及涉及用于借助根据本发明的曝光装置(20)进行曝光的方法。尤其地,本发明涉及一种曝光装置(20),所述曝光装置具有至少一个光束(51),所述光束优选由不同的UV波长的两个或更多个激光束(51)形成,所述光束通过可改变的偏转装置(30)相对于基底(100)偏转,以便在基底(100)上产生结构。尤其地,为光束(51)空间上在图像平面(40)中并且时间上在曝光时将空间限制的、高能的优选外部支承的热源(10)与光束(51)叠加,其中优选使用具有行式光学装置的红外激光二极管。

技术研发人员:马蒂亚斯·纳格尔
受保护的技术使用者:利玛塔有限公司
技术研发日:2017.01.20
技术公布日:2018.09.28
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